一种硅片线切割废砂浆中去除硅和二氧化硅装置的制作方法

文档序号:12338886阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅片线切割废砂浆中去除硅和二氧化硅装置,包括搅拌机、带式过滤机一、带式过滤机二、水洗池以及反应池,其特征在于:所述搅拌机与带式过滤机一的入口相连接,带式过滤机一的上出口与与水洗池相连接,水洗池底部与反应池相连接,反应池出口与带式过滤机二的入口相连接。

2.如权利要求1所述的硅片线切割废砂浆中去除硅和二氧化硅装置,其特征在于所述反应池中设有搅拌装置,工作时投加NaOH。

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