薄板状材料输送装置的制作方法

专利名称：薄板状材料输送装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种薄板状材料输送装置，用于非接触地支承用在液晶显
示器(LCD)面板、等离子显示器(PDP)等平板显示器(FPD)中的大型且薄的玻 璃基板那样的薄板状材料。
背景技术：
由于液晶显示器、等离子显示器等平板显示器的玻璃基板即使有很小 的瑕疵或灰尘也会对品质产生很大影响，因此，在这种玻璃基板的输送中， 要求将玻璃基板保持为接近平面的形状并沿预定的输送面平顺地输送，以 便不在玻璃基板的表面上产生瑕疵或者附着异物。
另一方面，液晶显示器用的玻璃基板尺寸越来越大型化，例如在第8代 中大小为W2200mmxL2500mm，与此相比厚度为0.5 0.7mm左右、非常薄。
因此，在水平地输送玻璃基板时，不仅要支承其外周端部、也要支承其内 侧的部分，否则中央部会较大地下垂。
因此，对玻璃基板的输送装置进行研究，以便尽可能在整个面上均等 地支承玻璃基板，并保持接近于平面的形状地进行输送。
例如，已知一种输送装置，在输送方向或相对输送方向垂直的宽度方 向以适当的间距设置多个辊，通过这些多个辊从下方支承并驱动玻璃基板。
作为这样的输送装置之一，已知有下述的输送装置(例如日本特开平 10-139160号公报、日本特开平ll-268830号公报、日本特开平l 1-26883l号 公报)，利用在上面部形成有多个供气孔的气动台使玻璃基板上浮，通过 空气压力进行驱动，并非接触地进行输送的输送装置。
并且，例如日本特开2003-63643 ('643)号公报、日本特开2005-29359 ('359)号公报、日本特开2005-29360 ('360)号公报所记载的，已知有如 下输送装置，在玻璃基板的宽度方向的中央附近设置气动台来抑制玻璃基板的中央部的下垂，并通过多个辊支承玻璃基板中与输送方向垂直的宽度方向的两端附近，并沿预定的输送方向驱动玻璃基板。
上述'643记载的板状体输送装置，在每一台气动台上都设置送风风扇，
并且在上面的接近于供气孔的位置设置除尘过滤器，朝向进行输送的板状体的下侧面供给洁净空气。
此外，在上述'360记载的输送装置中，将上述'359记载的台单元相对输送方向正交的宽度方向分割为二，在其中间构成有空气的通路。
上述'359以及'360的情况在大致正方形的一个气动台上设置一台送风
风扇，并沿玻璃基板的输送方向依次邻接地紧密配置气动台。
所以，送风的动能变换为压力时，压力相应变高，在气动台上没有玻
璃基板时，从气动台上面到室内的较高位置形成空气气流，在洁净室内发
生尘土飞扬的不良状况。另外，上述'359以及'360的输送装置都将盖设置在
输送面的上侧，能够防止空气的吹起。
此外，上述'359以及'360的输送装置的情况下，存在过多设置送风风扇
的问题。
并且，如上所述的送风风扇，由于必须从与其外径相比为较大面积的气动台供给空气，所以存在必须使用高动力且高价的风扇(例如涡轮风扇)的问题。
进而，在'360的输送装置中，存在不能充分防止输送中的玻璃基板在宽度方向的中央隆起的问题。
并且， 一般并用具备辊的气动台和驱动单元的输送装置由于玻璃基板从气动台上浮，所以玻璃基板与辊的抵接力小，玻璃基板与辊之间的摩擦力小。所以，存在玻璃基板和辊之间容易滑动的问题。
另外，气动台的上辊的上端相比玻璃基板的下表面的高度高地设置驱动单元，这样虽然能使玻璃基板与辊之间的摩擦力增大，但是存在不能使玻璃基板保持为接近于平面的形状的问题。并且，如果使辊的旋转加速度以及减速度降低，则能够在一定程度上抑制玻璃基板与辊之间的滑动，但存在输送效率降低的问题。

发明内容
