技术总结
本实用新型公布了一种电镀线切割硅片用主导线辊，表面包覆有聚氨酯耐磨材料，且刻有与硅片目标厚度对应的同心圆V槽。电镀线往复缠绕在一对主导线辊上，所述一对主导线辊的轴心均与旋转轴的轴心偏离100μm，使得主导线辊旋转时为偏心轮状态，表面跳动值为200μm。一对主导线辊静止状态下的高点方位形成180°。本实用新型能改善切割废硅屑的排出能力和冷却液的冷却性能，提高金刚砂切削能力，最终提高加工效率，改善硅片表面品质的电镀线切割硅片用主导线辊。
技术研发人员：李斌全;何江涛;李小刚;谈继岗
受保护的技术使用者：无锡隆基硅材料有限公司
文档号码：201620713833
技术研发日：2016.07.07
技术公布日：2017.02.22