变薄。这是因为，在旋压的情况下，如果还考虑到形成后述的凸缘 9,则需要形成朝向开口部变薄的形状。
[0049]〈凸缘 9>
[0050] 凸缘9是将蓝宝石单晶生长用坩埚1组装到生长装置中时的保持部，优选设置凸 缘9〇
[0051] 如后所述，凸缘9可以通过旋压以无接缝的方式自圆筒部3形成。
[0052]〈表面形状〉
[0053] 蓝宝石单晶生长用坩埚1的表面形状优选为能够抑制坩埚成分混入熔化后的蓝 宝石、并且使坩埚能够再利用的形状，具体而言，优选Ry为7 ym以下、Ra为I ym以下。
[0054] 另外，通过使表面粗糙度为上述范围，生长后的蓝宝石结晶表面变得平滑，能够通 透地观察到内部，因此还可产生容易确认缺陷、能够提供高品质结晶的效果。
[0055] 〈硬度〉
[0056] 构成蓝宝石单晶生长用坩埚1的材料的硬度以维氏硬度（测定负荷IOKg)计优选 为Hv420以上且500以下。
[0057] 这是因为，维氏硬度小于420时，在旋压时材料无法耐受减薄拉深塑性加工而发 生破裂。另外因为，维氏硬度超过500时，变形强度过高，不追随模具进行变形，产生裂纹或 者形状不均匀。
[0058] <H/D>
[0059] 本发明的蓝宝石单晶生长用坩埚1中，坩埚高度（H)与开口部直径（D)的比例H/ D优选为1. 35以下。这是因为，虽然通过旋压可以使H/D为2左右，但在厚度不均的坩埚成 形的情况下，1. 35为成形极限。
[0060]〈长径比〉
[0061] 构成蓝宝石单晶生长用坩埚1的材料的晶粒的长径比优选为5以下。这是因为， 长径比超过5时，金属组织的各向异性变得显著，结果，晶界强度的差也增大，进行旋压时， 有可能在晶界产生裂纹而破裂。
[0062] 需要说明的是，在此所述的长径比是指500 ymX 500 ym的金属组织视野中的利 用晶界截线法得到的测量结果。
[0063]〈制造方法〉
[0064] 蓝宝石单晶生长用坩埚1的制造方法只要能够制造具有上述的形状、组成的蓝宝 石单晶生长用坩埚，则没有特别限定，可以例示如下制造方法。
[0065] 以下，参照图2对制造方法的一例进行说明。
[0066] (SI:原料的准备）
[0067] 首先，准备坩埚的原料。
[0068] 具体而言，在使用纯钨作为蓝宝石单晶生长用坩埚1的材料的情况下，原料优选 使用Fsss (Fisher Sub-Sieve Sizer，费氏粒度仪）粒度为2~3ym、纯度为99. 9质量％ 以上的钨粉末。
[0069] 另一方面，在使用钨-钼合金的情况下，作为坩埚用原料，将Fsss粒度为2~ 3 y m、纯度为99. 9质量％以上的钨粉末以及同样Fsss粒度为4~5 y m、纯度为99. 9质 量％以上的钼粉末按照所期望的合金重量比进行称量。作为合金品种，代表性的为90质 量％ Mo-IO质量％ W(简称为9MW)、70质量％ Mo-30质量％ W(7MW)、50质量％ Mo-50质量％ W (5MW)，如上所述，钨的含量优选为3质量％以上且60质量％以下。
[0070] (S2:原料的混合）
[0071] 接着，在使用钨-钼合金作为蓝宝石单晶生长用坩埚1的材料的情况下，将所计量 的两种粉末使用适当的装置（例如，球磨机、V型混合器、双锥混合器等）进行混合，制成合 金用原料粉末。
[0072] 需要说明的是，在使用纯钨作为蓝宝石单晶生长用坩埚1的材料的情况下，不需 要将原料混合。
[0073] (S3:原料的成形）
[0074] 接着，将原料粉末填充到期望成形体的形状的橡胶内，将开放口用系紧用具密封 后，对橡胶进行抽真空。终止抽真空后，将橡胶装填到CIP (Cold Isostatic Pressing，冷等 静压）装置内，按照规定的程序施加水压来进行成形。解除压力后，将橡胶从CIP装置内取 出，擦拭表面的水气，打开系紧用具，取出粉末成形体。
