玻璃基板蚀刻装置及其屏蔽组件的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及液晶面板的制造技术领域，尤其涉及一种玻璃基板蚀刻装置及其屏蔽组件。
【背景技术】
[0002]在液晶面板的制造过程中，需要对已经对镀膜的玻璃基板进行蚀刻，以在玻璃基板上形成需要的电路。现有的玻璃基板的蚀刻过程是通过在上电极与下电极之间充满氯气等腐蚀性气体，然后在上电极与下电极之间加载电压，将氯气等腐蚀性气体激发成腐蚀性电子以对玻璃基板进行蚀刻，然而腐蚀性电子同时也会蚀刻下电极。为了解决玻璃基板的蚀刻过程中，腐蚀性电子蚀刻下电极的问题，现有技术中一般在下电极上设置屏蔽元件，来避免下电极被腐蚀性电子蚀刻。
[0003]图1是现有技术中的玻璃基板蚀刻装置的主视结构示意图，图2是现有技术中的玻璃基板蚀刻装置的立体结构示意图，图3是图2中的下电极的结构示意图，如图1所示，现有的玻璃基板蚀刻装置包括上电极(图未示出)、下电极10以及多个屏蔽元件121。下电极10呈凸字形结构，包括第一电极层101及设置在第一电极层101的顶面103上的第二电极层102。多个屏蔽元件121设置在第一电极层101与第二电极层102之间且首尾相连形成环状，并且多个屏蔽元件121覆盖在第一电极层101的顶面103与第二电极层102的侧面贴合。每一屏蔽元件121呈L形，包括第一屏蔽段120及自第一屏蔽段120的一端垂直向上延伸出的第二屏蔽段122，第一屏蔽段120的自由端上形成有锯齿状的第一结合部123，第二屏蔽段122的自由端上形成有锯齿状的第二结合部124，四个屏蔽元件121在首尾连接时，其中一个屏蔽元件121的第一结合部123与其临近的另一屏蔽元件121的第二结合部124结合，使多个屏蔽元件121紧密结合在一起。但是，现有技术中的玻璃基板蚀刻装置在长时间的使用后，腐蚀性电子会蚀刻相连的两个屏蔽元件121的结合处，使两个屏蔽元件121的结合处的间隙变大，从而导致腐蚀性电子通过两个屏蔽元件121的结合处的间隙对下电极10蚀刻的问题。
【实用新型内容】
[0004]有鉴于此，本实用新型提供了一种玻璃基板蚀刻装置，以解决现有技术中的玻璃基板蚀刻装置在蚀刻玻璃基板时，两个屏蔽元件的结合处的间隙变大，腐蚀性电子容易通过两个屏蔽元件之间的间隙对下电极蚀刻的问题。
[0005]本实用新型提供一种玻璃基板蚀刻装置，包括上电极、下电极及屏蔽组件。所述下电极呈凸字形，包括第一电极层及设置在所述第一电极层的顶面上的第二电极层，所述屏蔽组件包括多个第一屏蔽元件，多个所述第一屏蔽元件设置在所述第一电极层与所述第二电极层之间且首尾相连，每一所述第一屏蔽元件覆盖在所述第一电极层的所述顶面上且与所述第二电极层的侧面贴合，所述屏蔽组件还包括与所述第一屏蔽元件一一对应的多个第二屏蔽元件，每一所述第一屏蔽元件的两端部在其底面分别设有第一滑槽与第二滑槽，每一所述第二屏蔽元件夹设在所述第一电极层的所述顶面与相应的所述第一屏蔽元件之间，且容置在对应的所述第一屏蔽元件的所述第一滑槽或所述第二滑槽内，并且可以滑入与该对应的所述第一屏蔽元件相邻的另一所述第一屏蔽元件的所述第二滑槽或所述第一滑槽内。
[0006]进一步地，每一所述第一屏蔽元件均呈L形，包括第一屏蔽段及自所述第一屏蔽段的一端垂直向上延伸出的第二屏蔽段，所述第一滑槽开设在所述第一屏蔽段的自由端的底面上，所述第二滑槽开设在所述第二屏蔽段的自由端的底面上。
[0007]进一步地，每一所述第二屏蔽元件安装在相应的所述第一屏蔽元件的所述第一滑槽内，并且所述第一屏蔽元件的所述第一屏蔽段沿着其长度延伸方向设有与所述第一屏蔽段的所述第一滑槽连通的通孔。
[0008]进一步地，每一所述第二屏蔽元件还可以安装在所述第一屏蔽元件的所述第二滑槽内，相应的每一所述第二屏蔽元件的所述第二屏蔽段沿着其长度延伸方向设有与所述第二屏蔽段的所述第二滑槽连通的通孔。
[0009]进一步地，每一所述第一屏蔽元件为L形的陶瓷件。
[0010]进一步地，每一所述第二屏蔽元件为陶瓷块。
