一种用于单晶硅或多晶硅酸性制绒的辅助化学组合物及其应用的制作方法

文档序号:12099908阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于单晶硅或多晶硅酸性制绒的辅助化学组合物,其特征在于:至少包括:多糖或其衍生物,多元醇或其衍生物。

2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅或多晶硅酸性制绒的辅助化学组合物,其特征在于:包括0.05-75份多糖或其衍生物,0.0001-25份多元醇或其衍生物,以重量份计。

3.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅或多晶硅酸性制绒的辅助化学组合物,其特征在于:包括重量百分数为0.1-35份多糖或其衍生物,0.01-10份多元醇或其衍生物,以重量份计。

4.根据权利要求1至5所述的一种用于单晶硅或多晶硅酸性制绒的辅助化学组合物,其特征在于:所述多糖为重复单元通过糖苷键连接在一起形成的高分子碳水化合物;所述多糖至少包括直链淀粉、支链淀粉、果胶、糖原、琼脂、海藻酸钠、卡拉胶、甲壳素、β-葡聚糖、糊精、羧甲基纤维素、羧乙基纤维素、羟基丙基纤维素、甲基纤维素、核糖、木糖、阿拉伯糖、果糖、半乳糖中的一种或几种;所述多糖的分子量为20000以上,优选20,000到1,000,000之间。

5.根据权利要求1至5所述的一种用于单晶硅或多晶硅酸性制绒的辅助化学组合物,其特征在于:所述多元醇至少包括二元到六元醇的一种或几种的组合;优选地,多元醇包括乙二醇、1,2-丙二醇、1,3-丙二醇、1,4-丁二醇、1,3-丁二醇、新戊二醇、戊二醇、乙二醇,1,8-辛二醇、1,4-丁炔二醇、双酚A,一缩二乙二醇、二缩三乙二醇、一缩二丙二醇、二缩三丙二醇、丙二醇、2-乙基-1,4-丁二醇、1,5-戊二醇、2-甲基-1,5-戊二醇、1,6-己二醇、二羟甲基环己烷、新戊二醇、三羟甲基乙烷、三羟甲基丁烷、三羟甲基丙烷、甘油、季戊四醇、双三羟甲基丙烷、赤藓醇、木糖醇、甘露醇、丁氧基丙醇、半乳糖醇和山梨糖醇;所述多元醇的衍生物为多元醇的烷氧化物、聚亚烷基二醇和环醚的加聚物;优选地,多元醇的衍生物包括乙氧化、丙氧化的多元醇和聚酯多元醇,所述聚亚烷基二醇和环醚的加聚物包括聚四氢呋喃;所述聚亚烷基二醇包括聚乙二醇、聚丙二醇和聚表氯醇。

6.权利要求1至7任一项所述的辅助化学组合物在单晶硅或多晶硅制绒中的应用。

7.如权利要求8所述的应用,其特征在于:将辅助化学组合物加入氢氟酸、硝酸的混合溶液中,得酸性制绒液;再将单晶硅片或多晶硅片浸入到酸性制绒液中进行制绒。

8.如权利要求8所述的应用,其特征在于:所述辅助化学组合物与氢氟酸、硝酸的混合溶液的质量比为(0.05-15):100;所述氢氟酸、硝酸的混合溶液中,氢氟酸的质量百分比浓度为5-30%,硝酸的质量百分比浓度为25-75%;制绒温度为5-30℃,制绒时间为60-300S。

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