体2的移动，第一部分43的长度及第二部分44的长度以一方增加另一方的减少量的形式发生变化的结构。
[0032]于本实施形态所例示的形态中，密封带4是由实质上不具有伸缩性的一根带状物构成。而且，密封带4的内侧带区间41的一端41 a与外侧带区间42的第一部分43的一端43a相连。另外，该相连部分卷绕于第一移动辊22，从而保持于移动体2。而且，外侧带区间42的第一部分43的上述其他部分自第一移动辊22延伸至第三空间位置P3为止，在第三空间位置P3处固定于框体1。
[0033]又，密封带4的内侧带区间41的另一端41b与外侧带区间42的第二部分44的一端44a相连。而且，该相连部分卷绕于第二移动辊23，从而保持于移动体2。另外，外侧带区间42的第二部分44的上述其他部分自第二移动辊23延伸至第四空间位置P4为止，在第四空间位置P4处固定于框体1。
[0034]另外，外侧带区间42的第一部分43及第二部分44的上述其他部分的两侧缘以抵接于框体1的正面壁11的形式设置。藉此，能够防止开口 10与密封带4之间产生间隙，从而能够有效地隔离框体1的内部空间的环境气体与框体1的外部空间的环境气体。
[0035]而且，内侧带区间41的一端41a与另一端41 b之间的部分卷绕于在框体1上固定的多个固定棍(后述的第一固定棍51、第二固定棍52、第一反转棍53及第二反转棍54)。
[0036]上述多个固定辊由第一固定辊51、第二固定辊52、第一反转辊53及第二反转辊54构成。第一固定辊51、第二固定辊52、第一反转辊53及第二反转辊54是沿着开口 10的宽度方向延伸的圆柱体，其两端以能够相对于框体1旋转的形式通过未图示的支持体受到支持，且以围绕沿开口 10的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式固定于框体1 ο再者，第一固定棍51、第二固定棍52、第一反转棍53及第二反转棍54亦可直接安装固定于框体1。第一固定棍51位于第一空间位置Ρ1。第二固定棍52位于第二空间位置Ρ2。第一反转棍53位于第一固定棍51与背面壁12之间。第二反转辊54位于第二固定辊52与背面壁12之间。第一反转辊53及第二反转辊54构成为在密封带4的延伸方向上的第一固定辊51与第二固定辊52之间使内侧带区间41中途反转的棍。而且，密封带4的内侧带区间41沿着从一端41 a朝向另一端41b的方向，依序卷绕于第一固定棍51、第一反转棍53、第二反转棍54及第二固定棍52。
[0037 ]而且，如上所述，驱动机构3位于由密封带4的内侧带区间41包围的内部空间S1，于框体1、以及外侧带区间42与内侧带区间41之间形成有缓冲空间S2。藉此，形成于底壁15的排气口 16连接框体的外部空间S3与缓冲空间S2。
[0038]又，于本实施形态所例示的形态中，机械臂100还具备一对间隔壁7及排气机构(吸气机构)8。
[0039]如图2所示，一对间隔壁7以沿着自内侧带区间41的一端41a向第一空间位置P1延伸的部分的驱动机构3侧、与自内侧带区间41的另一端41b向第二空间位置P2延伸的部分的驱动机构3侧延伸的形式配设。亦即，如图2及图3所示，一对间隔壁7形成为位于内部空间S1与缓冲空间S2的边界的结构，一对间隔壁7配设于密封带4的内侧上部密封区间45及内侧下部密封区间46与驱动机构3之间。又，一对间隔壁7配设为沿着内侧上部密封区间45及内侧下部密封区间46延伸。而且，一对间隔壁7的外侧侧缘部7a安装于一对侧壁13的内表面，且沿着开口 10的宽度方向延伸。另外，一对间隔壁7的内侦剛缘部7b形成为自开口 10的法线方向观察，位于比内侧带区间41的上述内侧上部密封区间45、内侧下部密封区间46的侧缘靠内侧的位置的结构。而且，移动台21的内在部21a沿着垂直方向，于一对间隔壁7的内侧侧缘部7b之间移动。藉此，能够隔离内部空间S1的环境气体与缓冲空间S2的环境气体，从而能够进一步提高如下效果:防止由位于内部空间S1的驱动机构3产生的微粒向框体1的外部空间流出。
