研磨浆料的制作方法、研磨磨粒、研磨浆料、以及玻璃基板的制造方法与流程

文档序号:11108901阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种研磨浆料的制作方法,其为包含用于玻璃基板的研磨处理的研磨磨粒的研磨浆料的制作方法,其特征在于,该制作方法具备:

向包含作为所述研磨磨粒的原料的原料磨粒的原料浆料中添加粘结剂的添加处理;

使包含所述粘结剂的原料浆料干燥而制作含有所述粘结剂的原料磨粒的块的干燥处理;和

对所述原料磨粒的块进行烧制而制作含有所述粘结剂的原料磨粒的集合体的烧制处理。

2.如权利要求1所述的研磨浆料的制作方法,其中,所述粘结剂包含二氧化硅颗粒。

3.如权利要求1或2所述的研磨浆料的制作方法,其中,所述粘结剂的平均粒径为3nm~20nm。

4.如权利要求1~3中任一项所述的研磨浆料的制作方法,其中,该制作方法进一步具备将所述原料磨粒的集合体破碎而制作所述研磨磨粒的破碎处理,

通过所述破碎处理制作的研磨磨粒的平均粒径为0.5μm~10μm。

5.如权利要求1~4中任一项所述的研磨浆料的制作方法,其中,在所述添加处理中,进一步添加用于抑制所述粘结剂彼此的凝集的粘结剂凝集抑制剂,

在所述干燥处理中,所述粘结剂藉由所述粘结剂凝集抑制剂而被分散配置于所述原料磨粒的块中。

6.如权利要求5所述的研磨浆料的制作方法,其中,在所述烧制处理中,通过对所述原料磨粒的块进行烧制而使所述粘结剂凝集抑制剂的至少一部分消失。

7.如权利要求5或6所述的研磨浆料的制作方法,其中,所述粘结剂凝集抑制剂为多糖类。

8.如权利要求1~7中任一项所述的研磨浆料的制作方法,其中,在800℃以下的温度进行所述烧制。

9.如权利要求1~8中任一项所述的研磨浆料的制作方法,其中,在所述干燥处理中,通过喷雾干燥使包含所述粘结剂的原料浆料干燥。

10.如权利要求1~9中任一项所述的研磨浆料的制作方法,其中,所述原料浆料包含在玻璃基板的研磨处理中使用的二氧化铈颗粒。

11.一种研磨磨粒,其为在玻璃基板的研磨处理中使用的研磨磨粒,其特征在于,在该研磨磨粒中,二氧化硅颗粒作为粘结剂存在于二氧化铈或氧化锆的颗粒之间。

12.一种研磨浆料,其特征在于,其包含权利要求11所述的研磨磨粒。

13.一种玻璃基板的制造方法,其特征在于,使用通过权利要求1~10中任一项所述的研磨浆料的制作方法制作的研磨浆料、权利要求11所述的研磨磨粒、或者权利要求12所述的研磨浆料而对玻璃基板的表面进行研磨。

14.一种研磨浆料的制作方法,其为包含用于玻璃基板的研磨处理的研磨磨粒的研磨浆料的制作方法,其特征在于,该制作方法具备:

向包含作为所述研磨磨粒的原料的原料磨粒的原料浆料中添加造孔剂的添加处理;

使包含所述造孔剂的原料浆料干燥而制作含有所述造孔剂的原料磨粒的块的干燥处理;和

对所述原料磨粒的块进行烧制而使所述造孔剂的至少一部分消失,从而在所述造孔剂所位于的所述原料磨粒的块的部分形成空隙的烧制处理。

15.如权利要求14所述的研磨浆料的制作方法,其中,在所述原料磨粒的块中,所述造孔剂的平均粒径为3μm~20μm。

16.如权利要求14或15所述的研磨浆料的制作方法,其中,在所述添加处理中,进一步添加配置于所述原料磨粒的表面的粘结剂,

在所述干燥处理中,所述粘结剂藉由所述造孔剂而被分散配置于所述原料磨粒的块中。

17.一种玻璃基板的制造方法,其特征在于,使用通过权利要求14~16中任一项所述的研磨浆料的制作方法制作的研磨浆料而对玻璃基板的表面进行研磨。

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