一种具有六棱柱状氮化铝晶须的制备方法与流程

文档序号:12545541阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及一种具有六棱柱状氮化铝晶须的制备方法,所述具有六棱柱状氮化铝晶须的制备方法,采用物理气相传输法,通过中频感应加热方式将原料AlN加热成气相,通过控制生长温度为1700‑1750℃,控制生长压力为200‑300 Torr,结晶形成六棱柱状的AlN晶须。本发明在较低的温度下,通过控制生长速率获得六棱柱AlN晶须。

技术研发人员:刘学超;王华杰;孔海宽;忻隽;高攀;施尔畏
受保护的技术使用者:中国科学院上海硅酸盐研究所
文档号码:201611237098
技术研发日:2016.12.28
技术公布日:2017.06.06

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