>[0078]实例14包括如实例I所述的磁控管组件，其中致动机构包括步进马达；锥齿轮，所述锥齿轮可操作地耦接到步进马达；螺纹外壳，所述螺纹外壳与锥齿轮配合；和螺纹柱，所述螺纹柱耦接于磁棒结构和螺纹外壳之间。
[0079]实例15包括一种用于溅射装置的旋转阴极组件，所述旋转阴极组件包括可旋转靶筒，所述可旋转靶筒具有限定内部通道的内表面；冷却剂管，所述冷却剂管设置于靶筒的内部通道内；磁棒结构，所述磁棒结构可移动地附接到内部通道内的冷却剂管；多个致动机构，所述多个致动机构耦接到冷却剂管并被配置以改变磁棒结构与靶筒的内表面的距离；多个位置指示机构，每个位置指示机构与致动机构中的相应一个相关联并可操作以测量磁棒结构相对于革G筒的内表面的位置；电子控制器，所述电子控制器在革El筒中并与致动机构可操作通信；第一收发器，所述第一收发器位于靶筒中并可操作地耦接到电子控制器；和第二收发器，所述第二收发器位于靶筒的外部并与第一收发器信号通信；其中在溅射装置的操作期间随着靶筒侵蚀，致动机构响应于来自电子控制器的控制信号来调整磁棒结构相对于靶筒的内表面的位置。
[0080]实例16包括如实例15所述的旋转阴极组件，其中第一和第二收发器包括光收发器。
[0081]实例17包括如实例16所述的旋转阴极组件，其还包括第一光缆，所述第一光缆耦接到第一收发器并与耦接到第二收发器的第二光缆光通信。
[0082]实例18包括如实例17所述的旋转阴极组件，其还包括靶筒上的端盖，端盖具有允许在第一光缆和第二光缆之间传输光信号的窗口。
[0083]实例19包括如实例15所述的旋转阴极组件，其中第一和第二收发器包括超声波收发器。
[0084]实例20包括如实例19所述的旋转阴极组件，其中第二收发器与用户操作的外部控制器信号通信。
[0085]尽管已描述了一些实施方案，但应理解，所述实施方案应被认为仅是说明性的而不是限制性的，且可在不脱离本发明的范围的情况下对所述实施方案进行各种修改。因此，本发明的范围由所附权利要求而非之前的描述来指示。权利要求的等效物的含义和范围内的所有改变都在权利要求的范围内。
【主权项】
1.一种磁控管组件，其包括: 刚性支撑结构； 磁棒结构，所述磁棒结构可移动地附接到所述刚性支撑结构； 至少一个致动机构，所述至少一个致动机构耦接到所述刚性支撑结构并被配置以改变所述磁棒结构与可旋转靶筒的表面的距离； 位置指示机构，所述位置指示机构可操作以测量所述磁棒结构相对于所述可旋转靶筒的所述表面的位置；和 通信设备，所述通信设备被配置以从所述磁控管组件的外部接收命令信号并将信息信号传输到所述磁控管组件的外部。2.如权利要求1所述的磁控管组件，其中所述致动机构包括弹簧加载的气动结构或弹簧加载的液压结构。3.如权利要求1所述的磁控管组件，其中所述致动机构包括旋转缆线或推/拉缆线。4.如权利要求1所述的磁控管组件，其中所述致动机构包括机动结构，所述机动结构包括伺服马达、步进马达，或压电马达。5.如权利要求1所述的磁控管组件，其中所述位置指示机构通过直接感测或通过间接度量来测量所述磁棒结构的所述位置。6.如权利要求1所述的磁控管组件，其中所述位置指示机构包括霍尔探针和磁铁。7.如权利要求1所述的磁控管组件，其中所述位置指示机构包括直接传输数据到操作者而无需额外处理的数字指示器。8.如权利要求4所述的磁控管组件，其中所述位置指示机构包括来自直接与所述机动结构親接的反馈。9.如权利要求1所述的磁控管组件，其还包括电子控制器，所述电子控制器与所述致动机构可操作通信。10.