本发明的发明人经过专心研究的结果，发现了最小限的送风风扇的设置条件，并发现了即使在输送中薄板状材料中断的情况下也不会从输送装置向室内较强地吹出空气的条件。
进而，还发现了在具有气动台单元和辊等的驱动部件的薄板状材料输送装置中，能够使薄板材料和驱动部件之间的滑动难以产生的条件。
艮P，通过以下的技术方案能够解决上述课题。(1) 一种薄板状材料输送装置，将气动台单元沿薄板状材料的输送方向以及与输送方向正交的宽度方向排列多个而构成，上述气动台单元具有气动台，用于对所输送的上述薄板状材料的下表面供给气体并且非接触地支承该薄板状材料；和用于向该气动台供给上述气体的送风装置，其特征在于，上述气动台单元在宽度方向至少配置4台，在各气动台单元之间设置气体能够流通的间隙，并且，各气动台单元在上述输送方向被细长地形成，
每隔宽度的大致3 1 O倍的长度设置一台上述送风装置，上述气动台被构
成为，上面部为大致平坦的箱状体，在上述上面部形成用于对上述薄板状材料的下表面供给上述气体的多个供气孔，上述送风装置具有连接并设置在上述气动台的下侧的箱状的收容部以及设置在该收容部内的送风风扇。
(2) 根据(l)所述的薄板状材料输送装置，其特征在于，上述箱状的收容部的高度为上述风扇高度的3 6倍，并且，上述风扇被配置在上述收容部内的上部。
(3) 根据(1)或(2)所述的薄板状材料输送装置，其特征在于，上述过滤器被设置在上述气动台之中的上述上面部的下方附近。
(4) 根据(1) (3)之一所述的薄板状材料输送装置，其特征在于，还具备:与上述薄板状材料的下表面接触并具有用于将该薄板状材料向预定的输送方向驱动的驱动部件的驱动单元；和配置在上述驱动部件的附近，用于向上述薄板状材料的下表面供给负压，并对上述薄板状材料向上述驱动部件的方向施力用的吸引单元。
(5) 根据(4)所述的薄板状材料输送装置，其特征在于，上述吸引单元被结合在上述气动台单元上，该气动台单元的上述送风装置兼用作向上述吸引单元供给上述负压的负压发生装置。(6) 根据(5)所述的薄板状材料的输送装置，其特征在于，上述吸引单元具备负压发生装置。
(7) 根据(6)所述的薄板状材料的输送装置，其特征在于，构成为，上述吸引单元的负压发生装置与上述气动台单元的送风装置之间具有向外部开放的间隙且并排设置，将从上述负压发生装置排出的气体以及上述外部的气体双方供给上述送风装置。
(8) 根据(4) (7)之一所述的薄板状材料输送装置，其特征在于，上述驱动部件被配置在从下方接触上述所输送的薄板状材料的宽度方向两端的位置，上述吸引单元被设置成，在上述多个气动台单元中位于宽度方向两端的气动台单元与上述驱动部件之间的位置上，对上述薄板状材料的下表面施加负压。
该薄板状材料输送装置的气动台单元，在输送方向被细长地形成，每隔其宽度的大致3 10倍的长度配置一台送风风扇，过滤器的压力损失被减少并被均匀化，薄板状材料的输送被中断的情况下，向上方吹起的空气变少，不是非常必要的话能够不必设置多个高性能且高价格的送风风扇，能够以低成本制造装置。
该薄板状材料输送装置具备用于将薄板状材料向辊或带等驱动部件的方向施力的吸引单元，能够提高薄板状材料与驱动部件之间的抵接力，使薄板状材料与驱动部件之间的摩檫力增大。由此，能够抑制薄板状材料和驱动部件之间的滑动。
所以，例如配置驱动单元，使气动台上的薄板状材料的下表面的高度与驱动部件的上端为相等的高度，即使将薄板状材料保持为接近于平面的形状，也能够抑制薄板状材料和驱动部件之间的滑动。
进而，由于薄板状材料与驱动部件之间的摩擦力大，所以能够将辊的旋转加速度以及减速度相应地较大设定，有利于输送效率的提高。
