一种绒面铝掺杂氧化锌薄膜的制备方法与流程

文档序号:12646306阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种绒面铝掺杂氧化锌薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

S1、取玻璃基底,对玻璃基底表面进行羟基化处理;

S2、以固含量0.01~0.10%的聚苯乙烯小球微乳液在羟基化的玻璃基底表面制备聚苯乙烯模板层;

S3、采用直流磁控溅射工艺,在聚苯乙烯模板层上制备厚度为500~900nm的AZO薄膜;

S4、通过热处理去除聚苯乙烯模板层,使AZO薄膜分为镂空的上AZO薄膜层与下AZO薄膜层;

S5、在上AZO薄膜层表面制备胶粘剂层,将上AZO薄膜层转移到另一基板表面,最终得到绒面铝掺杂氧化锌薄膜。

2.根据权利要求1所述的一种绒面铝掺杂氧化锌薄膜的制备方法,其特征在于,所述步骤S1中的羟基化处理为将玻璃基底置于体积比7:3的浓硫酸与双氧水的混合溶液中,在50~70℃的环境下浸泡1~3h,之后以去离子水与无水乙醇反复清洗即得到羟基化的玻璃基底。

3.根据权利要求1或2所述的一种绒面铝掺杂氧化锌薄膜的制备方法,其特征在于,所述步骤S2聚苯乙烯模板层可采用旋涂、刮涂或垂直浸渍自组装法工艺制备。

4.根据权利要求3所述的一种绒面铝掺杂氧化锌薄膜的制备方法,其特征在于,所述步骤S3直流磁控溅射工艺以Al与Zn的混合氧化物陶瓷靶为溅射靶材,靶间距5~10cm,氩气流量20~50sccm,溅射功率150~400W,工作压强0.1~1.0Pa。

5.根据权利要求4所述的一种绒面铝掺杂氧化锌薄膜的制备方法,其特征在于,所述步骤S4热处理的温度为400~600℃,热处理时间1.5~4.0h。

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