专利名称：一种显影液监控方法及设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及液晶显示技术领域，尤其涉及一种显影液监控方法及设备。
背景技术：
在TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display,薄膜场效应晶体管液晶显示器)的生产过程中，通常需要通过构图工艺形成阵列基板上的电路图案。显影作为构图工艺中一道重要的工序，曝光图样只有通过显影液的作用才会显现出来。显影液通过一定的化学反应，可以将透明基板上经掩膜板曝光后所形成图案中不需要的部分的光刻胶显影刻蚀掉。为了确保显影的效果，显影液的质量显得尤为重要，在现有的大多数显影系统中，显影液是循环使用的，随着显影液使用次数的增加，显影液会逐渐被污染，显影效果明显降低。为了保证显影液的质量，有些厂商将使用一次或使用少数几次后的显影液直接排掉，这样虽然是提高了产品的良率，但是减少了显影液的循环使用次数，增加了显影液的使用量，大大增加了产品的成本。为了在保证产品良率的同时提高显影液的利用率，可以在 显影液循环使用的过程中对显影液的显影效果进行实时监控，动态调节显影液的浓度以达到较优的显影效果。在现有技术中，对显影液质量的监控主要可以通过测量显影液的浓度和光阻浓度来实现。但由于不同显影液的组分配比也各不相同，现有的显影液监控系统由于是针对显影液中的多种组分进行监控，难以直观准确地反映出显影液的显影效果。显影液监控系统不能直观有效地对显影液的显影效果进行评估就难免会造成显影液的浪费，或造成显影液显影效果的不良。
发明内容
本发明的实施例提供一种显影液监控方法及设备，可以有效准确地监控显影液的显影效果。为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案本发明实施例的一方面，提供一种显影液监控设备，包括用于盛放显影液的显影液槽，和位于所述显影液槽中的放置待显影基板的光线可透的基板支撑架；其中，所述待显影基板上涂布有第一颜色的光刻胶；还包括光检测单元，所述光检测单元在所述待显影基板浸入所述显影液后的规定时间内向所述待显影基板的显影区域发射检测光线；和与所述光检测单元电连接的处理单元，用于根据所述检测光线确定所述显影区域发生显影的时间间隔，若确定所述时间间隔不在预设时间范围内，则确定所述显影液失效。本发明实施例的另一方面，提供一种显影液监控方法，应用于待显影基板在显影液中进行显影的过程，其中，所述待显影基板上涂布有第一颜色的光刻胶，包括在所述待显影基板浸入显影液后的规定时间内向所述待显影基板的显影区域发射检测光线；根据所述检测光线确定所述显影区域发生显影的时间间隔，若确定所述时间间隔不在预设时间范围内，则确定所述显影液失效。本发明实施例提供的显影液监控方法及设备，应用于待显影基板浸入显影液进行显影的过程中，光检测单元在待显影基板浸入显影液后的规定时间内向该待显影基板的显影区域发射检测光线，与该光检测单元电连接的处理单元根据该检测光线确定显影区域发生显影的时间间隔，将该时间间隔与预设的时间范围作比较即可以确定该显影液是否已经失效。采用这样一种显影液监控方法，通过直接对光刻胶的脱落过程进行检测，可以在显影液循环使用的过程中有效准确地监控显影液的显影效果，从而在避免了显影液浪费的同时确保了显影液的显影效果。这样一来，不但降低了产品的生产成本，还大大提高了产品的质量。
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I为本发明实施例提供的一种显影液监控设备的结构示意图；图2为本发明实施例提供的另一显影液监控设备的局部结构示意图；图3为本发明实施例提供的另一显影液监控设备的局部结构示意图；图4为本发明实施例提供的又一显影液监控设备的局部结构示意图；图5为图4所示的显影液监控设备的底部方向的局部仰视图；图6为本发明实施例提供的一种显影液监控方法的流程示意图；图7为本发明实施例提供的另一显影液监控方法的流程示意图；图8为本发明实施例提供的又一显影液监控方法的流程示意图。
