端44a向移动体2的移动方向移动。因此，不会因移动体2移动而在开口 10的上端10a与移动体2之间及下端10b与移动体2之间产生间隙，能够保持由外侧带区间42及内侧带区间41双重地覆盖形成于框体1的开口 10的状态。藉此，能够隔离外部空间S3的环境气体与内部空间S1的环境气体，防止在内部空间S3中由驱动机构3产生的微粒流出至外部空间S1的效果(防尘效果)相较于现有技术有所提高。又，排气机构8抽吸内侧带区间41与外侧带区间42之间的缓冲空间S2的气体，因此，能够有效果地防止框体1的外部空间S3的气体流入至内部空间S1。其结果，当外部空间S1的气体中含有腐蚀性气体时，能够有效果地防止该腐蚀性气体流入至内部空间S1。
[0045](第二实施形态)
图4是表示本发明第二实施形态的机械臂200的结构例的纵剖面图。
[0046]如图4所示，机械臂200具备框体201、移动体202、驱动机构3、密封带204、固定于框体1的多个固定辊、机械手6及控制部9。
[0047]以下，以上述第一实施形态与本实施形态的相异点为中心进行说明。
[0048]驱动机构3、机械手6及控制部9的结构与上述第一实施形态相同，因此省略其说明。
[0049]框体201具有排气口 216，该排气口 216是形成于一方的侧壁13、且以使框体1内部的缓冲空间S2与外部空间S3连通的形式而形成的贯通孔。其他框体201的结构与上述第一实施形态的框体1相同，因此省略其说明。
[0050]于本实施形态所例示的形态中，移动体202包含移动台21，但并未设置相当于上述第一实施形态中的第一移动辊22及第二移动辊23的构件。其他移动体202的结构与上述第一实施形态的移动体2相同，因此省略其说明。
[0051]于本实施形态所例示的形态中，密封带204具有实质上为不具有伸缩性的带状物的内侧带241及外侧带242。外侧带242以位于内侧带241与框体1的开口 10之间的形式配设。内侧带241构成内侧带区间，外侧带242构成外侧带区间。如此，内侧带区间与外侧带区间分别由独立的带构成。
[0052]内侧带241的一端241a固定于移动体202的内在部21a的开口10附近的上表面。又，内侧带241的另一端241b固定于移动体202的内在部21a的开口 10附近的下表面。而且，内侧带241的一端241a与另一端241b之间的部分卷绕于在框体1上固定的多个固定棍(后述的第三固定辊251、第四固定辊252、第三反转辊255及第四反转辊256)上。
[0053]外侧带242包含第一部分43与第二部分44。第一部分43的一端43a固定于移动体202的内在部21a的开口 10附近的上表面，即固定有内侧带241的一端241a的部分与开口 10之间的部分。又，外侧带242的第二部分44的一端44a固定于移动体202的内在部21a的开口10附近的下表面，即固定有内侧带241的另一端241 b的部分与开口 10之间的部分。
[0054]而且，第一部分43的其他部分自移动台21的内在部21a的开口 10附近的上表面，沿着开口 10延伸至超越上端10a的第三空间位置P3，进而延伸至第三空间位置P3的前端为止。又，第二部分44的其他部分自移动台21的内在部21a的开口 10附近的下表面，沿着开口 10延伸至超越下端10b的第四空间位置P4，进而延伸至第四空间位置P4的前端为止。另外，第一部分43的另一端与第二部分44的另一端相连。而且，外侧带242的第一部分43的一端43a与第二部分44的一端44a之间的部分卷绕于在框体1上固定的多个固定棍(后述的第五固定棍
253、第六固定辊254、第五反转辊257、第六反转辊258)上。
[0055]而且，外侧带242以在第一部分43及第二部分44的沿着开口 10延伸的部分、与框体1的正面壁11之间形成间隙的形式配设。藉此，能够防止第一部分43及第二部分44的沿着开口 10延伸的部分、与框体1的正面壁11相互摩擦而产生微粒，导致制品的成品率下降。
