基板搬运机构及元件安装用装置的制造方法_2

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元件种类能够更换向单位保持头9装配的吸附嘴。
[0029]接下来,参照图2 (a)、图2 (b)、图3 (a)、图3 (b),说明基板搬运机构2的结构及功能。如图2(a)所示,基板搬运机构2具备并行且搬运宽度变更自如地配置的2条搬运轨道2a。基板搬运机构被划分成从上游侧装置搬入的基板3进行待机的待机区域13A(区域长度LI)、对成为元件安装机构的元件安装作业的对象的基板3进行定位保持的作业区域13B (区域长度L2)、及将元件安装后的基板向下游侧搬出的搬出区域13C(区域长度L3)这3个搬运区域。
[0030]在搬运轨道2a的内侧,对应于上述待机区域13A、作业区域13B及搬出区域13C,串联地配置有通过缠绕于多个滑轮的搬运带来搬运基板3的待机用单元14A、作业用单元14B及搬出用单元14C这3个搬运单元。待机用单元14A、作业用单元14B及搬出用单元14C分别由第一带驱动机构15A、第二带驱动机构15B及第三带驱动机构15C(参照图4、图5)驱动。
[0031]此外,在基板搬运机构2中,在作业用单元14B附随地设有将搬入到作业区域13B的基板3夹紧的夹紧机构16,使夹紧构件与基板3的下表面抵接而将基板3相对于按压构件2b从下方压紧,由此基板3沿上下方向被进行位置固定。需要说明的是,在图2(a)、图2(b)中,省略按压构件2b的图示。
[0032]在使用本实施方式所示的电子元件安装装置I的元件安装线中,由于以长度尺寸不同的多个种类的基板为对象,因此根据基板的长度尺寸能够变更基板搬运机构2中的待机区域13A、作业区域13B的区域长度。在以长度尺寸La小的基板3A(参照图4、图6(a)、图6(b))为对象的情况下,如图2(a)所示,待机区域13A、作业区域13B的各自的区域长度L1、L2设定为大致相等的尺寸。
[0033]相对于此,在以长度尺寸Lb大的基板3B (参照图5、图6 (a)、图6 (b))为对象的情况下,图2(a)所示的待机用单元14A如图2(b)所示,变更为比区域长度LI短的区域长度LI*的待机用单元14A*。并且,作业用单元14B延长了待机用单元14A缩短了的量,变更为比区域长度L2长的区域长度L2*的作业用单元14B*。而且,在夹紧机构16中,为了对应于变更后的作业用单元14B的区域长度L2*,除了图2(a)所示的第一夹紧构件18a之外,在上游侧还追加配置有第二夹紧构件18b。
[0034]S卩,本实施方式所示的基板搬运机构2具备:作业用单元14B,对应于以长度尺寸不同的多个种类(在此为2种)的基板3A、3B为对象而进行元件安装用作业的作业区域13B,根据基板3A、3B的长度尺寸La、Lb而作业区域的区域长度可变;及待机用单元14A,与用于使向作业区域13B搬入的基板3A、3B待机的待机区域13A对应。需要说明的是,在表示本实施方式的各图中,标注的各要素表示为了以基板3B为对象而变更之后的状态。
[0035]图3(a)、图3(b)示出作业区域13B中的与基板搬运方向正交的垂直截面。首先,图3 (a)示出利用作业用单元14B将基板3A、3B搬入到作业区域13B的状态。在此状态下,基板3A、3B由作业用单元14B的搬运带14b保持两端部,在基板3A、3B的下方,基板下方支承机构2c及夹紧机构16处于待机状态。
[0036]基板下方支承机构2c成为利用升降驱动部19使竖立设置有多个下方支承销21的基体部20升降的结构。夹紧机构16成为使装配板状的夹紧构件18的基部17沿着搬运轨道2a的内表面在上下方向上滑动自如地配置的结构。基部17是X方向(纸面垂直方向)上细长的大致L字截面的构件,夹紧构件18在将底面压紧于高度基准面17b的状态下,螺栓固定于装配部17a (参照图7 (a)、图7 (b))。
