技术总结
本发明公开了一种单晶炉取棒辅助装置，包括外环型圈、内环型圈及单晶吊篮，其中外环型圈和内环型圈分别由两个半圆环构成，外环型圈与内环型圈之间通过数个联接杆联接；构成外环型圈的两个半圆环之间通过螺栓连接；外环型圈的下端沿圆周方向设有凹槽；内环型圈的上端内侧沿圆周方向设有开槽；单晶吊篮由多个单晶套环和多根吊装带组成，多个单晶套环通过多根吊装带相互连接，纵向排列；位于最上方的单晶套环设置在所述内环型圈的开槽上，位于最下方的单晶套环为可伸缩圈。通过装置取单晶棒，单晶棒直接落入装置内可以避免单晶落入炉对石墨埚或CFC埚等部件的损伤，同时可以减少操作者取棒的劳动强度，防止取棒过程可能带来的人员伤害和产品损伤。
技术研发人员：姜舰;刘大力;王雅楠;崔彬;戴小林;吴志强;索思卓;白鸽玲;赵伟
受保护的技术使用者：有研半导体材料有限公司
文档号码：201510819048
技术研发日：2015.11.23
技术公布日：2017.05.31