一种卷对卷薄带表面离子抛光动态装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种离子抛光装置，特别涉及一种卷对卷薄带表面离子抛光动态装置。主要解决抛光室很难达到高真空，导致高温超导涂层导体基带抛光效果不理想的技术问题。本实用新型的技术方案为：一种卷对卷薄带表面离子抛光动态装置，包括依次连通的放卷室、收卷室、离子抛光室，所述离子抛光室内设置Ar离子抛光机，离子抛光室通过管路外接抽气泵组，其特征是在离子抛光室两侧设有与之连通的级差真空室，所述级差真空室通常设有2-5级，即分割成依次连通的2-5个腔室，每个腔室通过管路联通抽气泵组。本实用新型可以用于连续生产基底表面粗糙度极低的金属长带或者非金属长带。
【专利说明】一种卷对卷薄带表面离子抛光动态装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种离子抛光装置，特别涉及一种卷对卷薄带表面离子抛光动态目.0
【背景技术】
[0002]连续生产基底表面粗糙度极低的金属长带或者非金属长带，例如，高温超导涂层导体基带，通常利用紅离子抛光机，对高温超导涂层导体基带进行抛光，但是抛光室很难达到高真空，导致抛光效果不理想。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的是提供一种卷对卷薄带表面离子抛光动态装置，主要解决抛光室很难达到高真空，导致高温超导涂层导体基带抛光效果不理想的技术问题。
[0004]本实用新型的技术方案为:一种卷对卷薄带表面离子抛光动态装置，包括依次连通的放卷室、收卷室、离子抛光室，所述离子抛光室内设置紅离子抛光机，离子抛光室通过管路外接抽气泵组，其特征是在离子抛光室两侧设有与之连通的级差真空室，所述级差真空室通常设有2-5级，即分割成依次连通的2-5个腔室，每个腔室通过管路联通抽气泵组。
[0005]本实用新型的有益效果是:放卷盘和收卷盘可以放在一个大气压下，通过级差式真空，达到抛光室的高真空。该方式的优点是利于连续生产，换盘时不需要对抛光室放气。可以将薄带表面的粗糙度降低至1纳米以下。
【专利附图】
【附图说明】
[0006]图1为本实用新型结构示意图。
[0007]图中:1-放卷室，2-级差真空室，3-离子抛光室，4-收卷室，5-抽气泵组，6-紅离子抛光机。
【具体实施方式】
[0008]参照图1，一种卷对卷薄带表面离子抛光动态装置，包括依次连通的放卷室1、收卷室4、尚子抛光室3，所述尚子抛光室3内设置八！'尚子抛光机6，尚子抛光室3通过管路外接抽气泵组5，在离子抛光室3两侧设有与之连通的级差真空室2，所述级差真空室通常设有2-5级，即分割成依次连通的2-5个腔室，本实施例为3级，每个腔室通过管路联通抽气泵组5。薄带可以为不锈钢带、哈氏合金带、咐-1合金带等各种金属薄带，或者附着有非金属薄膜的金属带，以及非金属带。
【权利要求】
1.一种卷对卷薄带表面离子抛光动态装置，包括依次连通的放卷室、收卷室、离子抛光室，所述离子抛光室内设置Ar离子抛光机，离子抛光室通过管路外接抽气泵组，其特征是在离子抛光室两侧设有与之连通的级差真空室，级差真空室每个腔室通过管路联通抽气泵组。
2.根据权利要求1所述的一种卷对卷薄带表面离子抛光动态装置，其特征是所述级差真空室设2-5级，即分割成依次连通的2-5个腔室。
【文档编号】B24B1/00GK204171801SQ201420626901
【公开日】2015年2月25日 申请日期:2014年10月28日 优先权日:2014年10月28日
【发明者】蔡传兵, 刘志勇, 郭艳群, 陆齐 申请人:上海上创超导科技有限公司