一种用于蓝宝石晶片加工的研磨液喷洒装置的制作方法

文档序号:14056740阅读:来源:国知局
一种用于蓝宝石晶片加工的研磨液喷洒装置的制作方法

技术特征:

1.一种用于蓝宝石晶片加工的研磨液喷洒装置,其特征在于,包括研磨液瓶(1)、流液管(2)、蠕动泵(3)、供气管(4)和研磨液暂存器(5),流液管(2)的进液口伸入研磨液瓶(1)中,出液口穿过蠕动泵(3)伸入研磨液暂存器(5)中,出液口上设置有单向止流阀(6),供气管(4)一端连通高压气,另一端伸入研磨液暂存器(5)中,供气管(4)上设置有数控气阀(7),研磨液暂存器(5)底部设置有自力式截止阀(8)和喷头(9)。

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