真空镀膜机冷却装置的制造方法

文档序号:10791580阅读:193来源:国知局
真空镀膜机冷却装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种真空镀膜机冷却装置,包括真空镀膜仓,真空镀膜仓的两侧均具有冷却单元,冷却单元包括多个间隔设置的外部管壳和多个间隔设置的内部管壳,外部管壳位于真空镀膜仓的外侧壁上,内部管壳位于真空镀膜仓的内侧壁上,外部管壳和内部管壳交错排部,相邻的内部管壳和外部管壳之间具有重叠区域,位于内部管壳和外部管壳重叠位置处的管壁上具有多个通孔,通孔使内部管壳和外部管壳之间贯通;位于最下部的外部管壳上具有进水口,位于最上部的外部管壳上具有出水口。本实用新型的有益效果是冷却效果好,水流利用率高。
【专利说明】
真空镀膜机冷却装置
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及一种真空镀膜机冷却装置。
【背景技术】
[0002]真空镀膜机在工作的时候会产生大量的热量,需要及时有效的进行冷却,以确保其正常工作,目前常见的冷却装置为在真空镀膜机腔体外侧表面焊接圆管,在圆管内通冷却水来冷却,这种结构,冷却水不与真空镀膜机腔体直接接触,冷却速度慢,冷却不及时,很容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏。

【发明内容】

[0003]本实用新型要解决的问题是提供一种真空镀膜机冷却装置,克服了现有技术中的不足。
[0004]为解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案是:真空镀膜机冷却装置,包括真空镀膜仓,所述真空镀膜仓的两侧均具有冷却单元,所述冷却单元包括多个间隔设置的外部管壳和多个间隔设置的内部管壳,所述外部管壳位于所述真空镀膜仓的外侧壁上,所述内部管壳位于所述真空镀膜仓的内侧壁上,所述外部管壳和所述内部管壳交错排部,相邻的所述内部管壳和所述外部管壳之间具有重叠区域,位于所述内部管壳和所述外部管壳重叠位置处的管壁上具有多个通孔,所述通孔使所述内部管壳和所述外部管壳之间贯通;
[0005]位于最下部的所述外部管壳上具有进水口,位于最上部的所述外部管壳上具有出水口。
[0006]进一步,所述外部管壳内具有扰流板。
[0007]本实用新型具有的优点和积极效果是:由于采用上述技术方案,冷却效果好,水流利用率高。
【附图说明】
[0008]图1是本实用新型的整体结构内部剖开示意图;
[0009]图中:1-真空镀膜仓;2-外部管壳;3-内部管壳;4-通孔;5-进水口;6_出水口; 7_扰流板。
【具体实施方式】
[0010]如图1所示,本实用新型提供一种真空镀膜机冷却装置,包括真空镀膜仓1,真空镀膜仓I的两侧均具有冷却单元,冷却单元包括多个间隔设置的外部管壳2和多个间隔设置的内部管壳3,外部管壳2位于真空镀膜仓I的外侧壁上,内部管壳3位于真空镀膜仓I的内侧壁上,外部管壳2和内部管壳3交错排部,相邻的内部管壳3和外部管壳2之间具有重叠区域,位于内部管壳3和外部管壳2重叠位置处的管壁上具有多个通孔4,通孔4使内部管壳3和外部管壳2之间贯通;
[0011]位于最下部的外部管壳2上具有进水口5,位于最上部的外部管壳2上具有出水口
6ο
[0012]水流从进水口6流入最下部的外部管壳2中,再穿过通孔4流入内部管壳3中,水流在内外部管壳2、3之间穿梭流动,通孔4形成了对水流的扰动,使原本位于水流中层的水分子也有机会接触到仓壁,加强了水流与仓壁之间的热量交换速度,使冷却效果更好,水流利用率更高。
[0013]外部管壳2内具有扰流板7,扰流板7的设置使外部管壳2中的水流增强了扰动,加快传热速度。
[0014]以上对本实用新型的实施例进行了详细说明,但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例,不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等,均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
【主权项】
1.真空镀膜机冷却装置,包括真空镀膜仓,其特征在于:所述真空镀膜仓的两侧均具有冷却单元,所述冷却单元包括多个间隔设置的外部管壳和多个间隔设置的内部管壳,所述外部管壳位于所述真空镀膜仓的外侧壁上,所述内部管壳位于所述真空镀膜仓的内侧壁上,所述外部管壳和所述内部管壳交错排部,相邻的所述内部管壳和所述外部管壳之间具有重叠区域,位于所述内部管壳和所述外部管壳重叠位置处的管壁上具有多个通孔,所述通孔使所述内部管壳和所述外部管壳之间贯通; 位于最下部的所述外部管壳上具有进水口,位于最上部的所述外部管壳上具有出水□ O2.根据权利要求1所述的真空镀膜机冷却装置,其特征在于:所述外部管壳内具有扰流板。
【文档编号】C23C14/00GK205473951SQ201620075741
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年1月27日
【发明人】李卫东, 孙婧, 同建辉
【申请人】天津众伟科技有限公司
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