专利名称：接触照像复制法生产荫罩版用的玻璃基板的制作方法
技术领域：
本发明属于彩色显象管显示屏生产中，以接触式照象复制法生产荫罩版用的玻璃基板选材方式的确定，涉及钢化玻璃强度的测定。
在用接触式照象复制法生产彩管的荫罩版(亦称电子网版)时需用一种能反复使用的玻璃基板，用照象制版法将图形绘制于基板上成为工作版，再通过光刻曝光方法把图形复制于金属板上制备荫罩版，其工作版能反复被用于复制。通常对玻璃基板的性能要求很高①具有适中的强度，在往复真空的工作条件下有较好的抗冲击性能；②由于基板价格较贵，经多次复制后再经研磨绘图，使之再生使用，故要求有良好的研磨性能；③有平整的面形和质地均匀的表面，并能绘制图形于其上；④光透过率高；⑤有严格的几何尺寸；⑥须有很小的翘曲度。在这些性能要求中，唯有强度目前仍没有无损的定量检测方法，现生产中都以抽样方式做破损性的强度检测。所述的玻璃基板属于钢化玻璃范畴，也有将其限定于半钢化玻璃的范围，而目前对钢化玻璃强度的检测均以国标GB9556-88为标准，即将玻璃击碎由碎块的大小来判别强度。由于钢化玻璃在钢化过程中，环境条件的不均匀都会引起强度变化的差异，且破损性检测浪费较大，所以该方法不适用于玻璃基板强度的检测。
目前国内生产中用的玻璃基板完全由日本进口。据了解，日本也没有玻璃基板强度的检测标准，他是通过特定的选材和严格的工艺来保证玻璃基板的强度，即便如此其生产的玻璃基板仍存在有在线炸裂的现象。国内某厂进口日本的玻璃基板，在线应用124套，炸裂7套，而且研磨性能差，可再生次数低；另外，基板的在线炸裂其损失不只是玻璃基板本身，还有停产清扫等所带来的损失。本发明人研究认为，玻璃基板的在线炸裂及研磨性能与基板的强度有直接关系。由此可以看出，该行业中对基板强度的检测现状严重地影响着生产的发展，而国内所生产的钢化玻璃不能用于玻璃基板的唯一原因，就是没有适合的检测标准来保证基板的适用强度。
对玻璃材料的检测方法迄今有许多，其中包括无色光学玻璃标准中所确定的应力双折射检测方法(GB903 65)，其是以nm为单位的应力双折射值来表示光学材料的应力大小。
本发明的目的在于，用玻璃基板的应力双折射值来表示其强度，并确定适用玻璃基板的应力值范围，为在线生产提供合格的玻璃基板，以消除基板在线炸裂的现象，提高研磨性能和再生使用次数。
本发明的技术方案是按以下方式实现，玻璃基板的使用有包括强度等性能的检测，其采用有应力双折射的检测方法，本发明的特点为，所述的玻璃基板用应力双折射检测的方法，以其得到的应力值表示基板的强度，其适用玻璃基板的应力值范围为100－200nm，并且其检测应至少取三点的极大应力值。
本发明以应力双折射值来表示玻璃基板的强度，按本发明确定的适用应力值范围的玻璃基板，无在线炸裂现象，研磨性能提高、无破碎、再生使用次数增加；为国产玻璃的在线使用提供了无损的定量检测方式，使荫罩版的生产成本大幅度降低。
以下结合图表详细说明本发明技术方案及使用效果。
图表1为本发明以应力双折射方法测得各级应力值的玻璃基板使用情况对照表，表中的应力值为多点测定的极大值的加权平均；图表2为本发明确定适用应力值范围的玻璃基板与日本进口基板的性能比较对照表。
实施本发明技术方案确定适用的玻璃基板，先对其进行常规的性能检测，再用应力双折射方法测得应力值，在一张基板上至少有三点的极大应力值都在100-200nm的范围内，该基板即可上线使用。所述三点的极大应力值是指在一张基板上可以选择许多的应力值检测点，在测得的许多值中最大的三个应力值。这意味着有任一点的应力值超过200nm，该基板即不适用，并且不能取平均值。玻璃基板上绘图后成为工作版，在工作版上有绘图区域和未绘图的边缘区域。所述的至少三点的位置应尽量地在绘图区内，当然有一点或二点稍超出绘图区也是允许的，但应使三点所构成的平面尽量地大，即三点之间的距离尽量地大，且不能在一条直线上；这是三个检测点的选点原则。
参见图表1，应力值后的各数字代表各(极大)应力值的玻璃基板；可以看出，应力值低于100nm的玻璃基板的研磨容易，但使用寿命短、再生次数低，且在线使用易破碎；而应力值高于200nm的玻璃基板的强度太高，在研磨中有破碎，研磨后的表面粗糙、有拱曲变形，且在线使用有破碎现象；本发明确定的100－200nm应力值范围的玻璃基板均能满足使用要求，说明本发明以应力值表示基板强度是合理可行的。参见图表2，以本发明所确定应力值范围的玻璃基板与日本进口基板比较，日本板的极大应力值在84-104nm范围，强度偏低、不耐研磨、使用寿命短，只能再生使用1-2次，且在线有炸裂现象；而本发明的基板在线使用264套无一炸裂，说明本发明所确定适用基板的应力值范围是准确可行的。
权利要求
1．一种接触照象复制法生产荫罩版用的玻璃基板，使用时有包括强度等性能的检测，并采用有应力双折射的检测方法，其特征在于，所述的玻璃基板用应力双折射检测方法，以所测得的应力值表示基板的强度，其适用玻璃基板的应力值范围为100-200nm，并且其检测应至少取三点的极大应力值。
2．根据权利要求1所述的玻璃基板，其特征在于，至少检测的三个点应尽量位于基板的绘图区内，且使这三点所构成的平面尽量地大。
全文摘要
以接触式照像复制法生产荫罩版用的玻璃基板,本发明以应力双折射方法测得的应力值表示基板强度,适用于生产的玻璃基板的应力值范围为100—200nm,并且是至少三点的极大应力值;使用本发明确定的玻璃基板具有无在线炸裂现象、研磨性能好、再生使用次数增加的优点,为玻璃基板的在线使用提供了无损的定量检测依据,能使荫罩版的生产成本降低。
文档编号H01J29/07GK1205541SQ9811294
公开日1999年1月20日 申请日期1998年8月18日 优先权日1998年8月18日
发明者李金科, 冯克勤 申请人:中国科学院西安光学精密机械研究所