另外，也可以将吸引单元结合在气动台单元上，气动台单元的送风装置可以兼对吸引单元供给负压的负压发生装置。送风装置对气体进行吸气后进行排气，所以能够作为负压发生装置加以利用。这样，不需要吸引单元和外部的负压供给设备之间的配管，有利于设置空间的抑制。并且，送风装置兼做负压发生装置，所以能够降低部件的件数，并能够实现进一步 的紧凑化以及成本的降低。
并且，吸引单元也可以具有负压发生装置。这样，在吸引单元不具备 负压发生装置的情况下也不需要吸引单元和外部的负压供给设备之间的配 管，能够使用于配置的空间减小。此外，能够对气动台单元的上浮力和吸 引单元的吸引力进行独立地控制。进而，假设吸引单元的上面和薄板状材 料的下表面的间隙显著变小，从负压发生装置排出的气体的量显著减少， 如果负压发生装置和送风装置被独立地设置，则不能抑制向送风装置供给 气体。所以能够得到基于气动台单元的充分的上浮力。
并且，也可以构成为，具有向外部开放的间隙地并排设置吸引单元的 负压发生装置和气动台单元的送风装置，能够将从负压发生装置排出的气 体以及外部的气体两者供给到送风装置。这样，能够高效地向送风装置供 给气体，得到使气动台单元的上浮力增大的效果。


图l为包含表示本发明第l实施方式的薄板状材料输送装置的整体结构 的概要的一部分剖面图的主视图。
图2为扩大地表示该薄板状材料输送装置的气动台单元以及吸引单元 的结构的前剖面图。
图3为表示该薄板状材料输送装置的整体结构的概要的立体图。
图4为表示该薄板状材料输送装置的整体结构的概要的立体图。 图5为包含表示本发明第2实施方式的薄板状材料输送装置的整体结构 的概要的一部分剖面图的主视图。
图6为扩大地表示该薄板状材料输送装置的气动台单元以及吸引单元
的结构的前剖面图。
图7为表示该薄板状材料输送装置的整体结构的概要的侧视图。 图8为扩大地表示本发明第3实施方式的薄板状材料输送装置的气动台
单元以及吸引单元的结构的前剖面图。
图9为包含表示本发明第4实施方式的薄板状材料输送装置的整体结构
的概要的一部分剖面图的主视图。
具体实施例方式
以下，参照附图对本发明的优选实施方式进行详细说明。
如图1所示，本发明的第i实施方式的薄板状材料输送装置io构成为，
具备气动台单元14，用于非接触地支承例如大型的LCD用的玻璃基板(薄
板状材料)12;驱动单元18，具有与玻璃基板12的下表面接触、并将玻璃基 板12向规定的输送方向驱动的多个辊(驱动部件)16;吸引单元20，配置在辊 16的附近，用于向玻璃基板12的下表面供给负压并对基板12向辊16的方向 施力；气动台单元14的结构上具有特征。并且，其特征为，薄板状材料输 送装置10具备吸引单元20。
气动台单元14具有用于对玻璃基板12的下表面供给空气(气体)并非 接触地支承玻璃基板12的气动台22和用于向气动台22供给正压空气的送风 装置24。
如图2所示，气动台22的结构为，上面部26为大致平坦的大致长方体的 箱形体，在上面部26形成有用于对玻璃基板12的下表面供给空气的多个供 气孔26。
另外，如图3所示，气动台22沿玻璃基板12的输送方向(如图3中箭头
所示的方向)为长的大致长方体。
此外，在薄板状材料输送装置10上设有多台(第一实施方式中为8台) 气动台单元14。具体而言，在输送方向分别邻接地设置由4台气动台单元14 构成的2组。与输送方向垂直的宽度方向并排设置各组的4台气动台单元14。
上面部26具体而言是厚度为0.5-3mm的板材。作为上面部26的材料能够
使用不锈钢、铝、各种合金等。
