技术总结
本发明提供一种化学气相沉积装置，所述化学气相沉积装置包括扩散器，用于扩散待沉积气体，以形成薄膜；载台，用于放置待沉积基板，所述载台与所述扩散器相对设置；在所述扩散器和所述载台之间设置有至少一组光距离检测组件，所述光距离检测组件用于测量所述扩散器和所述载台之间的间距。本发明的化学气相沉积装置，通过在扩散器和载台之间设置光距离检测组件，该光距离检测组件用于检测扩散器和所述载台之间的间距，由于检测过程不需要进行降温处理，因此提高了生产效率。
技术研发人员：张恺
受保护的技术使用者：武汉华星光电技术有限公司
文档号码：201611228381
技术研发日：2016.12.27
技术公布日：2017.05.10