，在本实施方式中，使用在与生成弯曲的方向相反的方向上对背板204的第二主面204b施加压力而机械地矫正的方法。
[0150]其次，在图5D所示的第四工序中，使用第二粘接部件(未图示)，使第二母材206与背板204的第二主面204b接合。
[0151]更具体来讲，在形成接合面的背板204的第二主面204b涂布第二粘接部件，以融点以上的温度加热背板204及第二粘接部件，使其融解。
[0152]而且，在融解的第二粘接部件上配置第二母材206，在第二母材206与背板204之间夹持融解的第二粘接部件的状态下冷却至室温。
[0153]作为在该工序中使用的第二粘接部件，最好为低融点金属，例如使用铟。
[0154]在第四工序中，背板204和第二母材206在高温状态中被接合，并保持接合的状态冷却至室温。
[0155]而且，伴随冷却，背板204被压缩。
[0156]此时，由于在第一主面204a接合有第一母材205，在第二主面204b结合有第二母材206，因此背板204在第一主面204a的压缩率与背板204在第二主面204b的压缩率不同。
[0157]因此，背板204具有在第一主面204a或第二主面204b中凸状地产生弯曲的形状。
[0158]在此，在图5E所示的第五工序中，对由第二母材206和背板204的接合而弯曲的背板204进行整形，使其成为平坦的形状。
[0159]对背板204进行整形的方法并不限定于特定的方法，在本实施方式中，使用在与生成弯曲的方向相反的方向上对背板204施加压力而机械地矫正的方法。
[0160]而且，在图5F所示的第六工序中，在与背板204的长度方向L平行的侧面，通过使用绝缘性的粘接部件(绝缘部件)209a接合防着板209，形成本发明的实施方式的靶。
[0161]在此，示出了对背板204，按第一母材205、第二母材206的顺序接合的例，但可以使接合的顺序相反。
[0162]根据上述本发明的实施方式的靶的制造方法，无需如使用螺栓或夹具等固定部件使母材固定于背板的情况那样，在母材上设置固定区域。
[0163]因此，能够使配置在背板204的各主面的第一母材205及第二母材206的整个区域用于溅射。
[0164]另外，在本发明的实施方式的靶的制造方法中，使母材与背板的第一主面204a或第二主面204b接合之后，由接合而弯曲的背板被整形为平坦的形状。
[0165]因此，能够制造在背板的两个主面的各面分别接合有表面为平坦的形状的母材的靶。
[0166]由此，由于平行地配置母材与被处理基板，因此能够使从母材飞出的溅射粒子均匀地附着在被处理基板的处理面内而成膜。
[0167]此外，在图5A至图5F中，作为例，示出了使用粘接部件，将第一母材205及第二母材206与背板204的各主面接合的方法。作为其他例，也有使用夹具等固定用部件，将第一母材205及第二母材206固定在背板204的各主面的方法。
[0168]在使用夹具等固定用部件的情况下，不会产生起因于第一母材205与背板的热膨胀率差或第二母材206与背板的热膨胀率差所导致的弯曲。
[0169]因此，不需要相当于上述第三工序及第五工序的工序，能够以更简化的工序制造靶。
[0170](变形例I)
[0171 ]图6是表示靶的变形例的图，是从旋转轴607的一端侧观察多个靶C中的一个的图。
[0172]相对于上述实施方式的背板204由单板形成，变形例I的背板614由两张板(背板)604及611重合而成的合板构成。
[0173]在背板614的内部，设置有形成在靠近作为背板的最外面的第一主面614a的位置并流动有冷却水的循环流道608a、608b和形成在靠近作为背板的最外面的第二主面614b的位置并流动有冷却水的循环流道613a、613b。在图6中，与第一实施方式相同的部件使用相同的附图标记，并省略或简化其说明。
[0174]在本发明的实施方式的结构中，冷却水的循环流道608a、608b在背板604内，形成在靠近第一主面604a或第二主面604b的任--侧的位置。
[0175]与此相对，在变形例I的结构中，冷却水的循环流道608a、608b在背板614内，形成在靠近第一主面614a或第二主面614b的两侧的位置。
[0176]因此，根据变形例I的结构，能够得到对于第一母材605及第二母材612的两侧均具有尚冷却功能的革巴。
