一种抑制铜系金属的复合缓蚀剂的制作方法

文档序号:12057044阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种抑制铜系金属的复合缓蚀剂,其特征在于:所述复合缓蚀剂是由以下重量份的组分组成:苯并三氮唑1~3份、甲基苯并三氮唑16~30份、硅酸钠8~12份、铜络合剂1~3份、柠檬酸15~25份和表面活性剂2~5份,其中,所述表面活性剂是由油酸三乙醇胺和脂肪胺聚氧乙烯醚混合而成的,且油酸三乙醇胺和脂肪胺聚氧乙烯醚的质量比为2.1~2.5:1。

2.根据权利要求1所述的抑制铜系金属的复合缓蚀剂,其特征在于:所述的铜络合剂选用亚氨基二琥珀酸四钠。

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