一种显影装置的制作方法

本实用新型涉及半导体技术领域，具体涉及一种显影装置。

背景技术：

在集成电路及发光二极管行业，需要进行大量的光刻胶涂覆和显影作业，而显影作业是通过显影装置实现的。如图1所示，一种现有的显影装置包括：显影液池，用于容纳显影液；显影喷嘴，用于将显影液喷涂到基板上；显影液管路，连接在显影液池和显影液喷嘴之间，用于将显影液从显影液池输送到显影液喷嘴，显影液管路上还可以包括阀门和泵；基板输送装置，用于输送基板。为了提高产品良率，需要较高的显影均匀性，而显影液的温度对于显影均匀性有直接的影响。因此，显影装置需要在显影作业时，保证显影液的温度。

目前对于显影液的温度控制，主要是通过在显影液池(Tank)内加装控温装置，使得显影液在显影池内达到预定温度。然而从显影液池到从喷嘴喷出，显影液还需经过显影液管路，显影液管路的长度，环境的温度均会影响显影液的温度，从而导致显影液的温度很容易就偏移预定温度。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题在于，现有的显影液温度控制技术容易导致显影液的温度偏移预定温度。

为此，本实用新型实施例提供了一种显影装置，包括：显影液管路，连接在显影液池和显影液喷嘴之间，用于将显影液从所述显影液池输送至所述显影液喷嘴；温度控制单元，设置在所述显影液管路内，用于控制所述显影液的温度。

可选的，所述温度控制单元设置在所述显影液管路内靠近所述显影液喷嘴的位置。

可选的，所述温度控制单元是恒温管道，所述恒温管道内输送有恒温液体。

可选的，所述恒温液体的热容大于所述显影液的热容。

可选的，所述恒温管道由热的良导体构成。

可选的，所述温度控制单元包括加热子单元、温度检测子单元和加热控制子单元，所述温度检测子单元用于检测所述显影液管路内的所述显影液的温度，所述加热控制子单元用于根据所述温度检测子单元检测到的温度，控制所述加热子单元加热或停止加热。

可选的，所述加热子单元靠近所述显影液管路的内壁设置，所述温度检测子单元沿所述显影液管路的中心轴向设置。

可选的，所述加热子单元包括电加热丝、电加热片和/或电加热棒。

可选的，当所述加热子单元包括电加热丝时，所述电加热丝是螺旋结构的电加热丝。

可选的，所述显影液管路由热的不良导体构成，或者外壁覆盖着热的不良导体。

本实用新型实施例的显影装置，通过在显影液管路内设置的温度控制单元，即便在显影液管路较长、或环境温度与显影液温差较大的情况下，都可以保证显影液的温度不偏离预设温度，从而保证了显影均匀性。

附图说明

通过参考附图会更加清楚的理解本实用新型的特征和优点，附图是示意性的而不应理解为对本实用新型进行任何限制，在附图中：

图1示出了现有的一种显影装置的示意图；

图2示出了本发明实施例的一种显影装置的显影液管路的示意图；

图3示出了沿图2中A—A的截面图；

图4示出了本发明实施例的另一种显影装置的显影液管路的示意图；

图5示出了沿图3中B—B的截面图。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的实施例进行详细描述。

实施例1

如图2-3所示，本发明实施例提供了一种显影装置，包括：

显影液管路，该显影液管路连接在显影液池和显影液喷嘴之间，用于将显影液从显影液池输送至显影液喷嘴，图2中仅显示了该显影装置的显影液喷嘴和部分显影液管路，其余部分与图1所示的显影装置基本类似，不再赘述；优选地，为了减少显影液的热量散失，显影液管路可以由热的不良导体构成，或者外壁覆盖着热的不良导体。

恒温管路，设置在该显影液管路内，如图3所示，恒温管路可以设置在显影液管路中心位置，恒温管路和显影液管路的内壁之间形成显影液输送的通道，虽然图3中的恒温管路为圆形，但实际应用的恒温管路的形状不限于此；该恒温管路内输送有恒温液体，用于控制显影液的温度，该恒温液体并不是一种特殊的液体，而是指其在显影液管路内能保持相对恒定温度的液体，该恒温液体例如是水，优选地，该恒温液体的热容大于显影液的热容，更优选地，该恒温液体的热容显著大于显影液的热容，由此在恒温液体与显影液进行热交换时，恒温管路的温度不会发生显著变化，从而能够基本维持预先设定的温度；此外，由于恒温液体和显影液是通过恒温管路的壁进行热交换的，因此恒温管路的壁优选是热的良导体，而且优选其热容相对显影液较小，从而使得热量能快速地在恒温液体和显影液之间进行交换。例如，如果铜和铝都可以作为恒温管路的壁，由于铜的热传导性能比铝更高，且其热容比铝更小，因此铜是优选的。在一些可选的实施例中，该恒温管路可以设置在全部的显影液管路内，但成本较高；在一些可选的实施例中，该恒温管路可以设置在显影液管路内靠近显影液喷嘴的位置，如图2所示，仍然可以达到较好的控制显影液温度的作用。

本实用新型实施例的显影装置，通过在显影液管路内设置的恒温管路，即便在显影液管路较长、或环境温度与显影液温差较大的情况下，都可以保证显影液的温度不偏离预设温度，从而保证了显影均匀性。

实施例2

如图4-5所示，本发明实施例提供了一种显影装置，包括：

显影液管路，与实施例1所述的显影液管路类似；

所述温度控制单元包括加热子单元、温度检测子单元和加热控制子单元，用于将显影液控制在预定温度；其中，温度检测子单元用于检测显影液管路内的所述显影液的温度，例如是热电偶温度计、电阻温度计或半导体热敏电阻温度计，优选地，如图4-5所示，温度检测子单元可沿显影液管路的中心轴向设置；加热控制子单元用于根据该温度检测子单元检测到的温度，控制加热子单元加热或停止加热，加热控制子单元可以具体包括处理器、电源和存储器等部件，虽然在图4中加热控制子单元设置在显影液管路的两端，但本发明对于加热控制子单元的位置并没有限定，例如，其也可以设置在显影液管路的外壁上；在图4和5中，加热子单元是螺旋结构的电加热丝，环绕显影液管路的内壁设置，但本发明对于加热子单元的具体形态并没有限制，例如，加热子单元可以包括电加热丝、电加热片和/或电加热棒，只要加热子单元与显影液的接触面积较大，可以实现对显影液的均匀加热即可。

本实用新型实施例的显影装置，通过由加热子单元、温度检测子单元和加热控制子单元构成的温度控制单元，即便在显影液管路较长、或环境温度与显影液温差较大的情况下，都可以保证显影液的温度不偏离预设温度，从而保证了显影均匀性。本实施例相比实施例1，由于减少了恒温液体的控制，成本相对较低，但在温度的控制精度上会有所降低，但仍在可接受的范围内。

虽然结合附图描述了本实用新型的实施方式，但是本领域技术人员可以在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下作出各种修改和变型，这样的修改和变型均落入由所附权利要求所限定的范围之内。