[0177]在靶的变形例I中，在作为背板的最外面的两个主面的各面，配置有用于溅射的母材。
[0178]因此，能够在腔室内，使用被配置在第一主面614a的第一母材605进行溅射处理之后，反转靶，使用被配置在第二主面614b的第二母材612进行溅射处理。
[0179]因此，在第二母材612由与第一母材605相同材料构成的情况下，与现有的使用仅配置于背板的一个主面的母材的情况相比，能够延长每一个靶的使用期限。
[0180]由此，能够减少母材的更换次数，并能够减少伴随更换而发生的排出腔室内气体的操作(工序)的次数。
[0181]另外，第一母材605及第二母材612的各自由形成在被处理基板上的形成层积膜的下层及上层的材料构成的情况下，能够仅使用一个靶连续进行两次成膜处理。
[0182]而且，通过在同一腔室内进行连续的两次成膜处理，不需要在使用第一母材605的成膜工序和使用第二母材612的成膜工序之间进行的排出腔室内气体的工序及被处理基板的运送等的操作(工序)，能够缩短这种操作(工序)所需的时间。
[0183](靶的制造方法的变形例)
[0184]对具备上述变形例I的结构的靶的制造方法的一例进行说明。
[0185]首先，在第一工序中，使用第一粘接部件，使第一母材605与背板604的第一主面604a接合。
[0186]更具体来讲，在形成接合面的背板604的第一主面604a涂布第一粘接部件，以融点以上的温度加热背板604及第一粘接部件，使其融解。
[0187]而且，在融解的第一粘接部件上配置第一母材605，在第一母材605与背板604之间夹持融解的第一粘接部件的状态下冷却至室温。
[0188]作为在该工序中使用的第一粘接部件，最好为低融点金属，例如使用铟。
[0189]在第一工序中，背板604与第一母材605在高温状态中被接合，并保持接合的状态冷却至室温。
[0190]而且，伴随冷却，背板604被压缩。
[0191 ] 此时，由于仅在第一主面604a接合有第一母材605，因此背板604在第一主面604a的压缩率与背板604在第二主面604b的压缩率不同。
[0192]因此，背板604具有在第一主面604a或第二主面604b中凸状地产生弯曲的形状。
[0193]其次，在第二工序中，对由第一母材605和背板604的接合而弯曲的背板604进行整形，使其成为平坦的形状。
[0194]对背板604进行整形的方法并不限定于特定的方法，在本实施方式中，使用在与生成弯曲的方向相反的方向上对背板604施加压力而机械地矫正的方法。
[0195]其次，在第三工序中，使用第二粘接部件，使第二母材612与背板611的第一主面61 Ia接合ο
[0196]更具体来讲，在形成接合面的背板611的第一主面611a涂布第二粘接部件，以融点以上的温度加热背板611及第二粘接部件，使其融解。
[0197]而且，在融解的第二粘接部件上配置第二母材612，以在第二母材612与背板611之间夹持融解的第二粘接部件的状态冷却至室温。
[0198]作为在该工序中使用的第二粘接部件，最好为低融点金属，例如使用铟。
[0199]其次，在第四工序中，对由背板611和第二母材612的接合而弯曲的背板611进行整形，使其成为平坦的形状。
[0200]对背板611进行整形的方法并不限定于特定的方法，在本变形例中，使用在与生成弯曲的方向相反的方向上对背板611施加压力而机械地矫正的方法。
[0201]下面，在第五工序中，为了背板604的第二主面604b与背板611的第二主面611b相对，使用粘接部件使背板604和背板611接合。
[0202]下面，在第六工序中，通过在与背板614的长度方向L平行的侧面，使用绝缘性的粘接部件(绝缘部件)609a接合防着板609，形成靶的变形例I。
[0203]此外，第一工序至第二工序和第三工序至第四工序可以调换顺序进行，还可以同时进行。
[0204]另外，靶的变形例通过使两张板604及611重合而预先形成背板614，之后与本发明的实施方式的背板604相同，通过使用上述的靶的制造方法也可形成。
[0205]根据上述靶的制造方法的变形例，无需如使用螺栓或夹具等固定部件使母材固定于背板的情况那样，在母材上设置固定区域。
[0206]因此，能够使配置在背板614的各主面的第一母材605及第二母材612的整个区域用于溅射。
[0207]另外，在靶的制造方法的变形例中，在背板的