化学镀铜用水系铜胶体催化剂液及化学镀铜方法_4

文档序号:9400899阅读:来源:国知局
钠:0? 45摩尔/L
[0221 ] 向调整为pH值4. 0的25°C铜溶液中滴入还原剂溶液,搅拌45分钟。
[0222] 生成的铜胶体粒子的平均粒径为约8nm。
[0223] (6)实施例6 (实施例1的胶体稳定剂、还原剂减少,搅拌时间增加之例)
[0224] 以上述实施例1为基础,按照下列组成制备含有吸附促进剂的液体和铜胶体催化 剂液,除此之外,铜胶体催化剂液(但搅拌时间除外)或化学镀铜液的制备方法以及各工序 的处理条件与实施例1相同。
[0225] 应予说明,上述催化剂液的各成分的摩尔比如下所示。
[0226] 铜盐:胶体稳定剂=1:3,铜盐:还原剂=1:0. 5
[0227] (a)含有吸附促进剂的液体的制备
[0228] [含有吸附促进剂的液体]
[0229] 氯化十二烷基二甲基苄基铵:5g/L
[0230] (b)铜胶体催化剂液的制备
[0231] [铜溶液]
[0232] 硫酸铜(以Cu2+计):0? 2摩尔/L
[0233] 柠檬酸:0. 6摩尔/L
[0234] 聚乙二醇(平均分子量10000) :1. Og/L
[0235] [还原剂溶液]
[0236] 硼氢化钠:0. 1摩尔/L
[0237] 向调整为pH值4. 0的25°C铜溶液中滴入还原剂溶液,搅拌60分钟。
[0238] 生成的铜胶体粒子的平均粒径为约30nm。
[0239] (7)实施例7 (实施例1的胶体稳定剂改变、量改变、pH值改变、催化剂液中添加表 面活性剂之例)
[0240] 以上述实施例1为基础,按照下列组成制备含有吸附促进剂的液体和铜胶体催化 剂液,除此之外,铜胶体催化剂液(但PH值条件除外)或化学镀铜液的制备方法以及各工 序的处理条件与实施例1相同。
[0241] 应予说明,上述催化剂液的各成分的摩尔比如下所示。
[0242] 铜盐:胶体稳定剂=1:3. 5,铜盐:还原剂=1:1
[0243] (a)含有吸附促进剂的液体的制备
[0244] [含有吸附促进剂的液体]
[0245] 十二烷基二甲氨基乙酸甜菜碱:5g/L
[0246] (b)铜胶体催化剂液的制备
[0247] [铜溶液]
[0248] 硫酸铜(以Cu2+计):0? 2摩尔/L
[0249] 葡萄糖酸:0. 7摩尔/L
[0250] 聚氧乙烯-苯乙烯化苯基醚(E010摩尔):0? 2g/L
[0251] [还原剂溶液]
[0252] 硼氢化钠:0. 2摩尔/L
[0253] 向调整为pH值3. 0的25°C铜溶液中滴入还原剂溶液,搅拌45分钟。
[0254] 生成的铜胶体粒子的平均粒径为约17nm。
[0255] (8)实施例8 (实施例1的胶体稳定剂改变、量改变之例)
[0256] 以上述实施例1为基础,按照下列组成制备含有吸附促进剂的液体和铜胶体催化 剂液,除此之外,铜胶体催化剂液(但搅拌条件除外)或化学镀铜液的制备方法以及各工序 的处理条件与实施例1相同。
[0257] 应予说明,上述催化剂液的各成分的摩尔比如下所示。
[0258] 铜盐:胶体稳定剂=1:3,铜盐:还原剂=1:1
[0259] (a)含有吸附促进剂的液体的制备
[0260] [含有吸附促进剂的液体]
[0261] 氯化十二烷基二甲基苄基铵:5g/L
[0262] (b)铜胶体催化剂液的制备
[0263] [铜溶液]
[0264] 硫酸铜(以Cu2+计):0? 2摩尔/L
[0265] 乙醇酸:0. 6摩尔/L
[0266] [还原剂溶液]
[0267] 硼氢化钠:0. 2摩尔/L
[0268] 向调整为pH值4. 0的25°C铜溶液中滴入还原剂溶液,搅拌90分钟。
