一种用于摇摆式晶料合成炉的平底双凸轮摇摆机构的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及用于晶料合成炉的一种新型的平底双凸轮摇摆机构，属于晶体生长技术领域。
【背景技术】
[0002]在进行晶体生长时，首先需要把生长晶体的晶料进行合成，其方法是把晶料装进玻璃坩埚中密封后进行熔化，使晶料充分混合均匀并形成晶体生长时所需要的成分。晶体生长的质量与晶料合成的均匀程度密切相关。一般来说，混合质量越好、成分越均匀，随后晶体生长的质量也会越好。为使晶料合成均匀，通常把装有晶料的玻璃坩埚放置在一个摇摆炉内反复摇摆，这一过程往往需要8到12小时。通常合成炉采用曲柄摇杆机构来实现摇摆(如YBL180)，使用中发现这种摇摆机构在摇摆的过程中由于合成炉比较重，常常导致较大的冲击和振动，有时会把玻璃坩埚振碎。另外，摇摆机构在使用中磨损较大，也会带来额外的冲击。
【附图说明】
图1是摇摆式晶料合成炉的平底双凸轮摇摆机构的示意图；
图中:1、传动轴2、机架 3、主动锥齿轮4、凸轮5、从动锥齿轮6、凸轮轴 7、主动锥齿轮8、凸轮轴9、从动锥齿轮10、凸轮11、凸轮平底12、凸轮平底13、合成炉
【发明内容】
[0003]本发明的目的是提供一种能克服上述缺陷、使用时运行平稳、没有冲击、使用可靠、结构简单、维修方便的新的摇摆装置。
[0004]其技术方案为:一种新型的平底双凸轮摇摆机构，其特征在于:包括机架，安装在机架上的传动轴，其上安装两个锥齿轮；安装在机架上的两根凸轮轴分别安装两个凸轮和两个锥齿轮；传动轴上的两个锥齿轮分别于两个凸轮轴上的锥齿轮啮合；两个凸轮平底以合成炉的转轴为中心分别对称地安装在合成炉的下底面；两个凸轮分别位于两凸轮平底的下面并分别与两凸轮平底接触构成凸轮副。
[0005]所述的用于摇摆式晶料合成炉的平底双凸轮摇摆机构，其凸轮的轮廓形状特征具有相同的近停角和远停角(均为30° )、具有相同的升程角和回程角(均为150° )、升程角和回程角对应的位移曲线均采用等加速等减速位移曲线；所述的用于摇摆式晶料合成炉的平底双凸轮摇摆机构，其两个凸轮的安装相位角保持180°。
[0006]本发明与现有技术相比，其优点是:
1、采用的是平底摇摆凸轮机构，加工方便，便于维修与更换。
[0007]2、采用一对平底摇摆凸轮机构对称安装，不需要形锁合，只需靠炉体自身的重力实现锁合，结构简单，可靠。
[0008]3、由于凸轮采用了相同的近停角和远停角以及用等加速等减速位移曲线，这不仅基本消除了摇摆到极限位置时的冲击和惯性，且由于存在一停歇期(30°的转角时间)，可以加大炉料的均匀混合以及降低炉料对镀膜的冲刷作用。
【主权项】
1.一种用于摇摆式晶料合成炉的平底双凸轮摇摆机构，其特征在于:包括机架(2)，安装在机架上的传动轴(I )，其上安装两个锥齿轮(3)和(7);安装在机架上的两根凸轮轴(6)和(8)，分别安装凸轮(4)和(10)以及锥齿轮(5)和(9);传动轴(I)上的锥齿轮(3)和(7)分别与两个凸轮轴上的锥齿轮(4)和(10)啮合；两个凸轮平底(11)和(12)以合成炉的转轴为中心分别对称地安装在合成炉的下底面；两个凸轮(4)和(10)分别位于两凸轮平底的下面并分别与凸轮平底(12)和(11)接触构成凸轮副。
2.如权利要求1所述的用于摇摆式晶料合成炉的平底双凸轮摇摆机构，其特征在于:凸轮的轮廓形状特征具有相同的近停角和远停角(均为30° )、具有相同的升程角和回程角(均为150° )、升程角和回程角对应的位移曲线均采用等加速等减速位移曲线。
3.如权利要求1所述的用于摇摆式晶料合成炉的平底双凸轮摇摆机构，其特征在于:其两个凸轮的安装相位角保持180°。
【专利摘要】一种用于摇摆式晶料合成炉的平底双凸轮摇摆机构，属于晶体生长技术领域。主要用来消除机械式摇摆合成炉在使用过程中的冲击与振动缺陷。本发明采用平底双摇摆凸轮机构，分别对称地安装在摇摆合成炉的转轴两侧，通过使两凸轮的安装相位角保持180°，从而推动摇摆合成炉的往复摆动，主要用于熔化态原料的混合均匀。
【IPC分类】C30B30-06
【公开号】CN104695024
【申请号】CN201410782168
【发明人】翟慎秋, 王珮, 滕东晓, 其他发明人请求不公开姓名
【申请人】山东理工大学
【公开日】2015年6月10日
【申请日】2014年12月18日