16相连的第二连杆1214随之上升或下降，进而带动与第二连杆1214通过第二销钉1217相连的第三连杆1215在导轨1211的导向作用下实现上下往复运动，第三连杆1215与载物机构110通过螺钉1218或螺栓固定相连，从而实现带动载物机构110实现上下摆动，取代传统人工摆动方式，降低人工成本，提高产品生产效率，并可有效避免人工摆动过程中存在的安全隐患。
[0036]可以理解地，摆动装置100的摆动频率由调速电机131的转速控制，摆动幅度取决于第一连杆1213的长度，使得其摆动频率和幅度可进行快速、方便调节，以满足不同蚀刻机、不同生产工艺中摆动的需求。
[0037]如图1、图3所示，载物机构110包括载物篮111，载物篮111上可放置用于盛放晶圆的卡塞114，在摆动机构120的作用下，使得盛放有晶圆的载物篮111进入反应液进行蚀亥IJ。可以理解地，载物篮111可以是采用耐腐蚀材料制成，也可以在载物篮111外设有耐腐蚀保护层，耐腐蚀保护层采用耐腐蚀材料制成，以避免载物篮111与反应液进行反应产生其他金属离子进入反应液，影响蚀刻效果。具体地，耐腐蚀材料可以是PP工程塑料或316不锈钢材料。
[0038]如图1、图3所示，载物篮111包括方形篮体1111、用于连接方形篮体1111和第三连杆1215的连接件1112以及支撑件1113。可以理解地，采用方形篮体1111便于放置卡塞114。具体地，支撑件1113 —端固定在方形篮体1111上，另一端固定在连接件1112上。可以理解地，支撑件1113和方形篮体1111与连接件1112之间形成三角形稳定结构，以达到稳定效果。本实施例中，连接件1112与方形篮体1111 一侧边一体成型，在具体实施过程中，还可以采用紧固件(如螺栓)或焊接方式将连接件1112与方形篮体1111固定。
[0039]实施例2
[0040]图5示出本实施例中的蚀刻机。蚀刻机包括机台200、设置在机台200上的用于容纳反应液的反应槽300、设置在机台200上的支架400和放置在支架400上的摆动装置100，摆动机构120的载物机构110部分进入反应槽300。具体地，支架400包括平行相对设置在机台200上的两个支撑臂410、以及设置在支撑臂410上的平行间隔设置的支撑杆420 ;摆动机构120和动力机构130放置在至少两个支撑杆420上。
[0041]安装过程中，通过焊接方式将支架400安装在蚀刻机的机台200上，再将摆动装置100放置在反应槽300上方的支架400上。可以理解地，摆动装置100的箱体140放置在两个支撑杆420上，第三连杆1215透过两个支撑杆420之间的间隙与载物机构110相连，载物机构110的一部分伸入反应槽300内。工作时，可根据生产工艺的需要，控制摆动装置100中调速电机131的转速，以调节摆动频率；也可通过更换不同长度的第一连杆1213，以调节控制幅度。
[0042]可以理解地，该蚀刻机工作前，在载物篮111上放置卡塞114，并在卡塞114上间隔放置若干晶圆，将装载有晶圆的载物篮111浸没在反应槽300的反应液中；然后控制调速电机131转动，以带动与调速电机131相连的曲柄滑块机构121进行上下往复运动，从而实现带动载物篮111上下摆动目的。
[0043]该蚀刻机采用自动化摆动方式取代传统人工摆动方式，可有效降低人工成本，并提高产品生产效率和质量，且可有效避免人工摆动过程中存在的安全隐患。
[0044]本实用新型是通过几个具体实施例进行说明的，本领域技术人员应当明白，在不脱离本实用新型范围的情况下，还可以对本实用新型进行各种变换和等同替代。另外，针对特定情形或具体情况，可以对本实用新型做各种修改，而不脱离本实用新型的范围。因此，本实用新型不局限于所公开的具体实施例，而应当包括落入本实用新型权利要求范围内的全部实施方式。
【主权项】
