1.一种防堵塞坩埚,包括坩埚本体(0)和坩埚盖(3),其特征在于,还包括设在所述坩埚盖(3)上并围绕所述坩埚出口(1)设置的加热机构(2)。
2.如权利要求1所述的防堵塞坩埚,其特征在于,还包括与所述加热机构(2)电连接的温控模块,以控制所述加热机构(2)的加热温度。
3.如权利要求2所述的防堵塞坩埚,其特征在于,所述温控模块的温控范围为100℃至500℃。
4.如权利要求1-3任一项所述的防堵塞坩埚,其特征在于,所述加热机构(2)呈环形。
5.如权利要求4所述的防堵塞坩埚,其特征在于,所述加热机构(2)的外径小于或等于所述坩埚盖(3)的直径。
6.如权利要求4所述的防堵塞坩埚,其特征在于,所述加热机构(2)的内径比所述坩埚出口(1)略大。
7.如权利要求4所述的防堵塞坩埚,其特征在于,所述加热机构(2)包括环形的围绕所述坩埚出口(1)设置的加热片以及集成在所述加热片上的热电偶模块。