如权利要求9所述的磁控管组件，其还包括电池电源，所述电池电源被配置以激励所述致动机构和所述电子控制器。11.如权利要求1所述的磁控管组件，其中所述通信设备包括收发器，所述收发器可操作地耦接到所述电子控制器。12.如权利要求11所述的磁控管组件，其中所述收发器包括射频收发器、光收发器，或超声波收发器。13.如权利要求1所述的磁控管组件，其中所述致动机构包括: 用于霍尔探针的传感器端口； 气动致动端口，所述气动致动端口被配置以接收压缩气体； 波纹管，所述波纹管与所述气动致动端口连通； 控制轴，所述控制轴耦接到所述波纹管和所述磁棒结构； 回位弹簧，所述回位弹簧耦接到所述控制轴；和 磁铁，所述磁铁在所述控制轴中以用于霍尔探针反馈。14.如权利要求1所述的磁控管组件，其中所述致动机构包括: 步进马达； 锥齿轮，所述锥齿轮可操作地耦接到所述步进马达； 螺纹外壳，所述螺纹外壳与所述锥齿轮配合；和 螺纹柱，所述螺纹柱耦接于所述磁棒结构和所述螺纹外壳之间。15.一种用于溅射装置的旋转阴极组件，所述旋转阴极组件包括: 可旋转靶筒，所述可旋转靶筒具有限定内部通道的内表面； 冷却剂管，所述冷却剂管设置于所述靶筒的所述内部通道内； 磁棒结构，所述磁棒结构可移动地附接到所述内部通道内的所述冷却剂管； 多个致动机构，所述多个致动机构耦接到所述冷却剂管并被配置以改变所述磁棒结构与所述靶筒的所述内表面的距离； 多个位置指示机构，每个位置指示机构与所述致动机构中的相应一个相关联并可操作以测量所述磁棒结构相对于所述靶筒的所述内表面的位置； 电子控制器，所述电子控制器在所述靶筒中并与所述致动机构可操作通信； 第一收发器，所述第一收发器位于所述靶筒中并可操作地耦接到所述电子控制器；和 第二收发器，所述第二收发器位于所述靶筒的外部并与所述第一收发器信号通信； 其中在所述溅射装置的操作期间随着所述靶筒侵蚀，所述致动机构响应于来自所述电子控制器的控制信号来调整所述磁棒结构相对于所述靶筒的所述内表面的所述位置。16.如权利要求15所述的旋转阴极组件，其中所述第一和第二收发器包括光收发器。17.如权利要求16所述的旋转阴极组件，其还包括第一光缆，所述第一光缆耦接到所述第一收发器并与耦接到所述第二收发器的第二光缆光通信。18.如权利要求17所述的旋转阴极组件，其还包括所述靶筒上的端盖，所述端盖具有允许在所述第一光缆和所述第二光缆之间传输光信号的窗口。19.如权利要求15所述的旋转阴极组件，其中所述第一和第二收发器包括超声波收发器。20.如权利要求19所述的旋转阴极组件，其中所述第二收发器与用户操作的外部控制器信号通信。
【专利摘要】一种用于旋转靶材阴极的磁控管组件包括刚性支撑结构；磁棒结构，所述磁棒结构可移动地附接到所述刚性支撑结构；和至少一个致动机构，所述至少一个致动机构耦接到所述刚性支撑结构并被配置以改变所述磁棒结构与可旋转靶筒的表面的距离。所述磁控管组件也包括位置指示机构，所述位置指示机构可操作以测量所述磁棒结构相对于所述可旋转靶筒的所述表面的位置。通信设备被配置以从所述磁控管组件的外部接收命令信号并将信息信号传输到所述磁控管组件的外部。
【IPC分类】C23C14/35, C23C14/34
【公开号】CN105026609
【申请号】CN201480011904
【发明人】D.T.克劳利, P.L.摩斯, J.R.杰曼
【申请人】零件喷涂公司
【公开日】2015年11月4日
【申请日】2014年2月25日
【公告号】US20140246310, WO2014134004A1