送风装置24如图2中扩大地所表示的那样，构成为，具备在上下具有连 通口 25A、 25B的圆形箱状的收容部24A和配置在该收容部24A内的送风风扇 28。在该实施例中，送风风扇28为轴流风扇，通过未图示的电动机驱动。 送风装置24设置在气动台22的下侧，在上侧的连通口25A处直接连接气动台 22。另外，如图4所示，在实施方式l中，对于各气动台22，在输送方向离 开地设置2台送风风扇24。此外，在气动台22的宽度方向上，沿宽度方向整 列地配置有各送风风扇24。收容部24A的宽度方向的内部尺寸为送风装置24的送风风扇28的外径 的约M.8倍。并且，收容部24A的输送方向的尺寸为气动台22的输送方向的 长度的约1/10， 2个收容部24A以气动台23的输送方向的长度的l/2均等地配 置。即，收容部24A在输送方向以其5倍的长度配置1台。
收容部24A，其轴向(图2、 4、 5的上下方向)的长度为送风风扇28的 厚度的约3-6倍，送风风扇28被配置在收容部24A内的高度方向的大致中央， 并且，收容部24A的平剖面形状为围住送风风扇28的外周的圆形，收容部 24A的内周与送风风扇28的外周之间的间隙为不阻碍送风风扇28的旋转的 范围并取最小。
气动台单元14在宽度方向上被配置4台，各气动台单元14之间设有能够 使气体流通的间隙13。
气动台22的上面部26和送风装置24之间设置过滤器30。更详细地说， 过滤器30设置在气动台22中的上面部26的下方附近。作为过滤器30的材料， 例如可使用与净化间的空气过滤用的HEPA(High Efficiency Particulate Air Filter)或ULPA(Ultra Low Penetration Air Filter)相同的材料。
在气动台22之中，上面部26与过滤器30之间设有网状部件32。网状部 件32是将线径为0.1 1.5mm的金属丝状或线状的部件以规定的间距编织而 构成。作为网状部件32的材料，具体地能够使用不锈钢、铝、各种合金以 及树脂等。
在薄板状材料输送装置10中设置多台(第1实施方式为4台)吸引单元20。
各吸引单元20的结构为，上面部34为大致平坦的箱形体，在上面部34 上形成有用于对玻璃基板12的下表面供给负压的多个吸引孔32A。
该4台吸引单元20分别与设置在宽度方向两侧的4台气动台单元14结 合。更详细地说，各吸引单元20被结合在与气动台单元14上所结合的2台送 风装置24中的一个上。这些送风装置24兼用于向吸引单元20供给负压的负 压发生装置。另外，送风装置24吸入空气后进行排气，所以能够作为负压 发生装置加以利用。
吸引单元20被设置成，使上面部34配置在宽度方向两侧的气动台14单 元的上面部26和驱动单元18的辊16之间。在8台气动台单元14的宽度方向两侧配置一对驱动单元18，以使宽度方 向的两端接触在玻璃基板12上。
辊16在输送方向以适当的间距设置多个。各辊16具备接触在玻璃基板 12的下表面的辊部16A以及相比与此设置在宽度方向外侧的凸缘部16B，并 与未图示的旋转驱动源连接。另外，在第l实施方式中，驱动单元18被设置 成使辊16的辊部16A的上端相比气动台22的上面部26的上表面高出玻璃基 板12的上浮量即几mm左右。
接着，对薄板状材料输送装置10的作用进行说明。
薄板状材料输送装置IO，由于气动台单元14中的送风装置24被设置在 气动台22的下侧，所以能够将由送风装置24所供给的空气向气动台22的上 方高效地输送。
首先，送风装置24的送风风扇28的外周和收容部24A的内周之间的间隙 小，且收容部24A的高度为送风风扇28的厚度的3-6倍，所以因送风风扇28 的旋转所产生的风(空气流)通过送风风扇28的外侧，不会逆流地从连通 口25A流入到箱状的气动台22内。
这里，流入的空气流中，虽然因过滤器30发生损失，但是，如图4所示， 收容部24A相对其输送方向的长度每大致5倍的长度设置一台送风装置24， 所以损失很小。即，不会在气动台22内产生较大的压力上升，能够不变地 从气动台22的供气孔26 A向上方供给。
所以，即使不盖罩，在玻璃基板12的输送被中断的情况下，也不会在 室内吹起强空气。
