技术总结
本实用新型涉及一种用于圆形基片夹持的工装，包括夹持本体和环带，夹持本体为带有弹性回复功能的夹持结构，在夹持本体的底部内侧固定连接环带，用于对圆形基片外圆的夹持。通过环带夹持在基片外圆上，避开了直接与基片倒角的接触，能够有效避免基片倒角崩边问题，同时环带与基片外圆的面接触，更有利于基片的夹持，防止脱落引起的二次污染或损伤。
技术研发人员：单海洋;赵毅;董洪成;王金洞;景敏娟;彭勇林
受保护的技术使用者：北京航天时代激光导航技术有限责任公司
文档号码：201721302160
技术研发日：2017.09.30
技术公布日：2018.05.18