具体实施例方式下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。本发明实施例提供的显影液监控设备10，如图I所示，包括用于盛放显影液的显影液槽11，和位于显影液槽11中的放置待显影基板12的光线可透的基板支撑架13 ;其中，待显影基板12上涂布有第一颜色的光刻胶121。如图I所示，还包括光检测单元14，该光检测单元14在待显影基板12浸入显影液后的规定时间内向待显影基板12的显影区域(图I中A区域)发射检测光线。与光检测单元14电连接的处理单元(图中未示出)，用于根据该检测光线确定该显影区域发生显影的时间间隔，若确定该时间间隔不在预设时间范围内，则确定该显影液失效。本发明实施例提供的显影液监控设备，应用于待显影基板浸入显影液进行显影的过程中，检测单元在待显影基板浸入显影液后的规定时间内向该待显影基板的显影区域发射检测光线，与该光检测单元电连接的处理单元根据该检测光线确定显影区域发生显影的时间间隔，将该时间间隔与预设的时间范围作比较即可以确定该显影液是否已经失效。采用这样一种显影液监控方法，通过直接对光刻胶的脱落过程进行检测，可以在显影液循环使用的过程中有效准确地监控显影液的显影效果，从而在避免了显影液浪费的同时确保了显影液的显影效果。这样一来，不但降低了产品的生产成本，还大大提高了产品的质量。其中，光检测单元14可以采用任意一种现有的光线检测装置。例如，光检测单元14可以为一对相向设置的光发射器和光接收器，如图2所示，光检测单元14具体可以包括设置在基板支撑架13 —侧的光发射模块141，光发射模块141在待显影基板12浸入显影液后的规定时间内向待显影基板12的显影区域发射第二颜色的检测光线；和设置在基板支撑架13的另一侧，与光发射模块141相向设置的光接收模块142，用于接收光发射模块141发出的光线。例如，光发射模块141可以采用光线发生器或激光器来向基板上预设的检测区域 发射检测光，光接收模块142可以采用光线接收器或其他光线传感器接收该检测光。其中，光线发生器与光线接收器的位置严格对应，分别位于涂布光刻胶的待显影基板12的两侧，这样一来，当显影区域的光刻胶在显影液的作用下脱落时，光线发生器所发射的检测光将透过待显影基板12照射到光线接收器上，当该光线接收器接收到检测光时，即可以确定光刻胶在显影液的作用下已脱落。相应的,处理单兀具体还可以用于获取光发射模块141发射光线的第一时刻和光接收模块142接收到光线的第二时刻，并计算得到该第一时刻与该第二时刻之间的时间间隔，若确定该时间间隔不在预设时间范围内，则确定该显影液失效。采用这样一种显影液监控方法，通过直接对光刻胶的脱落过程进行检测，可以在显影液循环使用的过程中有效准确地监控显影液的显影效果，从而在避免了显影液浪费的同时确保了显影液的显影效果。这样一来，不但降低了产品的生产成本，还大大提高了产品的质量。进一步地，如图2所示，显影液监控设备10还可以包括设置在基板支撑架(图2中未示出)一侧的颜色传感单元15，颜色传感单元15用于在第二时刻后向待显影基板12的显影区域发射检测光线，并根据该检测光线确定显影区域的色度值。相应的，处理单元还可以与颜色传感单元15电连接，用于若确定该色度值不在预设色度范围内，则确定该显影液失效。例如，颜色传感单元15可以是在显影区域设置的至少一个色彩传感器，该色彩传感器可以向待显影基板12发射一道三色光源，待显影基板12上的光刻胶将对该三色光中的三种颜色选择性的透过或反射，色彩传感器接收到反射光的受光量将被转换成三种颜色的比率，从而可以正确识别待显影基板12经过显影后的颜色，检测的结果会转换为数字显示的色度值，该色度值与预设的色度范围比较，即可判断显影区域的光刻胶是否显影完全。这样一来，进一步确保了检测的准确性。或者，还可以采用颜色传感器检测待显影基板显影区域的光刻胶的显影情况。如图3所示，光检测单元14具体可以包括设置在基板支撑架13 —侧的颜色传感模块143，颜色传感模块143在待显影基板12浸入显影液后的规定时间内向待显影基板12的显影区域发射色度检测光线；接收显影区域的反射光线；根据该反射光线确定该显影区域的色度值。例如，颜色传感模块143可以采用RGB色彩传感器，该色彩传感器可以向基板12发射一道三色光源，基板12上的光刻胶121将对该三色光中的三种颜色选择性的透过或反射，色彩传感器接收到反射光的受光量将被转换成三种颜色的比率，从而可以正确识别基板12的颜色，检测的结果会转换为数字显示的色度值。相应的，处理单元具体还可以用于获取颜色传感模块143发射光线的第一时刻和显影区域的色度值变化至预设色度范围的第二时刻，并计算得到该第一时刻与该第二时刻之间的时间间隔，若确定该时间间隔不在预设时间范围内，则确定该显影液失效。采用这样一种显影液监控方法，通过直接对光刻胶的脱落过程进行检测，可以在显影液循环使用的过程中有效准确地监控显影液的显影效果，从而在避免了显影液浪费的同时确保了显影液的显影效果。这样一来，不但降低了产品的生产成本，还大大提高了产品的质量。