并且，上述气动台22的宽度方向的内部尺寸超过送风风扇28的外径的 1.8倍时，空气流的宽度方向的扩散变大，使玻璃基板12上浮而有必要提高 送风风扇28的转速，由此基于压力损失而产生的压力差变大，在玻璃基板 12的输送被中断的情况下，在室内吹起强空气。当比1倍小时，空气流被节 流，供气孔26A的空气流的速度变得过大。
当以其输送方向的长度的3倍未满的长度设置收容部24A时，送风装置 24的个数过多。试行错误的结果，做成大致3-10倍时效果最好。并且，当超 过10倍时，玻璃基板的上浮困难。气动台单元14在宽度方向上被设置4台，并在各气动台单元14之间设置 能使气体流通的间隙13，所以能够抑制玻璃基板12的宽度方向中央部在输 送过程中隆起。另外，气动台单元14在宽度方向上至少设置4台即可。
在宽度方向设置3台的情况与在宽度方向设置2台相比，中央的隆起大， 有必要设置4台以上。
并且，气动台22的上面部26和送风装置24之间设置过滤器30，所以能 够对玻璃基板12的下表面供给除去了异物的洁净的空气。特别是，过滤器 30被设置在气动台22中的上面部26的下侧附近，所以能够可靠地对玻璃基 板12的下表面提供除去了异物后的洁净的空气。
并且，由于薄板状材料输送装置10具有用于对玻璃基板12向辊16的方 向施力的吸引单元20，所以能够提高玻璃基板12与辊16之间的抵接力，并 能够使玻璃基板12与辊16之间的摩擦力增大。由此，能够抑制玻璃基板12 与辊16之间的滑动。
所以，为了使气动台22之上的上浮的玻璃基板12的下表面的高度与辊 16的辊16A的上端为相等高度而设置驱动单元18，即使将玻璃基板12保持为 接近于平面的形状也能够抑制玻璃基板12与辊16之间的滑动。
进而，玻璃基板12与辊16之间的摩擦力变大，所以能够相应地较大地 设定辊16的旋转加速度以及减速度，有利于输送效率的提高。
并且，吸引单元20被结合在气动台单元14上，气动台单元14的送风装 置24兼用于向吸引单元20供给负压的负压发生装置，所以能够使部件数量 减少，并能够有利于紧凑化和低成本。此外，吸引单元20和外部的负压供 给设置之间不需要配管，所以在该点上也可以减小设置所用的空间。
并且，由于驱动单元18接触在玻璃基板12的下表面并在输送方向上驱 动玻璃基板12，所以薄板状材料输送装置10与仅由空气压力赋予驱动力的 输送装置相比，仅提供仅支承玻璃基板12的空气就足够，所以有利于装置 制造成本的降低，并且由于空气的供给量较少就能满足，所以能够抑制洁 净室内的空气的紊流。进而，由于不需要气体的复杂的控制，所以结构简 单。
接着，对本发明的第2实施方式进行说明。上述第l实施方式中所涉及的薄板状材料输送装置10，各吸引单元20与 各气动台单元14的2台送风装置24中的一台结合，这些送风装置24兼甩于对 吸引单元20供给负压的负压发生装置，对此，如图5 图7所示的第2实施方 式所涉及的薄板状材料输送装置50，各吸引单元52没有被结合在气动台单 元14上，而分别具备负压发生装置54。其它的结构与第l实施方式相同，所 以对于相同的结构使用与图1 图4相同的符号而省略其说明。
另外，负压发生装置54为具备与送风装置24相同的风扇的结构，并构
成为向宽度方向的内侧排出空气的结构。
这样，各吸引单元52没有被结合在气动台单元14上，而分别具备负压
发生装置54，所以能够对基于气动台单元14的使玻璃基板12上浮的力与基
于吸引单元52的将玻璃基板12向辊16施加的力独立地进行控制。所以，根
据玻璃基板12的大小或刚性，能够调节出更精密的上浮力、向辊16施加的力。
