硅棒粘棒机的制作方法

文档序号:8495247阅读:450来源:国知局
硅棒粘棒机的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种硅棒粘棒机,属于多晶硅生产技术领域。
【背景技术】
[0002]目前,目前国内生产多晶硅的工艺大部分都是常规三氯氢硅氢还原法,即改良西门子法,改良西门子法或其他类似方法生产大直径多晶硅的主要设备是多晶硅还原炉,多晶硅还原炉在细长的硅芯上通上电源,使硅芯加热发红,直至表面温度达到1100摄氏度,通入高纯的三氯氢硅和氢气,使其在高温下发生氢还原反应,使三氯氢硅中的硅分子堆积在硅芯上,使其的直径不断地增大,通常,硅芯的直径在7-10毫米,可以是圆形也可以是方型,或是其他形状,最终通过氢还原反应使直径不断地增大到120-200毫米,生产出高纯太阳能级6N或电子级IlN的多晶硅。
[0003]现硅芯的制备方法有二种,传统的方法是用CZ法(区熔提拉法),即把直径在20-50毫米的硅棒在充满惰性气体的真空炉膛内用高频感应加热,使其顶部局部熔化,从上部放入I根直径在5-10毫米的籽晶,然后慢慢向上提拉,使其成为直径在7-10毫米,长度在1900-3000毫米之间的细长硅芯,其缺点是提拉速度慢,一般为8-12毫米/分钟,拉制I根2米的硅芯需要4小时,生产效率低,电力消耗大,设备投资大。
[0004]另一种是用金刚石工具切割法,美国Diamond Wire Technology公司研制出采用金刚石线的数控多晶硅细长硅芯多线切割机床,用于硅芯的制备。通过利用电镀上金刚石微粒的细钢丝线在被加工工件上高速地往复运动或单向移动,将硅棒压在该机床用金刚石线交叉组成的方形线网上,从而将该硅棒切割成细长的硅芯。其优点十分明显,10-12小时可以切割出200根左右2米长的7X7或8X8毫米的方形硅芯,电力消耗小,加工效率高。
[0005]硅芯切割时需要将硅棒悬挂至切割机上,硅棒悬挂前需要通过粘合胶将硅棒与晶座连接在一起,由于硅棒和晶座重量很重,因此整个粘棒过程操作十分不便,并且无法有效保证硅棒与晶座的同轴度,从而影响最终产品的质量和成材率。

【发明内容】

[0006]本发明的目的在于克服上述不足,提供一种硅棒粘棒机,它大大方便了硅棒的粘棒过程,保证了硅棒与晶座的同轴度,从而提高了最终产品的质量和成材率。
[0007]本发明的目的是这样实现的:一种硅棒粘棒机,它包括工作平台,所述工作平台上设置有晶座固定座,所述晶座固定座后方设置有前后两个娃棒固定座,所述前后两个娃棒固定座之间设置有两个硅棒支撑垫。
[0008]所述晶座固定座包括底座,所述底座上设置有左右两条第一滑轨,所述左右两条第一滑轨上设置有滑座,所述滑座上设置有第一支座和第二支座,所述第一支座位于第二支座前方,所述第一支座和第二支座顶部开设有弧形支撑槽,所述第一支座上设置有压块,所述第一支座前侧设置有固定支架,所述固定支架上设置有第一调节螺栓,所述左右两条第一滑轨之间设置有第一螺杆支座,所述第一螺杆支座上穿装有第一连接螺杆,所述第一连接螺杆前端设置有第一手轮,所述第一连接螺杆后端通过螺纹与滑座底部相连接。
[0009]所述第一滑轨前端设置有挡板。
[0010]所述硅棒固定座包括底板,所述底板上设置有竖直支撑板,所述竖直支撑板前侧设置有上下两条第二滑轨,所述上下两条第二滑轨上左右对称设置有两个移动夹板,所述两个移动夹板内侧开设有弧形卡槽,所述上下两条第二滑轨右侧设置有第二螺杆支座,所述第二螺杆支座上穿装有第二连接螺杆,所述第二连接螺杆左段设置有两段反向螺纹,所述第二连接螺杆通过该两段反向螺纹分别与左右两个移动夹板相连接,所述第二连接螺杆右端设置有第二手轮,所述移动夹板后侧开设有上下两个滑槽,所述上下两个滑槽分别位于弧形卡槽的上下两侧,所述上下两个滑槽内设置有夹块,所述夹块外侧设置有固定块,所述固定块上设置有第二调节螺栓,所述夹块上沿水平方向开设有限位孔,所述限位孔内设置有限位螺栓。