进一步地，显影液监控设备10还可以包括与处理单元电连接的提示单元(图中未示出)，用于在处理单元确定显影液失效后，向用户提示该显影液失效。更进一步地，处理单元还可以用于若确定时间间隔大于第一预设时间，则确定该显影液的浓度值低于预设浓度值。若确定时间间隔小于第二预设时间，则确定该显影液的浓度值高于预设浓度值。其中，第一预设时间大于第二预设时间。例如，第一预设时间为20s，当检测到的时间间隔为25s时，说明显影液的显影能力较弱，显影效果偏低，显影效果降低通常是由于显影液的浓度降低造成的，这将导致在规定时间内光刻胶的显影不完全。当时间间隔大于第一预设时间时，可以通过用户的手动调节或调节装置的自动调节来提高显影液的浓度至预设浓度值，或重新更换显影液。再例如，第二预设时间为10s，当检测到的时间间隔为5s时，说明显影液的显影能力过强，显影效果偏高，显影效果过高通常由于显影液的浓度过高，这将导致在规定时间内光刻胶的显影过当，使得不需要进行显影的区域的光刻胶脱落。当时间间隔小于第二预设时间时，可以通过用户的手动调节或调节装置的自动调节来降低显影液的浓度至预设浓度值，或重新更换显影液。其中，显影液的预设浓度值可以是显影过程中人为选定的显影液浓度的优选值，当显影液的浓度值为该预设浓度值时，显影液的显影效果最佳。以下对本发明实施例提供的显影液监控设备10进行详细说明。需要说明的是，本发明实施例以光检测单元14采用一对相向设置的光发射模块和光接收模块为例进行说明。如图2所示，以涂布有绿色光刻胶121的待显影基板12为例，当该待显影基板12进入显影液槽11开始进行显影处理时，显影液监控设备10将同时对显影液显影效果的监控。如图2所示，光发射模块141与光接收模块142的位置严格对应，且分别位于基板支撑架13的两侧。其中，光发射模块141可以采用红光发射器，相应的，光接收模块142可以采用红光接收器。
光发射模块141在第一时刻开始向基板12上的显影区域发射红光，开始进行显影液显影效果的监控。其中，显影区域不具有电路图案，该区域的光刻胶将随着显影过程的进行而逐渐脱落。在显影的开始阶段，基板12上的绿色光刻胶121尚未脱落，光发射单元14发射的红光无法透过光刻胶121，光接收模块142也无接收信号。随着显影的逐渐进行，显影区域的绿色光刻胶121将完全脱落，如图4所示，此时，光发射模块141发射的红光将透过基板12，到达与光发射模块141处于对应位置的光接收模块142，记录下此时的时刻为第二时刻。处理单元(图中未示出)可以根据该第一时刻和该第二时刻得到这两个时刻的时间间隔。若该时间间隔不在预设时间范围内，则可以确定该显影液失效。具体的，若时间间隔大于第一预设时间，处理单元可以确定该显影液的浓度值低于预设浓度值，提示单元可以提醒用户显影液的浓度值过低；若时间间隔小于第二预设时间，处理单元可以确定该显影液的浓度值高于预设浓度值，提示单元可以提醒用户显影液的浓度值过高，以便用户对显影液进行浓度调整或更换。 为了进一步确保显影效果检测的准确性，如图5所示，可以在基板12—侧的显影区域(图5中B区域)设置三个颜色传感单元15，三个颜色传感单元15之间的间距可以调节，从而可以适应各种尺寸的面板生产。颜色传感单元15可以采用RGB色彩传感器，该色彩传感器可以向基板12发射一道三色光源，基板12上的光刻胶121将对该三色光中的三种颜色选择性的透过或反射，色彩传感器接收到反射光的受光量将被转换成三种颜色的比率，从而可以正确识别基板12的颜色，检测的结果会转换为数字显示的色度值，该色度值与预设的色度范围比较，即可判断显影区域的光刻胶是否显影完全。这样一来，进一步确保了检测的准确性。