[0040]排气机构8是抽吸缓冲空间S2的气体的机构。于本实施形态所例示的形态中，排气机构8例如是由风扇或鼓风机等送风机、排气栗等构成，且具有吸入口 81与喷出口 82。吸入口 81与吸气口 16连接。又，喷出口 82连接于排气风道110。而且，排气机构8因驱动而通过吸气口 16吸入缓冲空间S2的气体，且将该气体自喷出口 82排出至排气风道110。藉此，缓冲空间S2的气压相对于内部空间S1的气压而言成为负压，因此，内部空间S1的气体流出至缓冲空间S2。因排气机构8驱动，缓冲空间S2的气压相对于外部空间S3的气压而言亦成为负压，因此，流出至缓冲空间S2的内部空间S1的气体实质上不会经由开口 10而流出至外部空间S1，而是会经由排气口 16而排出至排气风道110。如此，能够防止内部空间S1的气体流出至外部空间S3，因此，能够更有效果地防止内部空间S1的气体中所含的由驱动机构3产生的微粒流出至外部空间S3而导致制品的成品率下降。
[0041]又，如上所述，因排气机构8驱动，缓冲空间S2的气压相对于外部空间S3的气压而言成为负压，因此，与正面壁11抵接的密封带4会稍微向框体1的内部凸起，结果于正面壁11与密封带4之间形成间隙。继而，外部空间S1的气体通过该间隙而流入至缓冲空间S2。然而，如上所述，缓冲空间S2的气压相对于内部空间S1的气压而言成为负压，因此，流入至缓冲空间S2内的外部空间S3的气体实质上不会自缓冲空间S2流入至内部空间S1，而是会经由排气口 16而排出至排气风道110。如此，能够有效果地防止外部空间S3的气体流入至内部空间S1，因此，当外部空间S3的气体中含有腐蚀性气体时，能够防止因该气体流入至内部空间S1而导致驱动机构3受到腐蚀性气体腐蚀。
[0042][动作例]
其次，说明机械臂100的动作例。
[0043]控制部9使驱动机构3驱动而使移动体2向上方移动后，如图2所示，于内侧带区间41的内侧下部密封区间46中，沿着使该区间靠近第二移动辊23的方向产生张力，密封带4的内侧带区间41以随着移动体2的移动而向自第一移动辊22朝向第二移动辊23的方向(图2中的顺时针方向)移动的形式旋转。继而，密封带4被自外侧带区间42的第一部分43拉入至内侧带区间41的内侧上部密封区间45内，外侧带区间42的第一部分43的一端43a向上方移动。藉此，第一部分43的长度减少。又，密封带4被自内侧带区间41的内侧下部密封区间46送出至外侧带区间42的第二部分44，外侧带区间42的第二部分44的一端44a向上方移动。藉此，第二部分44的长度会增加第一部分43的减少量。因此，即使移动体2移动，外侧带区间42的整个长度及延伸位置亦不会变化，不会因移动体2移动而在开口 10的上端10a与移动体2之间及下端10b与移动体2之间产生间隙。藉此，能够隔离外部空间S3的环境气体与内部空间S1的环境气体。尤其，外侧上部密封区间47及内侧上部密封区间45、以及外侧下部密封区间48及内侧下部密封区间46位于外部空间S3与内部空间S1之间，因此，能够有效果地隔离外部空间S3的环境气体与内部空间S1的环境气体。而且，当外侧带区间42的第一部分43被拉入至内侧带区间41时，密封带4的外侧带区间42的第一部分43的另一端43b保持于第三空间位置P3，因此，密封带4的第一部分43不会相对于框体1的正面壁11产生相对移动，该第一部分43的两侧缘与框体1的正面壁11不会相互摩擦。又，即使当内侧带区间41的内侧下部密封区间46被送出至外侧带区间42的第二部分44时，由于密封带4的外侧带区间42的第二部分44的另一端44b保持于第四空间位置P4，故而密封带4的第二部分44不会相对于框体1的正面壁11产生相对移动，该第二部分44的两侧缘与框体1的正面壁11不会相互摩擦。因此，能够防止因密封带4的外侧带区间42与框体1随着移动体2的移动而相互摩擦所产生的微粒。
[0044]如以上的说明所述，对于本发明的机械臂100而言，控制部9使驱动机构3驱动而使移动体2移动后，内侧带区间41随着移动体2的移动而旋转，并且内侧带区间41的第一部分
43的一端43a及第二部分44的一