专利名称：传送式基板处理装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及液晶显示装置用玻璃基板的制造等中使用的传送式基板处理装置。
背景技术：
液晶显示装置中使用的玻璃基板，通过对作为基材的玻璃基板的表面反复实施腐蚀、剥离等化学处理来制造。该处理装置大致分为干式和湿式；湿式又分为批量式和叶片式；叶片式又分为旋转式和基于滚轮传送等的传送式。
在这些基板处理装置中，传送式的装置具有将基板向水平方向传送的同时对该基板的表面供给处理液的基本结构，由于效率高，所以在以前被用于腐蚀处理和剥离处理。
腐蚀处理上使用的传送式基板处理装置从在基板传送线的上方矩阵状配置的多个喷射喷嘴中喷射腐蚀液，通过使基板在该腐蚀液中通过，向基板的整个表面供给腐蚀液。通过该喷淋处理，除涂敷了掩模材料的部分以外，基板的表面被有选择地腐蚀。腐蚀结束后，进行基于后续喷淋的清洗处理。剥离处理的装置也有基本上相同的结构。
但是，在液晶显示装置用玻璃基板中，在基板的大型化的同时，电路的高精细化也在深入。作为在该基板上使用的布线材料，以前大多使用Cr，但随着目前的高精细化，正在转向使用电阻率值小的Al或Al/Mo。因此，即使腐蚀用的传送式基板处理装置，也开始使用Al腐蚀液，但随着使用该腐蚀液，发现以下的问题。
即，作为Al腐蚀液，使用以磷酸为主要成份的腐蚀液。基于该腐蚀液的Al的腐蚀率比基于Cr腐蚀液的Cr的腐蚀率高，由此可获得腐蚀率高的效果，但另一方面，腐蚀后的Al层的边缘面变为不适合下一层的层积的形状。
图3是表示腐蚀后的Al层的形状的剖视图。在作为基材的玻璃基板1上形成Al层2及Mo层3，在其上覆盖掩模材料4。通过腐蚀，在掩模材料4未覆盖的部分Al层2及Mo层3被除去，但残留的Al层2及Mo层3的边缘面变为用实线表示的峭立的急剧的倾斜。这样，在Al层2及Mo层3上不能稳定地载置下一层。为了稳定地载置下一层，如一点划线所示，需要使该边缘面的倾斜平缓。在没有Mo层3的情况下也存在同样的倾向。
此外，Al腐蚀液与Cr腐蚀液相比为高粘度，对玻璃基板4的表面的浸润性差。此外，如上所述，腐蚀率高。因此，在喷淋处理开始时腐蚀液的细的液滴冲击的部分变得处理不匀，即使在其后的喷淋处理也不能消除，在腐蚀后残留。
发明内容
本发明的目的在于提供一种传送式基板处理装置，适用于Al腐蚀，可以将Al层的边缘面形成适合下一层的层积的平缓的倾斜面，同时可以消除初期喷淋造成的处理不匀。
为了实现上述目的，本发明的传送式基板处理装置包括喷淋方式的第1处理部，从基板的传送方向及与该传送方向成直角方向排列的多个喷射喷嘴向基板的整个表面供给处理液；以及化学刮刀方式的第2处理部，从在第1处理部的下游侧配置成一级或多级的缝隙喷嘴向基板表面的宽度方向整个区域膜状地供给处理液。
在适用于Al腐蚀的情况下，第1处理部中的喷淋处理的液置换显著，并可确保高腐蚀率，但Al层的边缘面成为不适合下一层的层积的急剧的倾斜面。通过第2处理部的化学刮刀处理，在基板的表面上腐蚀液变为薄载置的涂浆状，基本不进行液置换。因此，Al层的腐蚀从表面缓慢地进行，边缘面的倾斜变得缓慢。
通过在第1处理部的入口部设置在进行喷淋处理之前进行化学刮刀处理的缝隙喷嘴，在喷淋处理之前，使基板在处理液的流下膜中通过，均匀地淋湿基板的表面。一旦均匀地淋湿，即使在其后受到喷淋处理，也不会产生液滴造成的处理不匀。因此，通过在第1处理部的入口部设置缝隙喷嘴，还可消除初始喷淋造成的处理不匀。
本发明的传送式基板处理装置为了从处理液的处理部的入口部分大致在整个区域进行涂浆处理，还将向基板表面的宽度方向整个区域膜状地供给处理液的缝隙喷嘴沿基板的传送方向配置一级或多级。即，省略喷淋方式的第1处理部，仅通过化学刮刀方式的第2处理部，就能够进行处理液的处理。由此，尽管腐蚀率下降，但可有效地防止边缘面的急剧上升。
本发明的传送式基板处理装置特别适合于Al腐蚀，但对于其它腐蚀处理也有效，只是存在效果上的某些差异。