本发明实施例提供的显影液监控方法，应用于待显影基板在显影液中进行显影的过程，其中，该待显影基板上涂布有第一颜色的光刻胶，如图6所示，包括S601、在待显影基板浸入显影液后的规定时间内向该待显影基板的显影区域发射检测光线。S602、根据该检测光线确定该显影区域发生显影的时间间隔，若确定该时间间隔不在预设时间范围内，则确定该显影液失效。本发明实施例提供的显影液监控方法，应用于待显影基板浸入显影液进行显影的过程中，检测单元在待显影基板浸入显影液后的规定时间内向该待显影基板的显影区域发射检测光线，与该光检测单元电连接的处理单元根据该检测光线确定显影区域发生显影的时间间隔，将该时间间隔与预设的时间范围作比较即可以确定该显影液是否已经失效。采用这样一种显影液监控方法，通过直接对光刻胶的脱落过程进行检测，可以在显影液循环使用的过程中有效准确地监控显影液的显影效果，从而在避免了显影液浪费的同时确保了显影液的显影效果。这样一来，不但降低了产品的生产成本，还大大提高了产品的质量。进一步地，如图7所示，本发明实施例提供的显影液监控方法包括S701、在待显影基板浸入显影液后的规定时间内向该待显影基板的显影区域发射第二颜色的检测光线。需要说明的是，在实际检测的过程中，由于光刻胶的颜色各不相同，可以根据光刻胶的颜色选择对应波长的检测光。例如，当光刻胶为绿色时，可以选择波长为700. Onm的红色光作为检测光，由于绿色的光刻胶通常只能透过绿色光，而红色光难以透过，因此采用红色光作为检测光可以有效地达到检测透光的目的。同理，当需要检测具有红色光刻胶的基板时，可以选择波长为435. 8nm的蓝色光或波长为546. Inm的绿色光；当需要检测具有蓝色光刻胶的基板时，同样可以选择红色光或绿色光；当需要检测黑矩阵上的光刻胶时，可以采用白色光或其他颜色的光。S702、接收该第二颜色的检测光线。S703、获取发射光线的第一时刻和接收到该光线的第二时刻，并计算得到该第一时刻与该第二时刻之间的时间间隔，若确定该时间间隔不在预设时间范围内，则确定该显影液失效。具体的，若确定时间间隔大于第一预设时间，则确定该显影液的浓度值低于预设 浓度值。若确定时间间隔小于第二预设时间，则确定该显影液的浓度值高于预设浓度值。其中，第一预设时间大于第二预设时间。例如，第一预设时间为20s，当检测到的时间间隔为25s时，说明显影液的显影能力较弱，显影效果偏低，显影效果降低通常是由于显影液的浓度降低造成的，这将导致在规定时间内光刻胶的显影不完全。当时间间隔大于第一预设时间时，可以通过用户的手动调节或调节装置的自动调节来提高显影液的浓度至预设浓度值，或重新更换显影液。再例如，第二预设时间为10s，当检测到的时间间隔为5s时，说明显影液的显影能力过强，显影效果偏高，显影效果过高通常由于显影液的浓度过高，这将导致在规定时间内光刻胶的显影过当，使得不需要进行显影的区域的光刻胶脱落。当时间间隔小于第二预设时间时，可以通过用户的手动调节或调节装置的自动调节来降低显影液的浓度至预设浓度值，或重新更换显影液。S704、向该待显影基板的显影区域发射色度检测光线。S705、根据该色度检测光线确定该显影区域的色度值。S706、若确定该色度值不在预设色度范围内，则确定该显影液失效。例如，可以采用色彩传感器检测显影区域的色度值，该色彩传感器可以向待显影基板发射一道三色光源，待显影基板上的光刻胶将对该三色光中的三种颜色选择性的透过或反射，色彩传感器接收到反射光的受光量将被转换成三种颜色的比率，从而可以正确识别待显影基板经过显影后的颜色，检测的结果会转换为数字显示的色度值，该色度值与预设的色度范围比较，即可判断显影区域的光刻胶是否显影完全。这样一来，进一步确保了检测的准确性。S707、向用户提示该显影液失效。本发明实施例提供的显影液监控方法，应用于待显影基板浸入显影液进行显影的过程中，检测单元在待显影基板浸入显影液后的规定时间内向该待显影基板的显影区域发射检测光线，与该光检测单元电连接的处理单元根据该检测光线确定显影区域发生显影的时间间隔，将该时间间隔与预设的时间范围作比较即可以确定该显影液是否已经失效。采用这样一种显影液监控方法，通过直接对光刻胶的脱落过程进行检测，可以在显影液循环使用的过程中有效准确地监控显影液的显影效果，从而在避免了显影液浪费的同时确保了显影液的显影效果。这样一来，不但降低了产品的生产成本，还大大提高了产品的质量。进一步地，如图8所示，本发明实施例提供的显影液监控方法包括
