单晶炉热场托杆轴基座的制作方法

文档序号:8186289阅读:432来源:国知局
专利名称:单晶炉热场托杆轴基座的制作方法
技术领域
本实用新型涉及高温炉用材料,具体涉及单晶炉热场托杆轴基座。
背景技术
单晶硅主要采用直拉单晶制造法生产,这种生产エ艺需要用到单晶炉。将原材料放入坩埚中,在单晶炉中加热融化,在将棒状籽晶浸入熔液中。在合适的温度下,熔液中的硅原子会在固液交界面上形成规则的結晶,成为单晶体。吧籽晶微微旋转向上提升,熔液中的硅原子会在前面形成的单晶体上继续結晶,如此往复即可得到单晶硅锭。目前的提供升降动作的托杆轴连接装置结构上存在的问题为,托杆轴与托杆轴基座连接部位面积过小,导致运动传输不稳定,连接部位结构单薄,在高低温差下容易出现裂纹。

实用新型内容本实用新型的目的即在于克服现有技术的不足,提供一种结构简单,稳固可靠,寿命长的单晶炉热场托杆轴基座。本实用新型的目的通过以下技术方案实现单晶炉热场托杆轴基座,它包括基座体,基座体上开设有圆形坩埚托盘安装槽,坩埚托盘安装槽内设置有凸台,坩埚托盘安装槽底面上均布减重孔,在基座体中间开设有托杆轴安装孔,以托杆轴安装孔圆周上的点为圆心,开设有固定销安装孔,固定销安装孔为半圆孔,沿托杆轴安装孔圆周均布,减重孔和托杆轴安装孔为通孔。本实用新型的优点是托杆轴安装孔为通孔,与托杆轴配合面积大;固定销安装在固定销安装孔中,以连接托杆轴,稳固可靠,不产生裂纹;设置有减重孔,降低了重量,节约了成本。

图1为本实用新型的结构示意图图2为本实用新型的俯视图图中,1-基座体,2-坩埚托盘安装槽,3-凸台,4-减重孔,5-托杆轴安装孔,6-固定销安装孔。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进ー步说明,本实用新型的保护范围不限于以下所如图1和图2所示,单晶炉热场托杆轴基座,它包括基座体1,基座体1上开设有圆形坩埚托盘安装槽2,坩埚托盘安装槽2内设置有凸台3,坩埚托盘安装槽2底面上均布减重孔4,在基座体1中间开设有托杆轴安装孔5,以托杆轴安装孔5圆周上的点为圆心,开设有固定销安装孔6,固定销安装孔6为半圆孔,沿托杆轴安装孔5圆周均布,减重孔4和托杆轴安装孔5为通孔。
权利要求1.单晶炉热场托杆轴基座,其特征在于,它包括基座体(1),基座体(1)上开设有圆形坩埚托盘安装槽(2 ),坩埚托盘安装槽(2 )内设置有凸台(3 ),坩埚托盘安装槽(2 )底面上均布减重孔(4),在基座体(1)中间开设有托杆轴安装孔(5),以托杆轴安装孔(5)圆周上的点为圆心,开设有固定销安装孔(6),固定销安装孔(6)为半圆孔,沿托杆轴安装孔(5)圆周均布,减重孔(4 )和托杆轴安装孔(5 )为通孔。
专利摘要本实用新型公开了一种单晶炉热场托杆轴基座,它包括基座体(1),基座体(1)上开设有圆形坩埚托盘安装槽(2),坩埚托盘安装槽(2)内设置有凸台(3),坩埚托盘安装槽(2)底面上均布减重孔(4),在基座体(1)中间开设有托杆轴安装孔(5),以托杆轴安装孔(5)圆周上的点为圆心,开设有固定销安装孔(6),固定销安装孔(6)为半圆孔,沿托杆轴安装孔(5)圆周均布,减重孔(4)和托杆轴安装孔(5)为通孔。本实用新型的优点在于,结构简单,稳固可靠,不产生裂纹,寿命长。
文档编号C30B15/00GK202297851SQ20112042608
公开日2012年7月4日 申请日期2011年11月1日 优先权日2011年11月1日
发明者张庆 申请人:雅安恒圣高纯石墨科技有限责任公司
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