[0056]又，机械臂200具备第三固定辊251、第四固定辊252、第五固定辊253、第六固定辊
254、第三反转辊255、第四反转辊256、第五反转辊257及第六反转辊258。
[0057]第三固定辊251、第四固定辊252、第五固定辊253、第六固定辊254、第三反转辊
255、第四反转辊256、第五反转辊257及第六反转辊258是沿着开口10的宽度方向延伸的圆柱体，其两端以能够相对于框体1旋转的形式，经由未图示的支持体而受到支持，且以围绕沿开口 10的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式固定于框体1。再者，上述第三至第10固定棍亦可直接安装固定于框体1。
[0058]第三固定辊251位于第一空间位置P1。第四固定辊252位于第二空间位置P2。第三反转辊255位于第三固定辊251与背面壁12之间。第四反转辊256位于第四固定辊252与背面壁12之间。第三反转辊255及第四反转辊256构成为在内侧带241的延伸方向上的第一固定辊51与第二固定辊52之间使内侧带241中途反转的辊。
[0〇59]而且，内侧带241沿着自一端241a朝向另一端241b的方向，依序卷绕于第三固定棍251、第三反转辊255、第四反转辊256及第四固定辊252。
[0060]第五固定辊253位于框体1内部的开口10的上端10a及第三固定辊251的外侧。该位置构成上述第一实施形态的第三空间位置P3。第六固定辊254位于框体1内部的开口 10的下端10b及第四固定辊252的外侧。该位置构成上述第一实施形态的第四空间位置P4。
[0061]而且，第五反转辊257位于第五固定辊253与背面壁12之间，即第三反转辊255的外侦k第六反转辊258位于第六固定辊254与背面壁12之间，即第四反转辊256的外侧。第五反转辊257及第六反转辊258构成为在外侧带242的延伸方向上的第五固定辊253与第六固定辊254之间使外侧带242中途反转。
[0〇62] 而且，外侧带242沿着自第一部分43的一端43a朝向第二部分44的一端44a的方向，依序卷绕于第五固定辊253、第五反转辊257、第六反转辊258及第六固定辊254。
[0063]而且，如上所述，驱动机构3位于由内侧带241包围的内部空间S1，缓冲空间S2位于外侧带242与内侧带241之间。藉此，形成于一方的侧壁13上的排气口 16连接外部空间S3与缓冲空间S2。
[0064]对于以上述形式构成的机械臂200而言，控制部9使驱动机构3驱动而使移动体202移动后，内侧带241及外侧带242随着移动体202的移动而旋转。因此，不会因移动体202移动而在开口 10的上端10a与移动体202之间及下端10b与移动体202之间产生间隙，能够保持由外侧带242与内侧带241双重地覆盖形成于框体1的开口 10的状态。藉此，能够隔离外部空间S3的环境气体与内部空间S1的环境气体，防止在内部空间S3中由驱动机构3产生的微粒流出至外部空间S1的効果(防尘效果)相较于现有技术有所提高。
[0065]〈变形例〉
于上述实施形态中，例示了呈一条直线地延伸的框体1的开口 10，但不限于此。例如除此以外，开口 10亦可弯曲地延伸。
[0066]又，于上述实施形态中，例示了以沿着垂直方向延伸的形式形成的开口10，但不限于此，例如除此以外，开口 10亦可沿着水平方向延伸。
[0067]根据上述说明，对于本领域技术人员而言，本发明的大量改良或其他实施形态显而易见。因此，上述说明应仅被解释为例示，以指点本领域技术人员为目的而提供实施本发明的最佳形态。能够不脱离本发明的精神而实质性地变更其构造及/或功能的细节。
[0068]工业应用性:
本发明能够适用于对工件进行处理的设备中的搬送装置。
[0069]符号说明:
51内部空间
52缓冲空间
53外部空间
1框体
2移动体
3驱动机构