一种转塔式倒装芯片拾取装置的制作方法

文档序号:12233764阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种转塔式倒装芯片拾取装置,其特征在于包括旋转驱动机构,第一回转轴(19),第二回转轴(16),进气管支座(23),翻转盘(14),吸嘴固定座(32),直线微调机构;所述旋转驱动机构的输出轴与第一回转轴(19)的左端固连,第一回转轴(19)的右端与第二回转轴(16)的左端固连,翻转盘(14)固定在第二回转轴(16)的右端;旋转驱动机构可以驱动第一回转轴(19)、第二回转轴(16)及翻转盘(14)一同转动;进气管支座(23)套装在第二回转轴(19)上且通过弹性机构被压紧在第二回转轴(16)的左端面,多个进气管(25)固定在进气管支座(23)上,通过进气管支座(23)与第二回转轴(16)内部的导气通道(161)相通;翻转盘(14)上装配有多个吸嘴固定座(32),并且翻转盘(14)与吸嘴固定座(32)之间通过滑轨副连接;各吸嘴固定座(32)上安装有吸嘴(31);过渡气管(33)的左端与第二回转轴(16)的右端固定连接,右端由翻转盘(14)的中央通孔穿过并与吸嘴固定座(32)活动连接;第二回转轴(16)内部的导气通道(161)通过过渡气管(33)、吸嘴固定座(32)内的气流通道(321)与吸嘴(31)相通;回位弹簧(34)的一端与翻转盘(14)连接,另一端与吸嘴固定座(32)连接;吸嘴固定座(32)及其上的吸嘴(31)可在直线微调机构的作用下沿翻转盘(14)的径向移动,并在回位弹簧(34)的作用下回到初始位置。

2.根据权利要求1所述的转塔式倒装芯片拾取装置,其特征在于所述第一回转轴(19)和第二回转轴(16)分别由固定在底板(21)上的立板(22)和轴承座(15)作为支撑,并且可相对于立板(22)、轴承座(15)和进气管支座(23)转动。

3.根据权利要求2所述的转塔式倒装芯片拾取装置,其特征在于所述第二回转轴(16)由前滚动轴承(17)和后滚动轴承(18)支撑于轴承座(15)的内孔中,前滚动轴承(17)由第二回转轴(16)的左轴肩和轴承座(15)的轴肩定位,后滚动轴承(18)由第二回转轴(16)的右轴肩和翻转盘(14)的左端面定位。

4.根据权利要求1所述的转塔式倒装芯片拾取装置,其特征在于所述的弹性机构包括弹簧(27)和手推器(26);手推器(26)位于立板(22)与进气管支座(23)之间,弹簧(27)套装在第一回转轴(19)上,且弹簧(27)的部分簧丝嵌入于立板(22)的环形沟槽内,部分簧丝被压缩于手推器(26)与进气管支座(23)之间。

5.根据权利要求1所述的转塔式倒装芯片拾取装置,其特征在于本发明还包括定位板(24),所述定位板(24)套装在第二回转轴(16)的前端,并通过紧定螺钉与第二回转轴(16)固定连接。

6.根据权利要求1所述的转塔式倒装芯片拾取装置,其特征在于所述吸嘴固定座(32)上固连有限位板(49),翻转盘(14)上固连有限位块(48),当吸嘴固定座(32)沿翻转盘(14)的径向向内移动到限位位置时,限位板(49)与限位块(48)相接触。

7.根据权利要求1所述的转塔式倒装芯片拾取装置,其特征在于所述直线微调机构安装在轴承座(15)上,包括直线电机(41)、移动臂(43);直线电机(41)固定于轴承座(15)上,移动臂(43)与直线电机(41)的动力输出部件固定连接,并且移动臂(43)与轴承座(15)之间通过滑轨副连接;当移动臂(43)在直线电机(41)的作用下做直线运动时,可推动吸嘴固定座(32)沿翻转盘(14)的径向向内移动。

8.根据权利要求7所述的转塔式倒装芯片拾取装置,其特征在于所述直线微调机构还包括直线滑轨滑块(42)、直线导轨(421)、滑块(420);直线电机(41)的动力输出部件通过直线滑轨滑块(42)与移动臂(43)固定连接;直线导轨(421)固定在轴承座(15)上,滑块(420)连接移动臂(43),直线滑轨滑块(42)可在直线电机(41)的作用下带动移动臂(43)沿直线导轨(421)做前后直线运动。

9.根据权利要求1所述的转塔式倒装芯片拾取装置,其特征在于所述进气管支座(23)固定连接四个进气管(25),进气管座(23)靠近第二回转轴(16)的一端端面开有两个对称的弧形凹槽(231),其中有两条对称分布的进气管(25)分别与两个弧形凹槽(231)相通;第二回转轴(16)上均匀分布有四条导气通道(161);四条导流通道(161)的右端分别与四个过渡气管(33)连通;进气管(25)、弧形凹槽(231)、导流通道(161)、过渡气管(33)、气流通道(321)和吸嘴(31)共同构成的真空通道。

10.根据权利要求9所述的转塔式倒装芯片拾取装置,其特征在于所述翻转盘(14)上均匀设有四个与小滑轨底座(47)连接的开槽,四个小滑轨底座(47)通过螺栓连接固定在对应的开槽中,并且小滑轨底板(47)固连小滑轨(45);吸嘴固定座(32)固定在小滑板(46)上,小滑轨(45)与小滑板(46)滑动配合。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1