1.一种抑制铜系金属的复合缓蚀剂,其特征在于:所述复合缓蚀剂是由以下重量份的组分组成:苯并三氮唑1~3份、甲基苯并三氮唑16~30份、硅酸钠8~12份、铜络合剂1~3份、柠檬酸15~25份和表面活性剂2~5份,其中,所述表面活性剂是由油酸三乙醇胺和脂肪胺聚氧乙烯醚混合而成的,且油酸三乙醇胺和脂肪胺聚氧乙烯醚的质量比为2.1~2.5:1。
2.根据权利要求1所述的抑制铜系金属的复合缓蚀剂,其特征在于:所述的铜络合剂选用亚氨基二琥珀酸四钠。