一种钽坯块烧结及脱粘结剂的装置及方法与流程

文档序号:23754327发布日期:2021-01-29 15:17阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种钽坯块烧结和脱粘结剂的装置,其包括:加热炉;粘结剂回收箱;连接所述加热炉和所述粘结剂回收箱的导管;以及抽空系统。2.根据权利要求1所述装置,所述的加热炉包括:炉筒、炉底和炉盖;所述的炉筒含不同直径的多层同心圆筒,所述炉盖和炉底均为多层圆板;优选地,所述炉筒、炉底和炉盖最外层均包含水冷夹套;更优选地,所述的水冷夹套设置有冷却水进水管和冷却水出水管;优选地,所述水冷夹套内侧至少有两层相通可抽空的密封式夹套;优选地,所述密封式夹套设有抽空管;优选地,所述炉筒内设置有保温屏、加热器以及料架。3.根据权利要求2所述装置,所述导管选自多层同心管组成的密封式夹套导管;优选地,所述密封式夹套导管设有抽空管;优选地,导管外侧包覆有保温海绵。4.根据权利要求1所述装置,所述粘结剂回收箱包括箱体,热交换器,导流屏,粘结剂收集罐,以及升降装置。5.根据权利要求4所述装置,所述箱体包括箱盖,带冷却水夹套的圆筒,以及带冷却水夹套的箱底;优选地,所述箱底与圆筒可拆卸连接;优选地,所述圆筒侧面设有排气管;所述的排气管可用阀门分别与高真空泵、低真空泵相连接;优选地,所述的箱盖设有开口,其可通过所述的导管连接所述加热炉。6.根据权利要求4所述装置,所述热交换器为螺旋形盘管,其两端从所述的箱盖伸出;优选地,所述导流屏为上大下小的喇叭形;优选地,所述导流屏的上部包裹热交换器的至少一部分;优选地,所述导流屏的下部至少一部分伸入到粘结剂收集罐内;优选地,在所述圆筒内壁靠上部位设置一挡环,所述导流屏的上沿紧贴所述挡环;优选地,所述升降装置支撑所述箱底。7.一种粘结剂回收箱,其包括箱体,热交换器,导流屏,粘结剂收集罐,以及升降装置。8.根据权利要求7所述粘结剂回收箱,所述箱体包括箱盖,带冷却水夹套的圆筒,以及带冷却水夹套的箱底;优选地,所述箱底与圆筒可拆卸连接;优选地,所述的圆筒侧面设有排气管;所述的排气管可用阀门分别与高真空泵、低真空泵相连接;优选地,所述的箱盖设有开口,其可通过导管连接加热炉。9.根据权利要求7所述粘结剂回收箱,所述热交换器为螺旋形盘管,其两端从所述的箱盖伸出;优选地,所述导流屏为上大下小的喇叭形;
优选地,所述导流屏的上部包裹热交换器的至少一部分;优选地,所述导流屏的下部至少一部分伸入到粘结剂收集罐内;优选地,在所述圆筒内壁靠上部位设置一挡环,所述导流屏的上沿紧贴所述挡环;优选地,所述升降装置支撑所述箱底。10.一种使用权利要求1~权利要求6任一所述的装置对钽坯块烧结方法,包括步骤:1)将装有钽坯块的坩埚连同料架装入加热炉内,关闭加热炉炉筒、炉底和炉盖的冷却水路,开启对加热炉炉筒、炉底、炉盖和导管的密封式夹套的抽空;启动对加热炉系统进行抽空;2)当加热炉系统被抽空到压力低于5
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10-2pa;打开粘结剂回收箱的箱底和箱体冷却水阀门,打开热交换器冷却水进、出口阀门,关闭高真空阀,打开低真空阀抽空,开启加热炉通电升温,升温到350℃
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50℃,保温60~150分钟,关闭低真空阀,打开高真空阀进行抽空,继续升温;3)当温度达到600℃
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50℃,打开加热炉炉筒、炉底和炉盖的冷却水阀门,使冷却水流通,直到加热炉内压力低于5
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10-2pa,再升温到1000℃~2100℃保温10~120分钟;4)停电降温到30℃或以下,对钽烧结体进行钝化处理;5)打开加热炉,将装有钽坯块的料架取出;6)将粘结剂回收箱的箱底打开并将升降装置降下,取出粘结剂收集罐里的粘结剂。
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