专利名称：超净高纯级盐酸提取装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种超净高纯级盐酸提取装置，属于电子化学品生产设备技术领 域。
背景技术：
盐酸，学名氢氯酸，是氯化氢(化学式HCl)的水溶液，是一元酸。盐酸是一种强 酸，浓盐酸具有极强的挥发性，因此盛有浓盐酸的容器打开后能在上方看见酸雾，那是氯化 氢挥发后与空气中的水蒸气结合产生的盐酸小液滴。盐酸是一种常见的化学品，工业级中 HCl的含量36%，为无色或微黄色易挥发性液体，有刺激性气味。在电子化学品领域，作为酸性腐蚀剂使用。用于电子化学领域的化学产品，要求达 到MOS (金属-氧化物-半导体)标准，即金属杂质含量小于lOOppb，控制1微米粒径粒子 达到SEMI C1C2标准，适合中小规模集成电路及TFT-IXD等微电子领域的加工工艺。而工 业级盐酸中含有较多的颗粒型固体和挥发性小的杂物，不能满足微电子领域使用要求。
发明内容本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种能去除盐酸中颗粒型固体和挥发 性小的杂物、能满足微电子领域使用要求的超净高纯级盐酸提取装置。本实用新型的目的是这样实现的一种超净高纯级盐酸提取装置，其特征在于 它包括储槽、稀释槽、精馏塔、冷凝器、吸收瓶、混合槽、过滤器和成品槽；所述储槽出口与稀释槽进口相连，所述稀释槽出口与精馏塔进口相连，所述精馏 塔顶端出口与冷凝器进口相连接所述冷凝器出口与吸收瓶相连接，所述吸收瓶出口与混合 槽进口相连接，所述混合槽出口与过滤器进口相连接，所述过滤器出口与成品槽相连接。所述精馏塔为石英精馏塔。所述精馏塔为内热电式。所述混合槽内衬聚四氟乙烯。所述储槽、稀释槽、吸收瓶和成品槽为塑料或玻璃制品。本实用新型的有益效果是本实用新型超净高纯级盐酸提取装置，通过蒸馏提纯，能去除盐酸中颗粒型固体 和挥发性小的杂物，精馏后的产品经吸收、混合、过来后，制成超净高纯级盐酸，其能满足微 电子领域使用要求。
图1为本实用新型超净高纯级盐酸提取装置的结构示意图。其中储槽1、稀释槽2、精馏塔3、冷凝器4、吸收瓶5、混合槽6、过滤器7、成品槽8。
具体实施方式
[0015]参见图1，本实用新型涉及的一种超净高纯级盐酸提取装置，主要由储槽1、稀释 槽2、精馏塔3、冷凝器4、吸收瓶5、混合槽6、过滤器7和成品槽8组成；所述储槽1出口与稀释槽2进口相连，所述稀释槽2出口与精馏塔3进口相连，所 述精馏塔3顶端出口与冷凝器4进口相连接，所述冷凝器4出口与吸收瓶5相连接，所述吸 收瓶5出口与混合槽6进口相连接，所述混合槽6出口与过滤器7进口相连接，所述过滤器 7出口与成品槽8相连接；所述精馏塔3为石英精馏塔，所述精馏塔3为内热电式。所述混合槽6内衬聚四氟乙烯。所述储槽1、稀释槽2、吸收瓶5和成品槽8为塑料或玻璃制品。使用时，将储槽1中的工业级盐酸用负压注入稀释槽2中，稀释至35 %，然后，然后 进入精馏塔中精馏提纯，高纯的水蒸气及氯化氢气体经冷凝器冷却后，氯化氢气体在吸收 瓶5中被水吸收后成盐酸，控制吸收瓶5中的盐酸含量，保持密度计不小于1. 18g/ml，并将 吸收瓶5中的盐酸抽入混合槽6中，充分混合后，过滤包装成成品。
权利要求一种超净高纯级盐酸提取装置，其特征在于它包括储槽(1)、稀释槽(2)、精馏塔(3)、冷凝器(4)、吸收瓶(5)、混合槽(6)、过滤器(7)和成品槽(8)；所述储槽(1)出口与稀释槽(2)进口相连，所述稀释槽(2)出口与精馏塔(3)进口相连，所述精馏塔(3)顶端出口与冷凝器(4)进口相连接所述冷凝器4出口与吸收瓶(5)相连接，所述吸收瓶(5)出口与混合槽(6)进口相连接，所述混合槽(6)出口与过滤器(7)进口相连接，所述过滤器(7)出口与成品槽(8)相连接。
2.根据权利要求1所述的一种超净高纯级盐酸提取装置，其特征在于所述精馏塔(3) 为石英精馏塔。
3.根据权利要求1或2所述的一种超净高纯级盐酸提取装置，其特征在于所述精馏 塔(3)为内热电式。
4.根据权利要求1或2所述的一种超净高纯级盐酸提取装置，其特征在于所述混合 槽(6)内衬聚四氟乙烯。
5.根据权利要求1或2所述的一种超净高纯级盐酸提取装置，其特征在于所述储槽 (1)、稀释槽(2)、吸收瓶(5)和成品槽(8)为塑料或玻璃制品。
专利摘要本实用新型涉及一种超净高纯级盐酸提取装置，其特征在于它包括储槽(1)、稀释槽(2)、精馏塔(3)、冷凝器(4)、吸收瓶(5)、混合槽(6)、过滤器(7)和成品槽(8)；所述储槽(1)出口与稀释槽(2)进口相连，所述稀释槽(2)出口与精馏塔(3)进口相连，所述精馏塔(3)顶端出口与冷凝器(4)进口相连接所述冷凝器4出口与吸收瓶(5)相连接，所述吸收瓶(5)出口与混合槽(6)进口相连接，所述混合槽(6)出口与过滤器(7)进口相连接，所述过滤器(7)出口与成品槽(8)相连接。本实用新型超净高纯级盐酸提取装置，通过蒸馏提纯，能去除盐酸中颗粒型固体和挥发性小的杂物，精馏后的产品经吸收、混合、过来后，制成超净高纯级盐酸，其能满足微电子领域使用要求。
文档编号C01B7/07GK201770474SQ20102025088
公开日2011年3月23日 申请日期2010年7月1日 优先权日2010年7月1日
发明者戈士勇 申请人:江阴市润玛电子材料有限公司