03] 图5是表示一个实施方式的传感器元件10的截面示意图。传感器元件10具有多 个像素。该传感器元件10,在基板2的表面形成包括多个光电二极管11A(光电转换元件） 和作为该光电二极管11A的驱动元件的薄膜晶体管（TFT:ThinFilmTransistor) 11B的像 素电路。该基板2为通过本方式的制造方法的工序（A)在支撑材料（未图示）上形成的聚 酰胺膜。并且，在本发明的制造方法的工序（B)中，形成光电二极管11A(光电转换元件） 和作为该光电二极管11A的驱动元件的薄膜晶体管11B。
[0204] 栅极绝缘膜21设置在基板2上，例如利用由氧化硅（Si02)膜、氧氮化硅（SiON) 膜以及氮化硅膜（SiN)中的一种形成的单层膜或由它们中的两种以上形成的叠层膜构成。 第一层间绝缘膜12A设置在栅极绝缘膜21上，例如由氧化硅膜或氮化硅膜等绝缘膜形成。 该第一层间绝缘膜12A还起到作为后述的覆盖薄膜晶体管11B上的保护膜（钝化膜）的功 能。
[0205](光电二极管11A)
[0206] 光电二极管11A经由栅极绝缘膜21和第一层间绝缘膜12A设置在基板2上的选择 性的区域。具体而言，光电二极管11A中，在第一层间绝缘膜12A上依次叠层下部电极24、n 型半导体层25N、i型半导体层25I、p型半导体层25P和上部电极26。上部电极26例如为 用于将光电转换时的基准电位（偏置电位）向上述的光电转换层供给的电极，与作为基准 电位供给用的电源配线的配线层27连接。该上部电极26例如由IT0(IndiumTinOxide) 等透明导电膜构成。
[0207](薄膜晶体管11B)
[0208] 薄膜晶体管11B例如由场效应晶体管（FET:FieldEffectTransistor)构成。在 该薄膜晶体管11B中，在基板2上形成有例如由钛（Ti)、Α1、Μο、钨（W)、铬（Cr)等形成的栅 电极20,在该栅电极20上形成有上述的栅极绝缘膜21。另外，在栅极绝缘膜21上形成有 半导体层22,该半导体层22具有沟道区域。在该半导体层22上形成源电极23S和漏电极 23D。具体而言，在此，漏电极23D与光电二极管11A中的下部电极24连接，源电极23S与 中继电极28连接。
[0209] 在传感器元件10中，在这样的光电二极管11A和薄膜晶体管11B的上层还依次设 置有第二层间绝缘膜12B、第一平坦化膜13A、保护膜14和第二平坦化膜13B。另外，在该第 一平坦化膜13A上，与光电二极管11A的形成区域附近对应，还形成有开口部3。
[0210] 在传感器元件10上，例如，能够通过形成波长转换部件，制作放射线摄像装置。
[0211] 本发明涉及以下的一个或多个实施方式。
[0212] 〈1> 一种聚酰胺溶液，含有芳香族聚酰胺和溶剂，
[0213] 上述芳香族聚酰胺含有1个以上具有自由羧基的结构单元，并且，在主链具有芳 香环结构和脂环结构。
[0214] 〈2>如〈1>所述的聚酰胺溶液，其中，在玻璃板上制作的厚度9~12μm的铸塑膜 的黄色度（JISK7373)为2. 4以下。
[0215] 〈3>如〈1>或〈2>所述的聚酰胺溶液，其中，上述芳香族聚酰胺的在主链具有脂环 结构的结构单元相对于全部结构单元的比例，以摩尔比率计为4摩尔％以上50摩尔％以 下。
[0216] 〈4>如〈1>~〈3>中任一项所述的聚酰胺溶液，其中，上述芳香族聚酰胺的具有 自由羧基的结构单元相对于全部结构单元的比例，以摩尔比率计为0. 01摩尔％以上30摩 尔％以下。