[0269] 生成的铜胶体粒子的平均粒径为约15nm。
[0270] (9)实施例9 (实施例1的还原剂改变、浴温改变之例)
[0271] 以上述实施例1为基础,按照下列组成制备含有吸附促进剂的液体和铜胶体催化 剂液,除此之外,铜胶体催化剂液(但铜溶液的液温条件除外)或化学镀铜液的制备方法以 及各工序的处理条件与实施例1相同。
[0272] 应予说明,上述催化剂液的各成分的摩尔比如下所示。
[0273] 铜盐:胶体稳定剂=1:3,铜盐:还原剂=1:0. 5
[0274] (a)含有吸附促进剂的液体的制备
[0275] [含有吸附促进剂的液体]
[0276] 二烯丙胺聚合物的季铵盐:5g/L
[0277] 聚氧化亚烷基侧链癸基醚:lg/L
[0278] (b)铜胶体催化剂液的制备
[0279] [铜溶液]
[0280] 硫酸铜(以Cu2+计):0? 2摩尔/L
[0281] 柠檬酸:0.6摩尔/L
[0282] 聚乙烯吡咯烷酮(分子量300000) :1. Og/L
[0283] [还原剂溶液]
[0284] 二甲胺硼烷:0? 1摩尔/L
[0285] 向调整为pH值4. 0的35°C铜溶液中滴入还原剂溶液,搅拌45分钟。
[0286] 生成的铜胶体粒子的平均粒径为约45nm。
[0287] (10)实施例10 (实施例9的可溶性铜盐改变之例)
[0288] 以上述实施例1为基础,按照下列组成制备含有吸附促进剂的液体和铜胶体催化 剂液,除此之外,铜胶体催化剂液(但PH值和铜溶液的液温条件除外)或化学镀铜液的制 备方法以及各工序的处理条件与实施例1相同。
[0289] 应予说明,上述催化剂液的各成分的摩尔比如下所示。
[0290] 铜盐:胶体稳定剂=1:4,铜盐:还原剂=1:0. 5
[0291] (a)含有吸附促进剂的液体的制备
[0292] [含有吸附促进剂的液体]
[0293] 氯化十二烷基二甲基苄基铵:5g/L
[0294] (b)铜胶体催化剂液的制备
[0295] [铜溶液]
[0296] 甲磺酸铜(以Cu2+计):0? 2摩尔/L
[0297] 柠檬酸:0. 8摩尔/L
[0298] [还原剂溶液]
[0299] 二甲胺硼烷:0? 1摩尔/L
[0300] 向调整为pH值3. 0的35°C铜溶液中滴入还原剂溶液,搅拌45分钟。
[0301] 生成的铜胶体粒子的平均粒径为约16nm。
[0302] (11)实施例11 (实施例9的可溶性铜盐改变之例)
[0303] 以上述实施例1为基础,按照下列组成制备含有吸附促进剂的液体和铜胶体催化 剂液,除此之外,铜胶体催化剂液(但PH值和铜溶液的液温条件除外)或化学镀铜液的制 备方法以及各工序的处理条件与实施例1相同。
[0304] 应予说明,上述催化剂液的各成分的摩尔比如下所示。
[0305] 铜盐:胶体稳定剂=1:3. 5,铜盐:还原剂=1:0. 75
[0306] (a)含有吸附促进剂的液体的制备 [0307][含有吸附促进剂的液体]
[0308] 二烯丙胺聚合物的季铵盐:5g/L
[0309] (b)铜胶体催化剂液的制备
[0310] [铜溶液]
[0311] 柠檬酸铜2. 5水合物(以Cu2+计):0? 2摩尔/L
[0312] 柠檬酸:0.7摩尔/L
[0313] [还原剂溶液]
[0314] 二甲胺硼烷:0? 15摩尔/L
[0315] 向调整为pH值5. 0的35°C铜溶液中滴入还原剂溶液,搅拌45分钟。
[0316] 生成的铜胶体粒子的平均粒径为约14nm。
[0317] (12)实施例12 (实施例9的胶体稳定剂改变之例)