进而，假如吸引单元52的上面和玻璃基板12的下表面之间的间隙显著 变小，即使从负压发生装置54所排出的空气的量显著减少，由于负压发生 装置54与送风装置24被独立地设置，所以不会出现抑制向送风装置24供给 空气的情况。所以，能够得到基于气动台单元14的充分的上浮力。
接着，对本发明的第3实施方式进行说明。
如图8所示的第3实施方式所涉及的薄板状材料输送装置60构成为，相 对上述第2实施方式所涉及的薄板状材料输送装置50，吸引单元62的负压发 生装置64和气动台单元14的送风装置24具有向外部开放的间隙且并排设 置，向送风装置24供给从负压发生装置64排出的空气以及外部的空气两者。 对于其它的结构，与上述第2实施方式相同，所以对于相同的结构使用与图 6等相同的符号而省略其说明。
具体而言，负压发生装置64与上述负压发生装置54为相同的结构，其 风扇设置在送风装置24的下方，以使其风扇与送风装置24的风扇配置在同 轴上，并成为朝向送风装置24向上方排出空气。
通过这样向送风装置24供给从负压发生装置64所排出的空气，能够高 效地将空气供给送风装置24，并能够得到使气动台单元M的上浮力增大的 效果。并且，与上述第2实施方式相同，假如，吸引单元62的上面部34与玻璃基板12的下表面之间的间隙显著变小，即使从负压发生装置64所排出的 空气量显著减少，由于负压发生装置64与送风装置24被独立地设置，所以 不会出现抑制向送风装置24供给空气的情况。所以，能够得到气动台单元 14的充分的上浮力。
接着，对本发明的第4实施方式进行说明。
如图9所示的本发明的第4实施方式所涉及的薄板状材料输送装置70， 相对上述第I实施方式所涉及的薄板状材料输送装置IO，为省略了吸引单元 20的结构。对于其它的结构，与上述第l实施方式相同，所以对于相同的结 构使用与图1相同的符号而省略其说明。
这样，由于省略了吸引单元20的情况下气动台单元14也具备送风装置 24，所以，不需要与具备洁净空气设备或鼓风机的供气设备等的外部供气 设置连接用的配管，能够取得与上述第1 第3实施方式相同的抑制设置空 间以及设置成本等的效果。
并且，在上述第1 第5实施方式中，薄板状材料输送装置IO、 50、 60、 70、 80具备8台气动台单元H、 86，对应于玻璃基板12的长度、宽度等设置 7台以下的气动台单元的结构也可以，设置具备9台以上的气动台单元的结 构也可以。
并且，在上述第1 第5实施方式中，气动台单元14、 86为沿输送方向 的长形状，对应于玻璃基板12的长度、宽度等，例如气动台单元14、 86可 以做成输送方向的长度和宽度方向的长度相等的形状，也可以做成在宽度 方向上较长的形状。
并且，在上述第1 第4实施方式中，气动台单元14分别具备2台正压发 生装置24，但是也可以对应例如气动台单元的形状等在各气动台单元上仅 设置l台正压发生装置，设置3台以上的正压发生装置也可以。
并且，在上述第1 第5实施方式中，驱动单元18被设置成，辊16的辊 部16A的上端相比气动台22的上面部26的上表面仅高出玻璃基板12的上浮 量，对应于玻璃基板12的长度、宽度等设置驱动单元18也可以，以使例如 辊16的辊部16A上端相对气动台22的上面部26的上表面相比玻璃基板12的 上浮量还高出若干(例如几毫米左右)。并且，在上述第1 第4实施方式中，薄板状材料输送装置IO、 50、 60、 70具备具有多个辊(驱动部件)16的驱动单元18，但是也可以构成为具备 具有例如带(驱动部件)的驱动单元。并且，也可以构成为具备并设驱动 用辊和带的驱动单元。
并且，也可以形成为，省略驱动单元，将气动台的供气孔倾斜地形成 在上面板，以在输送方向上喷射空气，也可以通过气动台喷射的空气驱动 被输送物。另外，通过气动台供给的空气驱动被输送物的情况下，也可以 省略吸引单元。
