一种具有疏水性能的透明隔热薄膜及其制备方法与流程

文档序号:12056969阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种具有疏水性能的透明隔热薄膜,该薄膜制备于衬底上,其特征在于,由下至上依次为氧化锌薄膜、镓掺杂氧化锌薄膜;所述氧化锌薄膜的厚度为20~120nm;所述镓掺杂氧化锌薄膜厚度为1~2μm。

2.如权利要求1所述具有疏水性能的透明隔热薄膜,其特征在于,所述氧化锌薄膜的厚度为20nm。

3.如权利要求1所述具有疏水性能的透明隔热薄膜的制备方法,包含以下步骤:

1)利用射频磁控溅射法在衬底上溅射一层厚度为20~120nm的氧化锌薄膜,溅射时通入氩气和氧气,通入氩气流量与氧气流量比为2~5:1~3,溅射时衬底温度为300~450℃;

2)利用射频磁控溅射法在氧化锌薄膜上制备一层厚度为1~2μm的镓掺杂氧化锌薄膜,溅射时衬底温度为25~300℃。

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