一种用于圆形基片夹持的工装的制作方法

技术特征：

1.一种用于圆形基片夹持的工装，基片为圆柱形，其特征在于，包括夹持本体(1)和环带(2)，夹持本体(1)为带有弹性回复功能的夹持结构，在夹持本体(1)的底部内侧固定连接环带(2)，用于对圆形基片外圆的夹持；

夹持本体(1)自然状态下张开的直线距离大于圆形基片的直径，环带(2)的曲率半径与圆形基片的半径相同；环带(2)的弧长不大于圆形基片周长的1/2。

2.如权利要求1所述的一种用于圆形基片夹持的工装，其特征在于，环带(2)距离夹持本体(1)底部0-3mm。

3.如权利要求1所述的一种用于圆形基片夹持的工装，其特征在于，环带(2)宽度不超过圆形基片的厚度。

4.如权利要求1所述的一种用于圆形基片夹持的工装，其特征在于，环带(2)材料为不锈钢。

5.如权利要求1所述的一种用于圆形基片夹持的工装，其特征在于，环带(2)内壁表面粗糙度Rz小于1.6微米。