[0037]如图3 (b)所示,在对升降驱动部19进行驱动(箭头a)而使基体部20上升的状态下,下方支承销21的上端部与基板3A、3B的下表面3a抵接并进行下方支承,基板3A、3B成为从搬运带14b浮起的状态。而且,在基体部20的上升动作中,基体部20的端部从下方抵接于基部17,由此夹紧构件18与基部17 —起上升而从下表面侧将基板3A、3B压起。由此,在与按压构件2b的下表面2d之间夹入并夹紧基板3A、3B的两侧端部。
[0038]接下来,参照图4、图5,说明待机用单元14A、作业用单元14B及搬出用单元14C的结构。需要说明的是,图4、图5分别对应于图2(a)、图2(b)所示的状态。待机用单元14A、作业用单元14B及搬出用单元14C分别具备以带驱动马达25A、25B、25C为旋转驱动源的第一带驱动机构15A、第二带驱动机构15B、第三带驱动机构15C。
[0039]在此,第一带驱动机构15A在待机用单元14A的下方配置于偏向上游侧的位置,第二带驱动机构15B配置在从作业用单元14B的下方偏移的位置、且位于搬出用单元14C的下方的第三带驱动机构15C的更下方的位置。通过形成为这样的配置,在作业区域13B,在作业用单元14B的下方能够确保空闲空间,能确保夹紧机构16或基板下方支承机构2c的配置的自由度。上述的各搬运单元具有向多个滑轮缠绕搬运带的带搬运面,通过将上述的带搬运面整齐排列配置于同一搬运路线PL,从而在基板搬运机构2形成从上游到下游连续的基板搬运面。以下,说明各搬运单元每一个的结构。
[0040]首先,说明待机用单元14A的结构。在待机用单元14A中,对应于搬运路线PL而从上游侧起沿水平方向配置有滑轮26a、26b、26c、26d。在滑轮26a、26d的上表面水平地展开的搬运带14a形成待机用单元14A中的带搬运面,绕滑轮26d而被导向上游侧的搬运带14a由滑轮26e调整张力,进而经由滑轮26j而到达成对的2个滑轮26h中的一方。
[0041]而且,绕滑轮26a而被导向斜下方的搬运带14a依次经由了滑轮26f及滑轮26g之后,到达另一方的滑轮26h。并且,经由了 2个滑轮26h的搬运带14a缠绕于带驱动马达25A的驱动滑轮,通过对带驱动马达25A进行正反旋转驱动,而搬运带14a在带搬运面上进行水平往复移动。
[0042]需要说明的是,在该状态下,滑轮26b、26c与带驱动无关,仅在图5所示的状态下,作为用于缠绕搬运带的滑轮发挥作用。而且,在接近滑轮26i的下方的位置配置滑轮26j,但是滑轮26j也同样地在该状态下与带驱动无关,仅在图5所示的状态下作为滑轮发挥作用。在上述结构中,具备滑轮26c?滑轮26h及驱动滑轮的带驱动马达25A在待机用单元14A中构成驱动搬运带14a的第一带驱动机构15A。
[0043]接下来,说明作业用单元14B的结构。在作业用单元14B中,对应于搬运路线PL从上游侧起沿水平方向配置滑轮27a、27b。在滑轮27a、滑轮27b的上表面水平地展开的搬运带14b形成作业用单元14B的带搬运面。需要说明的是,滑轮27a的位置配置成从搬运带14a的滑轮26c向上游侧隔开与长度尺寸La、Lb的长度差AL相当的间隔。
[0044]绕滑轮27a而被导向下游侧的搬运带14b经由滑轮27c到达滑轮27h,进而到达I对滑轮27g的上侧的I个。而且绕滑轮27b而被导向下游侧的下方的搬运带14b到达位于滑轮27h的上方的滑轮27d。
[0045]此外,从滑轮27d被导向下游侧的搬运带14b由滑轮27e调整张力,进而卷挂于滑轮27f而到达I对滑轮27g的下侧的I个。在此,滑轮27f的位置未固定,沿着在水平方向上设置的调整用长孔29而水平方向的位置成为调整自如。在此所示的状态下,滑轮27f在基于调整用长孔29的调整范围中位于上游侧。
[0046]经由I对滑轮27g的2条搬运带14b在经由了配置于下方的I对滑轮27i之后被沿横向引导,进而卷挂于I对滑轮27j的搬运带14b缠绕于带驱动马达25B
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