[0217] 〈5>如〈1>~〈4>中任一项所述的聚酰胺溶液，其中，聚酰胺由具有下述通式 (I)~（IV)所示的结构单元的芳香族聚酰胺形成，
[0219][式⑴~（IV)中，X、y、v和w分别为结构单元⑴~（IV)的摩尔分率，
[0220] x+v为 70 ~99. 99 摩尔 ％，
[0221] y+w为 30 ~0· 01 摩尔 ％，
[0222] x+y为 96 ~50 摩尔 ％，
[0223]v+w为 4 ~50 摩尔 ％，
[0224]η= 1 ~4，
[0225] ΑΓι选自
[0227]p= 4，q= 3，&、1?2、1?3、1?4、1?5选自氢、卤素、烷基、取代烷基、硝基、氰基、硫代烷基、 烷氧基、取代烷氧基、芳基、取代芳基、烷基酯、取代烷基酯以及它们的组合，Gi选自共价键、 CH2基、C(CH3) 2基、C(CF3) 2基、C(CX3) 2基（其中，X为卤素）、C0基、0原子、S原子、S0 2基、 Si(CH3)2基、9, 9-芴基、取代9, 9-芴基和0Z0基，Z为芳基或取代芳基，
[0228]A!选自
[0229]
[0230]r= 10,s= 6,t= 8,R6、R7、RS选自氢、卤素、烷基、取代烷基、硝基、氰基、硫代烷 基、烷氧基、取代烷氧基、芳基、取代芳基、烷基酯、取代烷基酯以及它们的组合，
[0231]Ar2 选自
[0232]
[0233]p= 4，R9、R1Q、Rn选自氣、卤素、烷基、取代烷基、硝基、氛基、硫代烷基、烷氧基、 取代烷氧基、芳基、取代芳基、烷基酯、取代烷基酯以及它们的组合，Gi选自共价键、CH2基、 C (CH3)2基、C (CF3) 2基、C (CX3) 2基（其中，X为卤素）、C0基、0原子、S原子、S02基、Si (CH3)2 基、9, 9-芴基、取代9, 9-芴基和0Z0基，Z为芳基或取代芳基，
[0234]Ar3 选自
[0235]
[0236]u=0~3,R12、R13、R14选自氢、卤素、烷基、取代烷基、硝基、氰基、硫代烷基、烷氧 基、卤代烷氧基等取代烷氧基、芳基、取代芳基、烷基酯、取代烷基酯、以及它们的组合，6 3选 自共价键、CH2基、C(CH3) 2基、C(CF3) 2基、C(CX3) 2基（其中，X为卤素）、C0基、0原子、S原 子、S02基、Si(CH3)2基、9, 9-芴基、取代9, 9-芴基和0Z0基，Z为芳基或取代芳基。]
[0237]〈6>如〈5>所述的聚酰胺溶液，其中，聚酰胺具有多个上述通式（I)和（II)所示的 重复单元，ArpArjPAr3分别相同或不同。
[0238] 〈7>如〈5>或〈6>所述的聚酰胺溶液，其中，聚酰胺具有多个上述通式（III)和 (IV)所示的重复单元，VArjPAr3分别相同或不同。
[0239] 〈8>如〈1>~〈7>中任一项所述的聚酰胺溶液，其中，聚酰胺通过聚合选自下述化 合物的一个或多个二酰氯而制得，
[0240]
[0241][上述式中，p= 4，q= 3，r= 10，&、1?2、1?3、1?4、1?5、1? 6选自氢、卤素、烷基、取代烷 基、硝基、氛基、硫代烷基、烷氧基、取代烷氧基、芳基、取代芳基、烷基醋、取代烷基醋以及它 们的组合。Gi选自共价键、CH2基、C(CH3) 2基、C(CF3) 2基、C(CX3) 2基（其中，X为卤素）、C0 基、0原子、S原子、S02基、Si(CH3)2基、9, 9-芴基、取代9, 9-芴基和0Z0基，Z为芳基或取 代芳基。]
[0242] 〈9>如〈1>~〈8>中任一项所述的聚酰胺溶液，其中，聚酰胺通过聚合选自下述化 合物的一个或多个芳香族二胺而制得，
