一种抑制铜系金属的复合缓蚀剂的制作方法

文档序号:12057044阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及一种抑制铜系金属的复合缓蚀剂,所述复合缓蚀剂是由以下重量份的组分组成:苯并三氮唑1~3份、甲基苯并三氮唑16~30份、硅酸钠8~12份、铜络合剂1~3份、柠檬酸15~25份和表面活性剂2~5份,其中,所述表面活性剂是由油酸三乙醇胺和脂肪胺聚氧乙烯醚混合而成的,且油酸三乙醇胺和脂肪胺聚氧乙烯醚的质量比为2.1~2.5:1。本发明的优点在于:本发明的复合缓蚀剂以甲基苯并三氮唑为主要成分,并通过添加其他有效组分,进行多元物质间的缓蚀协同,且严格控制各组分的含量,进而可以提高复合缓蚀剂的缓蚀作用。

技术研发人员:黄海涛;王宏;李桂萍
受保护的技术使用者:南通波涛化工有限公司
文档号码:201611080519
技术研发日:2016.11.30
技术公布日:2017.05.24

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