[0011]所述硅棒支撑垫包括上下两个弧形支撑垫,所述上下两个弧形支撑垫相对布置,所述上下两个弧形支撑垫之间设置有水平支撑垫。
[0012]与现有技术相比,本发明具有以下有益效果:
本发明一种硅棒粘棒机,它大大方便了硅棒的粘棒过程,保证了硅棒与晶座的同轴度,从而提尚了最终广品的质量和成材率。
【附图说明】
[0013]图1为本发明一种硅棒粘棒机的结构示意图。
[0014]图2为图1中硅棒固定座的局部示意图。
[0015]其中:
工作平台I 晶座固定座2 底座2.1 滑座2.2
第一滑轨2.3 挡板2.4 第一支座2.5 第二支座2.6 压块2.7 固定支架2.8 第一调节螺栓2.9 第一手轮2.10 第一螺杆支座2.11 第一连接螺杆2.12 娃棒固定座3 底板3.1 竖直支撑板3.2 第二螺杆支座3.3 第二滑轨3.4 第二连接螺杆3.5 第二手轮3.6 移动夹板3.7 滑槽3.8 固定块3.9 夹块3.10 限位孔3.11 限位螺栓3.12 第二调节螺栓3.13 娃棒支撑垫4 弧形支撑垫4.1 水平支撑垫4.2 晶座5 娃棒6。
【具体实施方式】
[0016]参见图1、图2,本发明一种硅棒粘棒机,它包括工作平台1,所述工作平台I上设置有晶座固定座2,所述晶座固定座2后方设置有前后两个娃棒固定座3,所述前后两个娃棒固定座3之间设置有两个硅棒支撑垫4 ;
所述晶座固定座2包括底座2.1,所述底座2.1上设置有左右两条第一滑轨2.3,所述左右两条第一滑轨2.3上设置有滑座2.2,所述滑座2.2上设置有第一支座2.5和第二支座2.6,所述第一支座2.5位于第二支座2.6前方,所述第一支座2.5和第二支座2.6顶部开设有弧形支撑槽,所述第一支座2.5上设置有压块2.7,所述第一支座2.5前侧设置有固定支架2.8,所述固定支架2.8上设置有第一调节螺栓2.9,所述左右两条第一滑轨2.3之间设置有第一螺杆支座2.11,所述第一螺杆支座2.11上穿装有第一连接螺杆2.12,所述第一连接螺杆2.12前端设置有第一手轮2.10,所述第一连接螺杆2.12后端通过螺纹与滑座
2.2底部相连接,所述第一滑轨2.3前端设置有挡板2.4 ;
所述硅棒固定座3包括底板3.1,所述底板3.1上设置有竖直支撑板3.2,所述竖直支撑板3.2前侧设置有上下两条第二滑轨3.4,所述上下两条第二滑轨3.4上左右对称设置有两个移动夹板3.7,所述两个移动夹板3.7内侧开设有弧形卡槽,所述上下两条第二滑轨
3.4右侧设置有第二螺杆支座3.3,所述第二螺杆支座3.3上穿装有第二连接螺杆3.5,所述第二连接螺杆3.5左段设置有两段反向螺纹,所述第二连接螺杆3.5通过该两段反向螺纹分别与左右两个移动夹板3.7相连接,所述第二连接螺杆3.5右端设置有第二手轮3.6,通过第二手轮3.6转动第二连接螺纹3.5可以实现左右两个移动夹板3.7同时向内或向外移动,所述移动夹板3.7后侧开设有上下两个滑槽3.8,所述上下两个滑槽3.8分别位于弧形卡槽的上下两侧,所述上下两个滑槽3.8内设置有夹块3.10,所述夹块3.10外侧设置有固定块3.9,所述固定块3.9上设置有第二调节螺栓3.13,所述夹块3.10上沿水平方向开设有限位孔3.11,所述限位孔3.11内设置有限位螺栓3.12 ; 所述硅棒支撑垫4包括上下两个弧形支撑垫4.1,所述上下两个弧形支撑垫4.1相对布置,所述上下两个弧形支撑垫4.1之间设置有水平支撑垫4.2。