[0243]
[0244] [上述式中，p= 4，m= 1 ~4，u= 0 ~3，1?9、1?1。、1?11、1?12、1? 13、1?14选自氢、卤素、烧 基、取代烷基、硝基、氛基、硫代烷基、烷氧基、取代烷氧基、芳基、取代芳基、烷基醋、取代烧 基酯以及它们的组合。GjPG3选自共价键、CH2基、C(CH3)2基、C(CF3)2基、C(CX3)2基（其 中，X为卤素）、C0基、0原子、S原子、S02基、Si(CH3)2基、9, 9-芴基、取代9, 9-芴基和0Z0 基，Z为芳基或取代芳基。]
[0245] 〈10>如〈1>~〈9>中任一项所述的聚酰胺溶液，其中，聚酰胺的至少一端被封端。
[0246] 〈11>如〈1>~〈10>中任一项所述的聚酰胺溶液，其用于包括下述工序a)~c)的 显示器用元件、光学用元件、照明用元件或传感器元件的制造方法，
[0247] a)将芳香族共聚酰胺溶液涂布到支撑材料上的工序，
[0248] b)在上述涂布工序（a)后，在上述支撑材料上形成聚酰胺膜的工序，
[0249]c)在上述聚酰胺膜的表面上形成显示器用元件、光学用元件、照明用元件或传感 器元件的工序。
[0250] 其中，上述支撑材料或上述支撑材料的表面为玻璃或硅片。
[0251] 〈12>-种显示器用元件、光学用元件、照明用元件或传感器元件的制造方法，其包 括下述工序a)~c):
[0252] a)将〈1>~〈11>中任一项所述的聚酰胺溶液涂布到支撑材料上的工序；
[0253] b)在上述涂布工序（a)后，在上述支撑材料上形成聚酰胺膜的工序；
[0254]c)在上述聚酰胺膜的表面上形成显示器用元件、光学用元件、照明用元件或传感 器元件的工序。
[0255] 其中，上述支撑材料或上述支撑材料的表面为玻璃或硅片。
[0256] 〈13>如〈12>所述的显示器用元件、光学用元件、照明用元件或传感器元件的制造 方法，还包括将所形成的显示器用元件、光学用元件、照明用元件或传感器元件从上述支撑 材料剥离的工序。
[0257] 〈14> 一种叠层复合材料，其含有玻璃板、聚酰胺树脂层，
[0258] 在玻璃板的一个面上叠层有聚酰胺树脂层，
[0259] 聚酰胺树脂层的黄色度（JISK7373)为2. 4以下，
[0260] 该叠层复合材料通过在玻璃板上涂布〈1>~〈11>中任一项所述的聚酰胺溶液而 得到。
[0261] 〈15>如〈14>所述的叠层复合材料，其中，玻璃板的厚度为0.3mm以上。
[0262] 〈16>如〈14>或〈15>所述的叠层复合材料，其中，聚酰胺树脂的厚度为500μπι以 下。
[0263] 〈17>-种显示器用元件、光学用元件、照明用元件或传感器元件的制造方法，其包 括在〈14>~〈16>中任一项所述的叠层复合材料的聚酰胺树脂层的与玻璃板相对的面的相 反面上形成显示器用元件、光学用元件、照明用元件或传感器元件的工序。
[0264] 〈18>如〈17>所述的显示器用元件、光学用元件、照明用元件或传感器元件的制造 方法，其还包括将所形成的显示器用元件、光学用元件、照明用元件或传感器元件从玻璃板 剥离的工序。
[0265]【实施例】
[0266] 使用表1和下述所示的成分制备聚酰胺溶液（实施例1~5、比较例1、2)。另外， 使用该聚酰胺溶液，以下述条件形成铸塑膜，如下所述测定其厚度、雾度、波长365nm的总 光线透过率、和黄色度（YellowIndex)。此外，使用的HTPC为反式体99%。
[0267][芳香族二酰氯]
[0268] HTPC:六氢对苯二甲酰氯（1，4-环己烷二