专利名称：一种氮化硅反应槽的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种反应槽，尤其涉及一种用于合成氮化硅的反应槽。
技术背景合成氮化硅需要将原料放在反应釜里的反应槽上，现有反应槽采用不锈钢材料，反应槽的底部为平面。由于反应釜为圆筒状，即其横截面为圆形，使现有反应槽很难在反应釜上放稳，而且在合成氮化硅时，反应釜里温度高达1200°C，不锈钢反应槽容易变形，使用寿命也短。
发明内容本实用新型要解决的技术问题提供一种在反应釜可以放置牢靠，使用寿命长，不易变形的反应槽。本实用新型的技术解决方案是一种氮化硅反应槽，包括半圆柱状的槽体，在所述槽体的顶面设有上端开放的半圆柱状的凹槽。所述槽体的材料为石墨。本实用新型的技术效果是本实用新型反应槽横截面为半圆形，与反应釜的横截面相适配，这样反应槽在反应釜可以放置牢靠。由于本实用新型反应槽材料采用石墨，石墨具有耐高温，不易变形，使用寿命长的特点。
I、图I为本实用新型反应槽主视图。2、图2为本实用新型反应槽左视图。3、图3为本实用新型反应槽俯视图。
具体实施方式
如图I至3所示，本实用新型一种氮化硅反应槽，包括半圆柱状的槽体1，使槽体I的外部形状与反应釜底部的形状相适配。在所述槽体I的顶面设有上端开放的半圆柱状的凹槽2，凹槽2用来盛放反应原料，所述槽体I的材料为石墨。本实用新型未详细说明的内容均为现有技术，本领域技术人员可以从本实施例及现有技术获得启发，进行变形得到其它实施例。因此，本实用新型的保护范围应该根据权利要求的保护范围来确定。
权利要求1.一种氮化硅反应槽，其特征在于包括半圆柱状的槽体(I)，在所述槽体(I)的顶面设有上端开放的半圆柱状的凹槽(2)。
2.根据权利要求I所述一种氮化硅反应槽，其特征在于所述槽体(I)的材料为石墨。
专利摘要本实用新型公开了一种氮化硅反应槽，包括半圆柱状的槽体，在所述槽体的顶面设有上端开放的半圆柱状的凹槽；所述槽体的材料为石墨。本实用新型一种氮化硅反应槽在反应釜可以放置牢靠，而且具有耐高温，不容易变形，使用寿命长的特点。
文档编号C01B21/068GK202358918SQ20112051473
公开日2012年8月1日 申请日期2011年12月2日 优先权日2011年12月2日
发明者孙洪亮, 李金富, 郭大为, 陈晓光 申请人:烟台同立高科工贸有限公司