[0318] 以上述实施例1为基础,按照下列组成制备含有吸附促进剂的液体和铜胶体催化 剂液,除此之外,铜胶体催化剂液(但铜溶液的液温条件除外)或化学镀铜液的制备方法以 及各工序的处理条件与实施例1相同。
[0319] 应予说明,上述催化剂液的各成分的摩尔比如下所示。
[0320] 铜盐:胶体稳定剂=1:2,铜盐:还原剂=1:0. 5
[0321] (a)含有吸附促进剂的液体的制备
[0322] [含有吸附促进剂的液体]
[0323] 十二烷基二甲氨基乙酸甜菜碱:5g/L
[0324] (b)铜胶体催化剂液的制备
[0325] [铜溶液]
[0326] 硫酸铜(以Cu2+计):0? 2摩尔/L
[0327] 葡萄糖酸:0. 4摩尔/L
[0328] [还原剂溶液]
[0329] 二甲胺硼烷:0? 1摩尔/L
[0330] 向调整为pH值4. 0的35°C铜溶液中滴入还原剂溶液,搅拌45分钟。
[0331] 生成的铜胶体粒子的平均粒径为约20nm。
[0332] (13)实施例13 (添加水溶性聚合物的情况)
[0333] 以上述实施例1为基础,按照下列组成制备含有吸附促进剂的液体和铜胶体催化 剂液,除此之外,铜胶体催化剂液或化学镀铜液的制备方法以及各工序的处理条件与实施 例1相同。
[0334] 应予说明,上述催化剂液的各成分的摩尔比如下所示。
[0335] 铜盐:胶体稳定剂=1:4,铜盐:还原剂=1:1
[0336] (a)含有吸附促进剂的液体的制备
[0337] [含有吸附促进剂的液体]
[0338] 二烯丙胺聚合物的季铵盐:5g/L
[0339] (b)铜胶体催化剂液的制备
[0340] [铜溶液]
[0341] 硫酸铜(以Cu2+计):0? 2摩尔/L
[0342] 柠檬酸:0. 8摩尔/L
[0343] 聚乙烯亚胺:1.5g/L
[0344] [还原剂溶液]
[0345] 硼氢化钠:0. 2摩尔/L
[0346] 向调整为pH值4. 0的25°C铜溶液中滴入还原剂溶液,搅拌45分钟。
[0347] 生成的铜胶体粒子的平均粒径为约17nm。
[0348] (14)实施例14 (添加水溶性聚合物的情况)
[0349] 以上述实施例1为基础,按照下列组成制备含有吸附促进剂的液体和铜胶体催化 剂液,除此之外,铜胶体催化剂液或化学镀铜液的制备方法以及各工序的处理条件与实施 例1相同。
[0350] 应予说明,上述催化剂液的各成分的摩尔比如下所示。
[0351] 铜盐:胶体稳定剂=1:4,铜盐:还原剂=1:1
[0352] (a)含有吸附促进剂的液体的制备
[0353] [含有吸附促进剂的液体]
[0354] 二烯丙胺聚合物的季铵盐:5g/L
[0355] (b)铜胶体催化剂液的制备
[0356] [铜溶液]
[0357] 硫酸铜(以Cu2+计):0? 2摩尔/L
[0358] 柠檬酸:0. 8摩尔/L
[0359] 聚乙烯吡咯烷酮(分子量300000) :1. Og/L
[0360] [还原剂溶液]
[0361] 硼氢化钠:0. 2摩尔/L
[0362] 向调整为pH值4. 0的25°C铜溶液中滴入还原剂溶液,搅拌45分钟。
[0363] 生成的铜胶体粒子的平均粒径为约15nm。
[0364] (15)实施例15 (改变可溶性铜盐、添加水溶性聚合物的情况)
[0365] 以上述实施例1为基础,按照下列组成制备含有吸附促进剂的液体和铜胶体催化 剂液,除此之外,铜胶体催化剂液或化学镀铜液的制备方法以及各工序的处理条件与实施 例1相同。
[0366] 应予说明,上述催化剂液的各成分的摩尔比如下所示。
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