专利名称：一种真空立式镀膜机工件转架的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空立式镀膜机工件转架。
技术背景真空立式镀膜机工件转架是用于真空立式镀膜机内摆放工件的旋转装置，现有的 真空立式镀膜机工件转架主要由动力输入组件、工件架支承组件、上法兰支架、上法兰、工 件轴导向套、上法兰定位轮、上齿轮法兰、大齿轮支承组件、下齿轮法兰、下齿轮支承组成， 工作时，旋转所需动力由动力输入组件输入，动力输入组件的转动带动上齿轮法兰的齿轮 转动即实现了工件的公转，而通过下齿轮法兰的作用，可实现工件的自转，该装置的缺点是 由于工件架支承组件通过斜面支撑上齿轮法兰，接触面为滑动摩擦，工作时间长了以后，摩 擦阻力越来越大，磨损严重，最后出现工件架旋转卡死的现象，令工件架使用寿命缩短。
发明内容本实用新型的目的，是提供一种真空立式镀膜机工件转架，它可以克服现有技术 的不足。本实用新型是这样实现的它主要由动力输入组件1、工件架自转组件2、上法兰 支架3、上法兰4、工件轴导向套5、上法兰定位轮6、下法兰组件7、下法兰转动组件8、定齿 轮9、定齿轮吊杆10组成，其中，动力输入组件1通过定齿轮9连接下法兰转动组件8，下法 兰转动组件8和下法兰组件7由螺栓连接，定齿轮9连接工件架自转组件2，工件架自转组 件2连接工件轴导向套5，上法兰支架3连接上法兰4，上法兰定位轮6碰接上法兰4，工件 架自转组件2通过轴承11支撑下法兰组件7。本实用新型把现有技术的斜面支撑改为用轴承支承的平面支撑，通过轴承滚珠的 转动减少摩擦力，与现有技术相比，具有摩擦力小、使用寿命长的优点。
图1是本实用新型的结构示意图具体实施方式
如图1所示，本实用新型主要由动力输入组件1、工件架自转组件2、上法兰支架3、 上法兰4、工件轴导向套5、上法兰定位轮6、下法兰组件7、下法兰转动组件8、定齿轮9、定 齿轮吊杆10组成，其中，动力输入组件1通过定齿轮9连接下法兰转动组件8，下法兰转动 组件8和下法兰组件7由螺栓连接，定齿轮9连接工件架自转组件2，工件架自转组件2连 接工件轴导向套5，上法兰支架3连接上法兰4，上法兰定位轮6碰接上法兰4，工件架自转 组件2通过轴承11支撑下法兰组件7。工作时，旋转动力由动力输入组件1输入进真空室，动力输入组件1的转动通过定 齿轮9啮合传给下法兰转动组件8，带动下法兰组件7转动实现工件的公转，而定齿轮9作用于工件架自转组件2完成工件的自转。
权利要求1. 一种真空立式镀膜机工件转架，主要由动力输入组件(1)、工件架自转组件O)、上 法兰支架C3)、上法兰(4)、工件轴导向套( 、上法兰定位轮(6)、下法兰组件(7)、下法兰转 动组件(8)、定齿轮(9)、定齿轮吊杆(10)组成，其中，动力输入组件(1)通过定齿轮(9)连 接下法兰转动组件(8)，下法兰转动组件(8)和下法兰组件(7)由螺栓连接，定齿轮(9)连 接工件架自转组件0)，工件架自转组件( 连接工件轴导向套(5)，上法兰支架C3)连接 上法兰G)，上法兰定位轮(6)碰接上法兰G)，其特征在于工件架自转组件( 通过轴承 (11)支撑下法兰组件(7)。
专利摘要本实用新型涉及一种真空立式镀膜机工件转架，主要由动力输入组件1、工件架自转组件2、上法兰支架3、上法兰4、工件轴导向套5、上法兰定位轮6、下法兰组件7、下法兰转动组件8、定齿轮9、定齿轮吊杆10组成，其中，动力输入组件1通过定齿轮9连接下法兰转动组件8，下法兰转动组件8和下法兰组件7由螺栓连接，定齿轮9连接工件架自转组件2，工件架自转组件2连接工件轴导向套5，上法兰支架3连接上法兰4，上法兰定位轮6碰接上法兰4，工件架自转组件2通过轴承11支撑下法兰组件7，本实用新型把现有技术的斜面支撑改为用轴承支承的平面支撑，通过轴承滚珠的转动减少摩擦力，与现有技术相比，具有摩擦力小、使用寿命长的优点。
文档编号C23C14/50GK201850308SQ20102057670
公开日2011年6月1日 申请日期2010年10月20日 优先权日2010年10月20日
发明者潘振强 申请人:潘振强