069]S卩，在第2实施方式的成膜装置I中，上下排列而形成有两条向阴极体10的左右方向的大致中央供给或排出冷却水的冷却水给排配管18。这两条冷却水给排配管18中的一方的冷却水给排配管18 (阴极体10的下侧的冷却水给排配管18)成为冷却水的导入路，另一方的冷却水给排配管18 (阴极体10的上侧的冷却水给排配管18)成为冷却水的导出路。此外，这些冷却水给排配管18都以将磁铁单元9及水路板11在前后方向上贯通的方式形成，能够使冷却水流通到形成在水路板11的前表面上的流路槽13中。
[0070]此外，第2实施方式的形成在水路板11上的流路槽13与第I实施方式不同，以将中央磁铁15包围的方式形成，使从一方的冷却水给排配管18供给的冷却水以环绕中央磁铁15的周围的方式从下方朝向上方流通，能够从另一方的冷却水流路12将冷却水集中而排水。
[0071]在上述第2实施方式的成膜装置I中，冷却水给排配管18没有形成在阴极体10的壁内，而配备在阴极体10的中央，相应地，阴极体10的宽度变得比第I实施方式紧凑。
[0072]此外，在第2实施方式的蒸发源2中，由于冷却水流路12汇集设在磁铁单元9的中央，所以只要是不使中央的冷却水流路12变化的范围，就能够使磁铁单元9在左右方向上收缩，能够将磁铁单元9的尺寸及配置自由地变更。通过将靶7形成为与该磁铁单元9对应的形状，能够实现对于通常宽度的基材及窄幅的基材都最优的装置结构。
[0073]接着，使用图5A?图f5D对第3实施方式的成膜装置I进行说明。
[0074]如图5A及图5B所示，在第3实施方式的成膜装置I中，与图6A及图6B所示的以往的蒸发源102的冷却水配管112同样，以将磁铁单元9的内部在前后方向上贯通的方式形成有一对冷却水配管12。该成膜装置I为将经由左侧的冷却水配管12供给的冷却水向形成在中央磁铁5与外周磁铁6之间的朝向左右方向的水路引导、夹着背板8将靶材7冷却的构造，在冷却中使用的冷却水经由右侧的冷却水配管12被排水。
[0075]有关该第3实施方式的蒸发源2与以往的蒸发源102的不同点是，磁铁单元9的外周磁铁16的短边的高度设计得比长边低。因此，如图5C所示，在将长度较短的磁铁单元9安装在阴极体10上的情况下，如图5C、图所示，能够确保冷却水的流路。因此，如图5C所示，通过安装较短的靶材7，与第I实施方式、第2实施方式同样，能够对宽度较窄的基材W经济地进行成膜处理。
[0076]如以上所述，通过使用有关本发明的各实施方式的成膜装置1，能够不将蒸发源2本身替换，而仅通过仅将构成蒸发源2的磁铁单元9及靶材7替换，就能够对应于基材W的尺寸变更而稳定地进行成膜。
[0077]顺便说一下，本发明并不限定于上述各实施方式，在不变更发明的本质的范围内能够将各部件的形状、构造、材质、组合等适当变更。此外，在此次公开的实施方式中没有明示地公开的事项，例如运转条件或作业条件、各种参数、构成物的尺寸、重量、体积等不脱离本领域的技术人员通常实施的范围，采用只要是通常的本领域的技术人员就能够容易地设想的事项。
[0078]如以上这样，根据本发明，提供一种不将蒸发源本身替换、而仅通过仅将构成蒸发源的磁铁单元及靶材替换、对于宽度不同的基材也能够进行成膜的成膜装置及成膜方法。
[0079]本发明提供的成膜装置，是使用与基材对置的蒸发源，对被输送的基材的表面进行成膜的成膜装置，上述蒸发源具有:平板状的靶材，由成膜物质形成；背板，在表面上安装上述靶材；磁铁单元，配备在上述背板的背侧，在靶材形成用于磁控放电的磁场；阴极体，收存上述磁铁单元；和冷却水流路，是上述磁铁单元与背板分离而形成的空间，并且在该空间中冷却水能够流通。在处理比上述基材窄幅的窄幅基材的情况下，可以与其对应而配备短尺寸的尺寸的上述磁铁单元，对应于该配备的磁铁单元的宽度而配备短尺寸的尺寸的靶材。
[0080]另一方面，本发明的成膜方法在使用上述成膜装置对基材的表面进行成膜时，在对比上述基材窄幅的窄幅基材的表面进行成膜的情况下，配备短尺寸的尺寸的磁铁单元，对应于该配备的磁铁单元的宽度而配备短尺寸的尺寸的靶材，实施成膜。
[0081]根据本发明的成膜装置及成膜方法，不将蒸发源本身替换，仅通过仅将构成蒸发源的磁铁单元及靶材替换，对于宽度不同的基材也能够进行成膜。