[0011]本实用新型还提供一种屏蔽组件，用于保护玻璃基板蚀刻装置的下电极，包括多个第一屏蔽元件及与所述第一屏蔽元件一一对应的多个第二屏蔽元件，多个所述第一屏蔽元件设置在所述下电极的第一电极层与所述下电极的第二电极层之间且首尾相连，每一所述第一屏蔽元件覆盖在所述第一电极层的顶面上且与所述第二电极层的侧面贴合，每一所述第一屏蔽元件的两端部于其底面分别设有第一滑槽与第二滑槽，每一所述第二屏蔽元件夹设在所述第一电极层的所述顶面与对应的所述第一屏蔽元件之间，并容置在对应的所述第一屏蔽元件的所述第一滑槽或所述第二滑槽内，且可以滑入与该对应的所述第一屏蔽元件相邻的另一所述第一屏蔽元件的所述第二滑槽或所述第一滑槽内。
[0012]进一步地，每一所述第一屏蔽元件均呈L形，包括第一屏蔽段及自所述第一屏蔽段的一端垂直向上延伸出的第二屏蔽段，所述第一滑槽开设在所述第一屏蔽段的自由端的底面上，所述第二滑槽开设在所述第二屏蔽段的自由端的底面上。
[0013]进一步地，每一所述第二屏蔽元件安装在相应的所述第一屏蔽元件的所述第一滑槽内，并且所述第一屏蔽元件的所述第一屏蔽段沿着其长度延伸方向设有与所述第一屏蔽段的所述第一滑槽连通的通孔。
[0014]进一步地，每一所述第二屏蔽元件安装在所述第一屏蔽元件的所述第二滑槽内，相应的每一所述第一屏蔽元件的所述第二屏蔽段沿着其长度延伸方向设有与所述第二屏蔽段的所述第二滑槽连通的通孔。
[0015]本实用新型提供的技术方案带来的有益效果是:在使用本实用新型玻璃基板蚀刻装置对玻璃基板蚀刻时，屏蔽组件中的多个第一屏蔽元件的结合处虽然在腐蚀性电子的蚀刻下也会出现间隙，但是屏蔽组件中的第二屏蔽元件可以从相邻两个第一屏蔽元件中的一个屏蔽组件的第一滑槽或第二滑槽滑入另一第一屏蔽元件的第二滑槽或者第一滑槽，将相邻两个第一屏蔽元件结合处的间隙封闭，从而可以有解决现有技术中的玻璃基板蚀刻装置因腐蚀性电子通过相邻两个屏蔽元件的结合处的间隙对下电极蚀刻的问题。
【附图说明】
[0016]图1是现有技术中的玻璃基板蚀刻装置的主视结构示意图。
[0017]图2是现有技术中的玻璃基板蚀刻装置的立体结构示意图。
[0018]图3是图2中的下电极的立体结构示意。
[0019]图4是本实用新型实施例的玻璃基板蚀刻装置的主视结构示意图。
[0020]图5是图4中的下电极的立体结构示意图。
[0021]图6a_6c是图4中的第一屏蔽元件的立体结构的不同视角的示意图。
[0022]图7是图4中的第二屏蔽元件的立体结构示意图。
【具体实施方式】
[0023]为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施方式作进一步地描述。
[0024]图4是本实用新型实施的玻璃基板蚀刻装置的主视结构示意图，图5是本图4中的下电极的立体结构示意图，请同时参考图4和图5，本实用新型实施例提供的玻璃基板蚀刻装置，包括上电极(图未示出)、下电极20及屏蔽组件30。下电极20呈凸字形，包括第一电极层201及设置在第一电极层201的顶面203上的第二电极层202。屏蔽组件30包括多个第一屏蔽元件31及与第一屏蔽元件31 —一对应的多个第二屏蔽元件32。多个第一屏蔽元件31设置在第一电极层201与第二电极层202之间，并且首尾相连形成环状。每一第一屏蔽元件31覆盖在第一电极层201的顶面203上且与第二电极层202的侧面贴合。每一第一屏蔽元件31的两端部在其底面分别设有第一滑槽330与第二滑槽340，每一第二屏蔽元件32夹设在第一电极层201的顶面203与一个第一屏蔽元件31之间，第二屏蔽元件32容置在第一屏蔽元件31的第一滑槽330或第二滑槽340内，并且可以滑入与该第一屏蔽元件31相邻的另一第一屏蔽元件31的第二滑槽340或第一滑槽330内。
[0025]图6a_6c是图4中的第一屏蔽元件的立体结构的不同视角的示意图，请同时参考图6a-6c，在本实施例中，每一第一屏蔽元件31均呈L形，包括第一屏蔽段33及自第一屏蔽段33的一端垂直向上延伸出的第二屏蔽段34。第一滑槽330开设在第一屏蔽段33的自由端的底面上，第二滑槽340开设在第二屏蔽段34的自由端的底面上。
[0026]请继续参考图4，在本实施例中，第二屏蔽元件32安装在第一屏蔽元件31的第一滑槽330内，并且第一屏蔽元件31的第一屏蔽段33沿着其长度延伸方向设有与其自身的第一滑槽330连通