S801、在待显影基板浸入显影液后的规定时间内向该待显影基板的显影区域发射色度检测光线。S802、根据该色度检测光线确定该显影区域的色度值。S803、获取发射该光线的第一时刻和该显影区域的色度值变化至预设色度范围的第二时刻，并计算得到该第一时刻与该第二时刻之间的时间间隔，若确定该时间间隔不在预设时间范围内，则确定该显影液失效。例如，可以采用色彩传感器检测显影区域的色度值，该色彩传感器可以向待显影基板发射一道三色光源，待显影基板上的光刻胶将对该三色光中的三种颜色选择性的透过或反射，色彩传感器接收到反射光的受光量将被转换成三种颜色的比率，从而可以正确识别待显影基板经过显影后的颜色，检测的结果会转换为数字显示的色度值，该色度值与预设的色度范围比较，即可判断显影区域的光刻胶是否显影完全。采用这样一种显影液监控方法，通过直接对光刻胶的脱落过程进行检测，可以在显影液循环使用 的过程中有效准确地监控显影液的显影效果，从而在避免了显影液浪费的同时确保了显影液的显影效果。这样一来，不但降低了产品的生产成本，还大大提高了产品的质量。S804、向用户提示该显影液失效。本发明实施例提供的显影液监控方法，应用于待显影基板浸入显影液进行显影的过程中，检测单元在待显影基板浸入显影液后的规定时间内向该待显影基板的显影区域发射检测光线，与该光检测单元电连接的处理单元根据该检测光线确定显影区域发生显影的时间间隔，将该时间间隔与预设的时间范围作比较即可以确定该显影液是否已经失效。采用这样一种显影液监控方法，通过直接对光刻胶的脱落过程进行检测，可以在显影液循环使用的过程中有效准确地监控显影液的显影效果，从而在避免了显影液浪费的同时确保了显影液的显影效果。这样一来，不但降低了产品的生产成本，还大大提高了产品的质量。以上所述，仅为本发明的具体实施方式
，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
权利要求
1.一种显影液监控设备，包括用于盛放显影液的显影液槽，和位于所述显影液槽中的放置待显影基板的光线可透的基板支撑架；其中，所述待显影基板上涂布有第一颜色的光刻胶；其特征在于，还包括 光检测单元，所述光检测单元在所述待显影基板浸入所述显影液后的规定时间内向所述待显影基板的显影区域发射检测光线；和 与所述光检测单元电连接的处理单元，用于根据所述检测光线确定所述显影区域发生显影的时间间隔，若确定所述时间间隔不在预设时间范围内，则确定所述显影液失效。
2.根据权利要求I所述的显影液监控设备，其特征在于，所述光检测单元包括 设置在所述基板支撑架一侧的光发射模块，所述光发射模块在所述待显影基板浸入所述显影液后的规定时间内向所述待显影基板的显影区域发射第二颜色的检测光线；和设置在所述基板支撑架的另一侧，与所述光发射模块相向设置的光接收模块，用于接收所述光发射模块发出的所述光线。
3.根据权利要求2所述的显影液监控设备，其特征在于，所述处理单元还用于 获取所述光发射模块发射所述光线的第一时刻和所述光接收模块接收到所述光线的第二时刻，并计算得到所述第一时刻与所述第二时刻之间的时间间隔，若确定所述时间间隔不在预设时间范围内，则确定所述显影液失效。
4.根据权利要求2或3所述的显影液监控设备，其特征在于，所述显影液监控设备还包括 设置在所述基板支撑架一侧的颜色传感单元，所述颜色传感单元用于在所述第二时刻后向所述待显影基板的显影区域发射色度检测光线；根据所述色度检测光线确定所述显影区域的色度值； 相应的，所述处理单元与所述颜色传感单元电连接，还用于若确定所述色度值不在预设色度范围内，则确定所述显影液失效。
5.根据权利要求I所述的显影液监控设备，其特征在于，所述光检测单元包括 设置在所述基板支撑架一侧的颜色传感模块，所述颜色传感模块在所述待显影基板浸入所述显影液后的规定时间内向所述待显影基板的显影区域发射色度检测光线；接收所述显影区域的反射光线；根据所述反射光线确定所述显影区域的色度值。
6.根据权利要求5所述的显影液监控设备，其特征在于，所述处理单元还用于 获取所述颜色传感模块发射所述光线的第一时刻和所述显影区域的色度值变化至预设色度范围的第二时刻，并计算得到所述第一时刻与所述第二时刻之间的时间间隔，若确定所述时间间隔不在预设时间范围内，则确定所述显影液失效。