1.一种摆动装置，所述摆动装置应用于蚀刻机，其特征在于，包括:载物机构(110)、摆动机构(120)和动力机构(130);所述摆动机构(120)与所述载物机构(110)相连；所述动力机构(130)与所述摆动机构(120)相连，用于控制所述摆动机构(120)带动所述载物机构(110)上下往复运动。2.根据权利要求1所述的摆动装置，其特征在于，所述摆动机构(120)包括曲柄滑块机构(121);所述曲柄滑块机构(121)包括导轨(1211)、滑块(1212)、第一连杆(1213)、第二连杆(1214)和第三连杆(1215)； 所述导轨(1211)沿上下方向设置； 所述滑块(1212)与所述第三连杆(1215)的一端相连，并与所述导轨(1211)相配合；所述第一连杆(1213)的一端与所述动力机构(130)固定相连，另一端与所述第二连杆(1214)的一端可转动相连； 所述第二连杆(1214)的另一端与所述第三连杆(1215)的一端可转动相连； 所述第三连杆(1215)的另一端与所述载物机构(110)固定相连。3.根据权利要求2所述的摆动装置，其特征在于，所述摆动装置还包括箱体(140);所述动力机构(130)和所述曲柄滑块机构(121)设置在所述箱体(140)内；所述导轨(1211)固定在所述箱体(140)内侧；所述第三连杆(1215)与所述载物机构(110)相连的一端伸出所述箱体(140)。4.根据权利要求3所述的摆动装置，其特征在于，所述箱体(140)外设有耐腐蚀保护层。5.根据权利要求2所述的摆动装置，其特征在于，所述载物机构(110)包括载物篮(111);所述载物篮(111)包括方形篮体(1111)、连接件(1112)和支撑件(1113); 所述连接件(1112)连接所述方形篮体(1111)和所述第三连杆(1215); 所述支撑件(1113) —端固定在所述方形篮体(1111)上，另一端固定在所述连接件(1112)上。6.根据权利要求5所述的摆动装置，其特征在于，所述方形篮体(1111)、连接件(1112)和支撑件(1113)形成三角形稳定结构。7.根据权利要求5所述的摆动装置，其特征在于，所述载物篮(111)外设有耐腐蚀保护层。8.根据权利要求2所述的摆动装置，其特征在于，所述第一连杆(1213)和所述第二连杆(1214)通过第一销钉(1216)相连并可绕所述第一销钉(1216)转动，所述第二连杆(1214)和所述第三连杆(1215)通过第二销钉(1217)相连并可绕所述第二销钉(1217)转动。9.一种蚀刻机，包括机台(200)和设置在机台(200)上的反应槽(300);其特征在于，还包括支架(400)和权利要求1-8任一项所述的摆动装置(100);所述支架(400)设置在所述机台(200)上；所述摆动装置(100)放置在所述支架(400)上，且所述载物机构(110)部分进入所述反应槽(300)内。10.根据权利要求9所述的蚀刻机，其特征在于，所述支架(400)包括两个支撑臂(410)和至少两个支撑杆(420);所述两个支撑臂(410)平行相对设置在所述机台(200)上；所述至少两个支撑杆(420)平行间隔设置在所述支撑臂(410)上；所述摆动机构(120)和动力机构(130)放置在所述至少两个支撑杆(420)上。
【专利摘要】本实用新型公开了一种摆动装置及蚀刻机。该摆动装置包括载物机构、摆动机构和动力机构；摆动机构与载物机构相连；动力机构与摆动机构相连，用于控制摆动机构带动载物机构上下往复运动。该蚀刻机包括机台、设置在机台上的反应槽，还包括支架和摆动装置，支架设置在机台上，摆动装置放置在支架上，且位于反应槽上方。该摆动装置及蚀刻机可实现自动化摆动，提高产品生产效率和质量，降低人工成本，且可有效避免人工摆动过程中存在的安全隐患。
【IPC分类】C23F1/08
【公开号】CN205011839
【申请号】CN201520667539
【发明人】郭江涛, 冯子汉, 陈王龙, 尹达
【申请人】宁波比亚迪半导体有限公司
【公开日】2016年2月3日
【申请日】2015年8月31日