图1表示本发明的一实施例的传送式基板处理装置的俯视图。
图2表示该基板处理装置的主要部分的侧视图。
图3表示腐蚀后的Al层形状的剖视图。
具体实施例方式
本实施例的传送式基板处理装置进行液晶显示装置用玻璃基板100(以下简称为基板100)的Al腐蚀处理。如图1所示，该基板处理装置采用将直线状的第1传送线A、直角连接到第1传送线A的第2传送线B、直角连接到第2传送线B并与第1传送线A并列的第3传送线C组合而成的U转动式的布局。
第1传送线A直线状连结接收部10、阻液部20及腐蚀部30来构成。第2传送线B是水洗部40，配有向基板100的表面分散清洗水的喷淋单元41。第3传送线C直线状地连结移载装置50、旋转干燥器60、移载装置70及取出部80来构成。
第1传送线A和第2传送线B配有沿传送方向以规定间隔排列的多个传送滚轮，以便沿传送线长度方向传送基板100。各传送滚轮是与传送方向成直角的水平滚轮。在第2传送线B、即水洗部40的入口部，设置使基板100的行进方向变更90度的转向机构42。
要接受Al腐蚀处理的基板100由传送装置90传送到接收部10。通过滚轮传送，该基板100从阻液部20进入腐蚀部30，在通过期间接受腐蚀处理。通过后续的滚轮传送，通过了腐蚀部30的基板100进入水洗部40，将行进方向变更90度后移动到水洗部40，在该移动期间接受水洗处理。
移动至水洗部40的出口部的基板100通过移载装置50从水洗部40传送到旋转干燥器60。用旋转干燥器60结束了干燥处理的基板100由移载装置70从旋转干燥器60传送到取出部80，再次由传送装置90传送到装置外部。
本实施例的传送式基板处理装置在腐蚀部30上具有明显的特征。如图2所示，该腐蚀部30包括将基板100沿水平方向传送的传送滚轮31，在基板100的传送线的上方，为了向基板100的表面供给腐蚀液，沿基板100的行进方向依次设置第1缝隙喷嘴33、喷淋单元34及第2缝隙喷嘴35。
传送滚轮31由驱动轴31a的轴方向多个位置上设置的大直径部31b来点支撑基板100，由两侧设置的凸缘部31c来进行基板100的宽度方向的位置确定。
第1缝隙喷嘴33是与基板100的行进方向成直角的水平喷嘴，通过使Al腐蚀液膜状地流下，在基板100的表面的行进方向的一部分上遍及整个宽度地直线状地供给该腐蚀液。
喷淋单元34构成喷淋方式的第1处理部。该喷淋单元34在与基板100的行进方向平行的水平方向及与该行进方向成直角的水平方向上以规定间隔配有矩阵状(包含交错状)排列的多个喷射喷嘴34a，在比基板100的表面宽的范围内喷射Al腐蚀液。
这里，将多个喷射喷嘴34a与基板100的行进方向成直角的方向排列，并各自在基板100的行进方向上延长的多个顶管34b上被朝下方安装。各喷射喷嘴34a使Al腐蚀液成为细的液滴并圆锥形状地喷射，在相邻的喷嘴之间，各喷嘴的喷射范围可重叠。这里的腐蚀液的供给量以在基板100的表面上可进行充分的液置换来设定。
第2缝隙喷嘴35与第1缝隙喷嘴33同样是与基板100的行进方向成直角的水平喷嘴，在基板100的行进方向上按规定间隔排列多个，构成化学刮刀方式的第2处理部。各缝隙喷嘴35与第1缝隙喷嘴33不同，通过使少量的Al腐蚀液与基板100的传送方向成直角的膜状流下，在基板100表面的行进方向一部分上遍及整个宽度直线状供给该腐蚀液，并使其滞留。即，腐蚀液的供给量以供给到基板100表面的腐蚀液通过表面张力保持在其表面上的程度来设定。
36是在最后级的第2缝隙喷嘴35的后方配置的缝隙式的空气喷嘴，通过在基板100的表面的行进方向一部分上遍及整个宽度直线状地喷吹空气，从基板表面除去腐蚀液。
在这样构成的本实施例的连续式基板处理装置中，首先使从阻液部20进入到腐蚀部30的基板100在第1缝隙喷嘴33流下的Al腐蚀液膜中通过，在其表面上从前端部依次供给腐蚀液。接着，使其从喷淋单元34喷射的Al腐蚀液中通过，向基板100的整个表面供给Al腐蚀液，进行规定的腐蚀。
