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使用提纯装置生产合成石英玻璃的方法与流程
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来源:国知局
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使用提纯装置生产合成石英玻璃的方法与流程
技术特征:
技术总结
本发明涉及使用特殊清洁装置生产合成石英玻璃的方法、包含特殊提纯装置的用于生产合成石英玻璃的装置、多孔二氧化硅颗粒的散积物用于提纯用于生产合成石英玻璃的原料蒸气的用途,以及通过本发明的方法获得的合成石英玻璃。
技术研发人员:
H.劳达恩;K-U.巴德克;M.特罗默
受保护的技术使用者:
贺利氏石英玻璃股份有限两合公司
技术研发日:
2015.12.15
技术公布日:
2017.10.13
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