[0075] (S4:原料的烧结）
[0076]接着，将粉末成形体在间歇式或连续式氢气烧结炉内在2000°C以上烧结20小时。 更高温度、更长时间的烧结处理对于提高烧结密度是优选的。烧结材料例如大致为厚度 30mm、宽度300mm、长度300mm、重量28kg的板状烧结体。
[0077]烧结时，优选所得到的烧结体的理论密度比为95%以上。这是因为，理论密度比 为95%以上时，粉末颗粒的致密化得以进行，或者由于塑性加工变形所致的高致密化而使 高温强度提高，耐浸蚀性的提高得以促进。需要说明的是，在此所述的理论密度比是指通过 基于阿基米德法的测定得到的值。
[0078] (S5:塑性加工）
[0079]接着，为了将烧结体加工为坩埚形状，使用四段式热乳机进行板乳制。在利用该 热乳的塑性加工工序中，制作出坯料以及拉深成形后的坩埚的品质。通过对道次规程（乳 制率、加热温度X时间、通板方向等）进行设计，得到理论密度比为98%以上、维氏硬度为 Hv420~500、长径比为5以下的适合于拉深加工的乳制材料。
[0080] (S6 :表面氧化物除去处理）
[0081] 上述进行了热乳的材料的表面发生了氧化，被淡黄色或浅黑色的氧化物覆盖。因 此，使用氢气还原炉在850°C的温度下将表面的氧化物还原后，利用强酸将其溶解除去，得 到金属基体的表面。利用放电线切割或等离子体切割等适当的切割法将该乳制板切断，得 到圆盘状的拉深加工用坯料。
[0082] (S7 :旋压）
[0083]接着，为了将坯料加工为坩埚形状，进行旋压。
[0084] 具体而言，可以通过下述的通常的旋压加工法加工为坩埚形状：首先，将模具安放 在旋压装置中，将坯料按压于模具，使用顶块将坯料固定。接着，使模具、坯料、顶块一体地 旋转。将坯料在大气中加热至红热程度的同时，使赶棒（旋轮）进行赶辗，从而使坯料仿效 于模具而成形为坩埚形状。
[0085] (S8:电解研磨处理）
[0086] 首先，通过与S6(表面氧化物除去处理）同样的处理使金属基体的表面露出。然 后，进行喷砂处理，进行电解研磨处理的事先准备。在切削加工完工时，会残留刀具痕迹等 图样，因此进行喷砂处理。喷砂处理使用干式或湿式中的任意一种处理均可以得到同样的 效果。电解研磨处理仅对坩埚内面实施。该喷砂处理和电解研磨处理的结果，完成了 Ry为 7 y m以下、Ra为I y m以下的表面粗糙度的i甘埚制品。
[0087] 需要说明的是，在通过（S7:旋压）得到了上述表面粗糙度等情况下，可以省略喷 砂处理、电解研磨处理中的一种或两种处理。
[0088] 以上为蓝宝石单晶生长用坩埚1的制造方法的一例。
[0089] 如上所述，根据本实施方式，蓝宝石单晶生长用坩埚1由钨和不可避杂质构成，或 者由含有3质量％以上且60质量％以下的钨的钨-钼合金和不可避免的杂质构成，其具有 圆筒部和与上述圆筒部连接的无接缝的底部，至少其内周的表面粗糙度为：最大高度Ry为 7 ym以下、算术平均粗糙度Ra为Iym以下。
[0090] 因此，蓝宝石单晶生长用坩埚1为能够使蓝宝石生长的成本比以往降低的结构。
[0091] 实施例
[0092] 以下，基于实施例更具体地说明本发明。
[0093](实施例1)
[0094] 尝试进行了使用7MW合金和各种组成的合金的蓝宝石单晶生长用坩埚1的制造。 具体程序如下。
[0095] 首先，称量Fsss粒度为2. 3 ym、纯度为99. 9质量％的钨粉末9kg和Fsss粒度 为4. 3 y m、纯度为99. 9质量％的钼粉末21kg作为原料，使用V型混合器混合1小时，得到 钨-钼混合粉末30kg。