如果向基板100的表面突然喷淋Al腐蚀液，则最初受到液滴的部分处理不匀而残留，通过事先在腐蚀液的膜中穿过，在其表面上均匀地供给腐蚀液，所以可防止随着腐蚀液的喷淋处理产生的处理不匀。
通过使用Al腐蚀液的喷淋处理，可有选择地腐蚀在基板100的表面上形成的Al层或Al/Mo层。在该喷淋处理中，残留的Al层或Al/Mo层的边缘面变为不适合下一层的层积的急剧的倾斜面。但是，接着该喷淋处理，从第2缝隙喷嘴35向基板100的表面供给膜状流下的Al腐蚀液，使该表面保持涂浆的状态。在这期间，平缓地进行腐蚀处理，如图3中点划线所示，残留的Al层或Al/Mo层的边缘面变为适合下一层的层积的平缓的倾斜面。
由多个第2缝隙喷嘴35构成的化学刮刀方式的第2处理部，比如说，将由喷淋单元34构成的第1处理部的后级部分置换成涂浆处理部。涂浆处理时间为腐蚀液的整个处理时间的10～45％较好，20～40％更好。如果涂浆处理时间过短，则边缘面的倾斜未充分缓和，而过长则变为相反的效果，存在处理效率下降和液体无用消耗的问题。在涂浆处理部也可以使基板100往复移动，确保其处理时间。
在上述实施例中，将腐蚀部30与第1缝隙喷嘴33、喷淋单元34及第2缝隙喷嘴35组合来形成复合处理部，但如上所述，也可以省略第1缝隙喷嘴33及喷淋单元34，由第2缝隙喷嘴35从腐蚀部30的入口部分大致在整个区域进行涂浆处理。
产业上的利用可能性如以上说明，本发明的传送式基板处理装置在喷淋方式的第1处理部的下游侧，设置向基板表面的宽度方向整个区域膜状地供给处理液的缝隙喷嘴构成的化学刮刀方式的第2处理部，从而可以将成为Al腐蚀问题的Al层的边缘面急剧上升改变为适合下一层的层积的平缓的倾斜。
此外，在第1处理部的入口部，设置在喷淋处理之前进行化学刮刀处理的缝隙喷嘴，在喷淋处理之前，通过使基板在处理液的流下膜中穿过，可以防止喷淋处理造成的处理不匀。
此外，为了从处理液的处理部的入口部大致在整个区域进行涂浆处理，通过在基板的传送方向上一级或多级地配置向基板表面的宽度方向整个区域膜状地供给处理液的缝隙喷嘴，从而可以将成为Al腐蚀问题的Al层的边缘面急剧上升改变为适合下一层的层积的平缓的倾斜。
权利要求
1.一种传送式基板处理装置，将基板沿水平方向传送的同时向该基板的表面供给处理液，其特征在于，该装置包括喷淋方式的第1处理部，从基板的传送方向及与该传送方向成直角方向排列的多个喷射喷嘴向基板的整个表面供给处理液；以及化学刮刀方式的第2处理部，从在第1处理部的下游侧配置成一级或多级的缝隙喷嘴向基板表面的宽度方向整个区域膜状地供给处理液。
2.如权利要求1所述的传送式基板处理装置，其特征在于，在所述第1处理部的入口部，设置在进行喷淋处理之前进行化学刮刀处理的缝隙喷嘴。
3.如权利要求1所述的传送式基板处理装置，其特征在于，所述处理液是Al腐蚀液。
4.一种传送式基板处理装置，将基板沿水平方向传送的同时向该基板的表面供给处理液，其特征在于，为了从所述处理液的处理部的入口部分大致在整个区域进行涂浆处理，将向基板表面的宽度方向整个区域膜状地供给处理液的缝隙喷嘴沿所述基板的传送方向配置一级或多级。
5.如权利要求4所述的传送式基板处理装置，其特征在于，所述处理液是Al腐蚀液。
全文摘要
本发明的目的在于提供适用于Al腐蚀、可以将Al层的边缘面形成为适合下一层的层积的平缓的倾斜面的传送式基板处理装置。为了实现该目的，在从多个喷射喷嘴(34a)向基板(100)的整个表面供给处理液的喷淋单元(34)的下游侧，设置一级或多级缝隙喷嘴(35)，向基板表面的宽度方向整个区域膜状地供给处理液。通过使用缝隙喷嘴(35)的化学刮刀处理，实现在基板(100)的表面上较薄地载置处理液的涂浆的状态。
文档编号B05B1/02GK1398425SQ01804737
公开日2003年2月19日 申请日期2001年12月7日 优先权日2000年12月11日
发明者下田亨志, 田内仁 申请人:住友精密工业株式会社