7.根据权利要求I所述的显影液监控设备，其特征在于，所述处理单元还用于 若确定所述时间间隔大于第一预设时间，则确定所述显影液的浓度值低于预设浓度值； 若确定所述时间间隔小于第二预设时间，则确定所述显影液的浓度值高于所述预设浓度值； 其中，所述第一预设时间大于所述第二预设时间。
8.根据权利要求I所述的显影液监控设备，其特征在于，所述显影液监控设备还包括 与所述处理单元电连接的提示单元，用于在所述处理单元确定所述显影液失效后，向用户提示所述显影液失效。
9.一种显影液监控方法，应用于待显影基板在显影液中进行显影的过程，其中，所述待显影基板上涂布有第一颜色的光刻胶，其特征在于，包括 在所述待显影基板浸入显影液后的规定时间内向所述待显影基板的显影区域发射检测光线； 根据所述检测光线确定所述显影区域发生显影的时间间隔，若确定所述时间间隔不在预设时间范围内，则确定所述显影液失效。
10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述在所述待显影基板浸入显影液后的规定时间内向所述待显影基板的显影区域发射检测光线包括 在所述待显影基板浸入所述显影液后的规定时间内向所述待显影基板的显影区域发射第二颜色的检测光线； 接收所述第二颜色的检测光线； 相应的，根据所述检测光线确定所述显影区域发生显影的时间间隔，若确定所述时间间隔不在预设时间范围内，则确定所述显影液失效包括 获取发射所述光线的第一时刻和接收到所述光线的第二时刻，并计算得到所述第一时刻与所述第二时刻之间的时间间隔，若确定所述时间间隔不在预设时间范围内，则确定所述显影液失效。
11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述方法还包括 在所述第二时刻后向所述待显影基板的显影区域发射色度检测光线； 根据所述色度检测光线确定所述显影区域的色度值； 若确定所述色度值不在预设色度范围内，则确定所述显影液失效。
12.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述在所述待显影基板浸入显影液后的规定时间内向所述待显影基板的显影区域发射检测光线包括 在所述待显影基板浸入所述显影液后的规定时间内向所述待显影基板的显影区域发射色度检测光线； 根据所述色度检测光线确定所述显影区域的色度值； 相应的，根据所述检测光线确定所述显影区域发生显影的时间间隔，若确定所述时间间隔不在预设时间范围内，则确定所述显影液失效包括 获取发射所述光线的第一时刻和所述显影区域的色度值变化至预设色度范围的第二时刻，并计算得到所述第一时刻与所述第二时刻之间的时间间隔，若确定所述时间间隔不在预设时间范围内，则确定所述显影液失效。
13.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述根据所述检测光线确定所述显影区域发生显影的时间间隔，若确定所述时间间隔不在预设时间范围内，则确定所述显影液失效包括 若确定所述时间间隔大于第一预设时间，则确定所述显影液的浓度值低于预设浓度值； 若确定所述时间间隔小于第二预设时间，则确定所述显影液的浓度值高于所述预设浓度值； 其中，所述第一预设时间大于所述第二预设时间。
全文摘要
本发明实施例提供一种显影液监控方法及设备，涉及液晶显示技术领域，可以有效准确地监控显影液的显影效果。该设备包括显影液槽，放置待显影基板的基板支撑架；待显影基板上涂布有第一颜色的光刻胶；还包括光检测单元，所述光检测单元在所述待显影基板浸入所述显影液后的规定时间内向所述待显影基板的显影区域发射检测光线；和与所述光检测单元电连接的处理单元，用于根据所述检测光线确定所述显影区域发生显影的时间间隔，若确定所述时间间隔不在预设时间范围内，则确定所述显影液失效。本发明实施例用于监控显影液的显影效果。
文档编号G03F7/30GK102830595SQ201210307188
公开日2012年12月19日 申请日期2012年8月24日 优先权日2012年8月24日
发明者王灿, 王伟杰, 何璇 申请人:京东方科技集团股份有限公司