并且，在上述第1 第4实施方式中，由气动台单元14、 86向玻璃基板 12的下表面供给的气体为空气，但是也可以对玻璃基板12的下表面供给例 如氮气、稀有气体等的其它的气体。
并且，在上述第1 第4实施方式中为输送玻璃基板12的情况，但只要 是相比面积板厚较薄的薄板状材料，其它材料的输送也能够适用于本发明。 例如也能够适用于金属薄板状材料、树脂薄板状材料等容易产生弯曲的材 料的输送的情况。
工业上利用的可能性
本发明能够用于液晶显示器、等离子显示器等平板显示器使用的大型 且薄的玻璃基板那样的薄板状材料的输送。
权利要求
1、一种薄板状材料输送装置，将气动台单元沿薄板状材料的输送方向以及与输送方向正交的宽度方向排列多个而构成，上述气动台单元具有气动台，用于对所输送的上述薄板状材料的下表面供给气体并且非接触地支承该薄板状材料；和用于向该气动台供给上述气体的送风装置，其特征在于，上述气动台单元在宽度方向至少配置4台，在各气动台单元之间设置气体能够流通的间隙，并且，各气动台单元在上述输送方向被细长地形成，每隔宽度的大致3～10倍的长度设置一台上述送风装置，上述气动台被构成为，上面部为大致平坦的箱状体，在上述上面部形成用于对上述薄板状材料的下表面供给上述气体的多个供气孔，上述送风装置具有连接并设置在上述气动台的下侧的箱状的收容部以及设置在该收容部内的送风风扇。
2、 根据权利要求l所述的薄板状材料输送装置，其特征在于， 上述箱状的收容部的高度为上述风扇高度的3 6倍，并且，上述风扇被配置在上述收容部内的上部。
3、 根据权利要求1或2所述的薄板状材料输送装置，其特征在于， 上述过滤器被设置在上述气动台之中的上述上面部的下方附近。
4、 根据权利要求1至3中任意一项所述的薄板状材料输送装置，其特征 在于，还具备与上述薄板状材料的下表面接触并具有用于将该薄板状材料向预定的 输送方向驱动的驱动部件的驱动单元；和配置在上述驱动部件的附近，用于向上述薄板状材料的下表面供给负 压，并对上述薄板状材料向上述驱动部件的方向施力用的吸引单元。
5、 根据权利要求4所述的薄板状材料的输送装置，其特征在于， 上述吸引单元被结合在上述气动台单元上，该气动台单元的上述送风装置兼用作向上述吸引单元供给上述负压的负压发生装置。
6、 根据权利要求5所述的薄板状材料的输送装置，其特征在于， 上述吸引单元具备负压发生装置。
7、 根据权利要求6所述的薄板状材料的输送装置，其特征在于， 构成为，上述吸引单元的负压发生装置与上述气动台单元的送风装置之间具有向外部开放的间隙且并排设置，将从上述负压发生装置排出的气 体以及上述外部的气体双方供给上述送风装置。
8、 根据权利要求4 7中任一项所述的薄板状材料的输送装置，其特征 在于，上述驱动部件被配置在从下方接触上述所输送的薄板状材料的宽度方 向两端的位置，上述吸引单元被设置成，在上述多个气动台单元中位于宽 度方向两端的气动台单元与上述驱动部件之间的位置上，对上述薄板状材 料的下表面施加负压。
全文摘要
本发明提供一种薄板状材料输送装置(10)具备气动台单元(14)，所述气动台单元具有气动台(22)，用于对玻璃基板(12)的下表面供给气体并非接触地支承玻璃基板(12)；和用于对该气动台(22)供给正压空气的送风装置(24)，并且，气动台单元(14)在输送方向被细长地形成，相对宽度以每大致3～10倍的长度设置一台送风装置(24)，送风装置(24)由与上述气动台(22)的下侧连接而被设置的箱状的收容部(24A)以及设置在该收容部(24A)内的送风风扇(28)构成。
文档编号B65G49/06GK101489893SQ20078002755
公开日2009年7月22日 申请日期2007年10月10日 优先权日2006年10月10日
发明者名仓成之, 小栗勤, 弓场说治, 鸟山典之 申请人:株式会社日本设计工业