[0082]另外，优选的是，上述磁铁单元在正面观察形成为长方形；上述冷却水流路具有形成在上述磁铁单元的长度方向的一端的外侧而使冷却水向上述水路板与背板之间流入的导入路、和形成在上述磁铁单元的长度方向的另一端的外侧而将冷却水向外部导出的导出路。
[0083]另外，优选的是，上述磁铁单元在正面观察形成为长方形；上述冷却水流路具有形成在上述磁铁单元的长度方向的中央部附近而使冷却水向上述水路板与背板之间流入的导入路、和形成在上述磁铁单元的长度方向的中央部附近而将冷却水向外部导出的导出路。
[0084]另外，优选的是，上述磁铁单元在正面观察形成为长方形，并且至少外周磁极的短边部的高度构成得低；上述冷却水流路在搭载通常尺寸的磁铁单元的情况下，冷却水被从外周磁极的短边部附近的外周磁极与中央磁极之间的空间导入或导出，在搭载短尺寸的磁铁单元的情况下，冷却水从上述磁铁单元的上述短边部的外侧导入或导出。
【主权项】
1.一种成膜装置，使用与基材对置的蒸发源，对被输送的基材的表面进行成膜，其特征在于， 上述蒸发源具有:平板状的靶材，由成膜物质形成；背板，在表面上安装上述靶材；磁铁单元，配备在上述背板的背侧，在靶材表面附近形成用于磁控放电的磁场；阴极体，收存上述磁铁单元；和冷却水流路，是上述磁铁单元与背板分离而形成的空间，并且在该空间中冷却水能够流通； 作为上述磁铁单元，能够对应于比上述基材窄幅的窄幅基材而配备短尺寸的尺寸的磁铁单元，作为上述靶材，对应于配备的磁铁单元的宽度而配备有短尺寸的尺寸的靶材。2.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于， 上述磁铁单元被收存在上述阴极体的正面观察为长方形的空间中；上述冷却水流路具有形成在上述阴极体的长度方向的一端而向上述背板背面的冷却水流路之间的冷却水的导入路、和形成在上述阴极体的长度方向的另一端的冷却水的导出路。3.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于， 上述磁铁单元在正面观察形成为长方形；上述冷却水流路具有形成在上述磁铁单元的长度方向的中央部而使冷却水向上述水路板与背板之间流入的导入路、和形成在上述磁铁单元的长度方向的中央部而将冷却水向外部导出的导出路。4.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于， 上述磁铁单元在正面观察形成为长方形，并且至少外周磁极的短边部的高度构成得低；上述冷却水流路在搭载通常尺寸的磁铁单元的情况下，冷却水被从外周磁极的短边部附近的外周磁极与中央磁极之间的空间导入或导出，在搭载短尺寸的磁铁单元的情况下，冷却水从上述磁铁单元的上述短边部的外侧导入或导出。5.一种成膜方法，使用权利要求1所述的成膜装置对基材的表面进行成膜，其特征在于， 在对与适合于上述成膜装置的基材相比窄幅的窄幅基材的表面进行成膜的情况下，配备短尺寸的尺寸的磁铁单元，对应于配备的磁铁单元的宽度而配备短尺寸的尺寸的靶材，实施成膜。
【专利摘要】提供一种仅将磁铁单元和靶材替换就能够对应于基材的尺寸变更的成膜装置。本发明的成膜装置（1）是使用与基材（W）的正面对置的蒸发源（2）对被输送的基材（W）的表面进行成膜的装置，蒸发源（2）具有靶材（7）、背板（8）、磁铁单元（9）、阴极体（10）和冷却水流路（12）。冷却水流路（12）是磁铁单元（9）与背板（8）分离而形成的空间，冷却水能够在该空间中流通。作为磁铁单元（9），可以对应于比基材（W）窄幅的窄幅基材而配备短尺寸的尺寸者，作为靶材（7），对应于配备的磁铁单元（9）的宽度而配备短尺寸的尺寸者。
【IPC分类】C23C14/35, C23C14/56
【公开号】CN105189810
【申请号】CN201480027855
【发明人】永峰明日香, 玉垣浩
【申请人】株式会社神户制钢所
【公开日】2015年12月23日
【申请日】2014年3月31日
【公告号】DE112014002431T5, US20160047032, WO2014184997A1