一种电镀线切割硅片用主导线辊的制作方法

文档序号:12217231阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种电镀线切割硅片用主导线辊,电镀线往复缠绕在一对主导线辊,其特征在于:所述一对主导线辊中至少有一个的轴心与旋转轴的轴心偏离。

2.根据权利要求1所述的电镀线切割硅片用主导线辊,其特征在于:所述主导线辊轴心和旋转轴轴心距离为80-120μm。

3.根据权利要求1或2所述的电镀线切割硅片用主导线辊,其特征在于:所述一对主导线辊的轴心均与旋转轴的轴心偏离。

4.根据权利要求3所述的电镀线切割硅片用主导线辊,其特征在于:所述一对主导线辊静止状态下的高点方位形成180°。

5.根据权利要求4所述的电镀线切割硅片用主导线辊,其特征在于:所述主导线辊转动引起电镀线纵向摆动,所述电镀线的摆动频率为25-30次/s。

6.根据权利要求1或2所述的电镀线切割硅片用主导线辊,其特征在于:所述主导线辊表面包覆有聚氨酯耐磨材料,且刻有与硅片目标厚度对应的同心圆V槽。

7.根据权利要求6所述的电镀线切割硅片用主导线辊,其特征在于:所述主导线辊直径为230mm。

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