一种结晶炉用的坩埚顶升旋转装置制造方法
【专利摘要】一种结晶炉用的坩埚顶升旋转装置。单晶炉机架的面上固定有支架安装平台，支架安装平台通过提升机构支撑杆与导轨平台固定连接，支架安装平台上固定有电机，电机连接坩埚提升变速器，坩埚提升变速器通过坩埚提升丝杆通过轴承与导轨平台上面活连接，坩埚提升丝杆通过螺纹与磁流体安装平台活连接，磁流体安装平台内固定有磁流体，磁流体安装平台下端固定有慢速电机，慢速电机通过传动齿轮与坩埚提升丝杆连接，旋转电机通过连接板与磁流体安装平台下端固定连接，旋转电机通过多锲带坩埚轴连接。由于设有坩埚的顶升装置，坩埚能够同时旋转和顶升，有利于结晶，成品的合格率大大提升，节约了能源，为光伏产业提供了有力的保证。
【专利说明】-种结晶炉用的坩埚顶升旋转装置
【技术领域】
[0001] 本实用新型一种结晶炉用的坩埚顶升旋转装置，涉及的是硅片制造设备设计制造
【技术领域】，应用于结晶炉坩埚的顶升。
【背景技术】
[0002] 随着国内光伏行业的迅猛发展，结晶炉使用频率相对增高，随着产量的提高，坩埚 的加料和更换的次数相应增多。但由于现有的结晶炉的结构不合理，在结晶炉内的坩埚无 法进行复合运动。例，专利201120537541. X，单晶硅制造装置炉室结构，由于没有坩埚的顶 升装置，造成坩埚无法同时旋转和顶升，不利于结晶，容易造成晶棒报废，消耗了大量的能 源。 实用新型内容
[0003] 本实用新型的目的在于克服上述缺陷，对现有技术加以改进，设计一种具有操作 便捷，成本低廉，方便顶升坩埚的一种结晶炉用的坩埚顶升旋转装置。
[0004] 其技术是这样实现的：包括单晶炉机架、支架安装平台、坩埚提升变速器、慢速电 机、提升机构支撑杆、传动齿轮、磁流体安装平台、坩埚提升丝杆、水冷套、坩埚轴、坩埚、导 轨平台、磁流体、旋转电机、连接板、多锲带、结晶炉、电机在内，其特征在于：整个装置设在 结晶炉的下端，单晶炉机架的面上固定有支架安装平台，支架安装平台通过提升机构支撑 杆与导轨平台固定连接，支架安装平台上固定有电机，电机连接坩埚提升变速器，坩埚提升 变速器通过坩埚提升丝杆通过轴承与导轨平台上面活连接，坩埚提升丝杆通过螺纹与磁流 体安装平台活连接，磁流体安装平台内固定有磁流体，磁流体安装平台下端固定有慢速电 机，慢速电机通过传动齿轮与坩埚提升丝杆连接，旋转电机通过连接板与磁流体安装平台 下端固定连接，坩埚轴固定在磁流体内，坩埚轴顶端抵在结晶炉内置有的坩埚底端，旋转电 机通过多锲带坩埚轴连接，所述的坩埚轴外周设有水冷套。
[0005] 实施该技术后的明显优点和效果是：与现有技术相比，由于设有坩埚的顶升装置， 坩埚能够同时旋转和顶升，有利于结晶，成品的合格率大大提升，节约了能源，为光伏产业 提供了有力的保证。
【专利附图】
【附图说明】
[0006] 图1为本实用新型的主视结构示意图，
[0007] 其中，1-单晶炉机架、2-支架安装平台、3-坩埚提升变速器、4-慢速电机、5-提升 机构支撑杆、6-传动齿轮、7-磁流体安装平台、8-坩埚提升丝杆、9-水冷套、10-坩埚轴、 11-坩埚、12-导轨平台、13-磁流体、14-旋转电机、15-连接板、16-多锲带、17-结晶炉、 18-电机。
【具体实施方式】
[0008] 以下结合附图，对本实用新型作进一步描述：
[0009] 见附图1，整个装置设在结晶炉17的下端，单晶炉机架1的面上固定有支架安装平 台2,支架安装平台2通过提升机构支撑杆5与导轨平台12固定连接，支架安装平台2上 固定有电机18,电机18连接坩埚提升变速器3,坩埚提升变速器3通过坩埚提升丝杆8通 过轴承与导轨平台12上面活连接，坩埚提升丝杆8通过螺纹与磁流体安装平台7活连接， 磁流体安装平台7内固定有磁流体13,磁流体安装平台7下端固定有慢速电机4,慢速电机 4通过传动齿轮6与坩埚提升丝杆8连接，旋转电机14通过连接板15与磁流体安装平台7 下端固定连接，坩埚轴10固定在磁流体13内，坩埚轴10顶端抵在结晶炉17内置有的坩埚 11底端，旋转电机14通过多锲带16坩埚轴10连接，所述的坩埚轴10外周设有水冷套9。 [0010] 见附图1，结晶炉17结晶生产时，启动旋转电机14,通过多锲带16使坩埚轴10旋 转，带动坩埚11旋转，坩埚11旋转的同时，慢速电机4被启动，慢速电机4通过传动齿轮6 带动坩埚提升丝杆8旋转，旋转的坩埚提升丝杆8带动磁流体安装平台7慢速上升，随着磁 流体安装平台7的上升，带动坩埚轴10上升，坩埚轴10上升带动坩埚11上升，达到坩埚11 旋转和上升的目的，与晶棒提升机构配合完成结晶。
【权利要求】
1. 一种结晶炉用的坩埚顶升旋转装置，包括单晶炉机架、支架安装平台、坩埚提升变 速器、慢速电机、提升机构支撑杆、传动齿轮、磁流体安装平台、坩埚提升丝杆、水冷套、坩埚 轴、坩埚、导轨平台、磁流体、旋转电机、连接板、多锲带、结晶炉、电机在内，其特征在于：整 个装置设在结晶炉的下端，单晶炉机架的面上固定有支架安装平台，支架安装平台通过提 升机构支撑杆与导轨平台固定连接，支架安装平台上固定有电机，电机连接坩埚提升变速 器，坩埚提升变速器通过坩埚提升丝杆通过轴承与导轨平台上面活连接，坩埚提升丝杆通 过螺纹与磁流体安装平台活连接，磁流体安装平台内固定有磁流体，磁流体安装平台下端 固定有慢速电机，慢速电机通过传动齿轮与坩埚提升丝杆连接，旋转电机通过连接板与磁 流体安装平台下端固定连接，坩埚轴固定在磁流体内，坩埚轴顶端抵在结晶炉内置有的坩 底端，旋转电机通过多锲带坩埚轴连接。
2. 根据权利要求1所述的一种结晶炉用的坩埚顶升旋转装置，其特征在于：所述的坩 埚轴外周设有水冷套。
【文档编号】C30B15/30GK203999904SQ201420211441
【公开日】2014年12月10日 申请日期:2014年4月28日 优先权日:2014年4月28日
【发明者】张永超 申请人:上海卡姆丹克太阳能科技有限公司