一种升降机构及化学气相沉积装置的制作方法

文档序号:13100639阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种升降机构,所述升降机构用于控制一托盘的上下高度调整,所述托盘位于一带有孔的基板之上,其特征在于,所述升降机构包括:

升降销,所述升降销穿过所述孔;

升降板,所述升降板位于所述基板的下方,当所述升降板上升时,所述升降板顶着所述升降销向上运动,所述托盘被所述升降销向上顶起;以及

制动装置,所述制动装置在所述升降板下降时,对所述升降销产生一向下的拉力。

2.如权利要求1所述的升降机构,其特征在于,所述基板上设置有至少两个孔,所述孔均匀对称分布在所述基板上,所述升降销的数量与所述孔的数量相匹配。

3.如权利要求1所述的升降机构,其特征在于,所述制动装置包括至少一个弹簧和至少一个固定件。

4.如权利要求3所述的升降机构,其特征在于,所述弹簧的一端通过所述固定件连接在所述基板的背部,所述弹簧的另一端与所述升降销相连。

5.如权利要求3所述的升降机构,其特征在于,所述弹簧为锥形弹簧。

6.如权利要求5所述的升降机构,其特征在于,所述锥形弹簧的尖端与所述升降销连接,所述锥形弹簧的另一端连接所述基板的背部。

7.如权利要求3所述的升降机构,其特征在于,所述弹簧的数量与所述升降销的数量相匹配。

8.如权利要求7所述的升降机构,其特征在于,每一个所述弹簧配置一个所述固定件。

9.如权利要求8所述的升降机构,其特征在于,所述固定件设置于所述基板的背部,且所述固定件分别位于每一个所述孔的周围。

10.如权利要求9所述的升降机构,其特征在于,每一个所述弹簧的一端通过一个所述固定件连接在所述基板的背部,每一个所述弹簧的另一端连接一个所述升降销。

11.如权利要求3所述的升降机构,其特征在于,每一个所述升降销上均设置一用于连接所述弹簧的安装孔。

12.如权利要求1所述的升降机构,其特征在于,所述升降机构还包括一控制系统,所述控制系统连接所述升降板,所述控制系统控制所述升降板的上升或者下降。

13.如权利要求1所述的升降机构,其特征在于,所述升降销的横截面形状与所述孔的横截面形状相匹配。

14.如权利要求13所述的升降机构,其特征在于,所述孔和所述升降销的横截面形状均为圆形。

15.如权利要求1至14中任意一项所述的升降机构,其特征在于,所述孔的侧壁设置有锯齿,所述锯齿引导所述升降销向下运动。

16.一种化学气相沉积装置,其特征在于,包括如权利要求1至15中任意一项所述的升降机构。

17.如权利要求16所述的化学气相沉积装置,其特征在于,所述化学气相沉积装置中,所述托盘为一晶圆托盘,所述基板为一加热基板,所述加热基板用于加热所述晶圆托盘。

18.如权利要求17所述的化学气相沉积装置,其特征在于,所述加热基板上设置有均匀对称分布的4个所述孔。

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