【主权项】
1.一种硅棒粘棒机,其特征在于:它包括工作平台(1),所述工作平台(I)上设置有晶座固定座(2),所述晶座固定座(2)后方设置有前后两个娃棒固定座(3),所述前后两个娃棒固定座(3)之间设置有两个娃棒支撑垫(4)。
2.根据权利要求1所述的一种硅棒粘棒机,其特征在于:所述晶座固定座(2)包括底座(2.1),所述底座(2.1)上设置有左右两条第一滑轨(2.3),所述左右两条第一滑轨(2.3)上设置有滑座(2.2),所述滑座(2.2)上设置有第一支座(2.5)和第二支座(2.6),所述第一支座(2.5)位于第二支座(2.6)前方,所述第一支座(2.5)和第二支座(2.6)顶部开设有弧形支撑槽,所述第一支座(2.5)上设置有压块(2.7),所述第一支座(2.5)前侧设置有固定支架(2.8),所述固定支架(2.8)上设置有第一调节螺栓(2.9),所述左右两条第一滑轨(2.3)之间设置有第一螺杆支座(2.11),所述第一螺杆支座(2.11)上穿装有第一连接螺杆(2.12),所述第一连接螺杆(2.12)前端设置有第一手轮(2.10),所述第一连接螺杆(2.12)后端通过螺纹与滑座(2.2)底部相连接。
3.根据权利要求2所述的一种硅棒粘棒机,其特征在于:所述第一滑轨(2.3)前端设置有挡板(2.4)。
4.根据权利要求1所述的一种硅棒粘棒机,其特征在于:所述硅棒固定座(3)包括底板(3.1),所述底板(3.1)上设置有竖直支撑板(3.2),所述竖直支撑板(3.2)前侧设置有上下两条第二滑轨(3.4),所述上下两条第二滑轨(3.4)上左右对称设置有两个移动夹板(3.7),所述两个移动夹板(3.7)内侧开设有弧形卡槽,所述上下两条第二滑轨(3.4)右侧设置有第二螺杆支座(3.3),所述第二螺杆支座(3.3)上穿装有第二连接螺杆(3.5),所述第二连接螺杆(3.5)左段设置有两段反向螺纹,所述第二连接螺杆(3.5)通过该两段反向螺纹分别与左右两个移动夹板(3.7)相连接,所述第二连接螺杆(3.5)右端设置有第二手轮(3.6),所述移动夹板(3.7)后侧开设有上下两个滑槽(3.8),所述上下两个滑槽(3.8)分别位于弧形卡槽的上下两侧,所述上下两个滑槽(3.8)内设置有夹块(3.10),所述夹块(3.10)外侧设置有固定块(3.9),所述固定块(3.9)上设置有第二调节螺栓(3.13),所述夹块(3.10)上沿水平方向开设有限位孔(3.11),所述限位孔(3.11)内设置有限位螺栓(3.12)。
5.根据权利要求1所述的一种硅棒粘棒机,其特征在于:所述硅棒支撑垫(4)包括上下两个弧形支撑垫(4.1),所述上下两个弧形支撑垫(4.1)相对布置,所述上下两个弧形支撑垫(4.1)之间设置有水平支撑垫(4.2)。
【专利摘要】本发明涉及一种硅棒粘棒机,属于多晶硅生产技术领域。它包括工作平台(1),所述工作平台(1)上设置有晶座固定座(2),所述晶座固定座(2)后方设置有前后两个硅棒固定座(3),所述前后两个硅棒固定座(3)之间设置有两个硅棒支撑垫(4)。本发明一种硅棒粘棒机,它大大方便了硅棒的粘棒过程,保证了硅棒与晶座的同轴度,从而提高了最终产品的质量和成材率。
【IPC分类】C01B33-035
【公开号】CN104817086
【申请号】CN201510189887
【发明人】陈大春, 袁郑堂, 薛荣国, 孙勇
【申请人】江阴东升新能源有限公司
【公开日】2015年8月5日
【申请日】2015年4月21日
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