电子部件输送装置以及电子部件检查装置的制作方法

本发明涉及电子部件输送装置以及电子部件检查装置。

背景技术：

以往已知例如对ic器件等电子部件的电特性进行检查的电子部件检查装置，在该电子部件检查装置中组装有用于输送ic器件的电子部件输送装置(例如参照专利文献1)。

另外，在电子部件检查装置中，将多个ic器件载置于托盘上，按照每个托盘放入装置内，从而托盘由输送部输送到进行检查的检查部。而且，若检查结束，则ic器件被载置于托盘，由输送部按照每个托盘进行输送，排出到装置外。

在这种电子部件输送装置中，在最外包装的盖设置门(开闭部)，例如在产生电子部件的卡纸时、进行维护时，操作人员(作业者)有时打开门。

专利文献1：日本特开平11－111802号公报

例如在电子部件检查装置内充满冷却气体(制冷剂)或内部的温度比较高的情况下，在该状态不优选操作人员(作业者)打开门。因此，操作人员(作业者)直至冷却气体(制冷剂)的浓度下降之前不能够打开门，例如产生电子部件的卡纸时、进行维护等时的作业效率恶化。

技术实现要素：

本发明是为了解决上述的课题的至少一部分而完成的，能够实现为以下的方式或者应用例。

[应用例1]本应用例所涉及的电子部件输送装置的特征在于，具备：输送部，能够输送电子部件；冷却部，通过制冷剂进行冷却，并能够对输送到的上述电子部件进行冷却；第一室，配置有上述冷却部；切换部，能够切换上述制冷剂的排出目的地；以及控制部，对上述切换部的切换进行控制。

根据本应用例所记载的电子部件输送装置，基于控制部的控制，通过切换部能够切换制冷剂的排出目的地，所以能够缩短直至在配置有冷却部的第一室充满的制冷剂的浓度降低之前所花费的时间，并能够例如提高产生电子部件的卡纸时、进行维护等时的作业效率。

[应用例2]在上述应用例所记载的电子部件输送装置中，优选具备指示接受部，接受切换上述制冷剂的排出目的地的指示，若上述指示接受部接受上述指示，则上述控制部控制上述切换部来切换上述制冷剂的排出目的地。

根据本应用例，例如基于操作人员(作业者)对指示接受部进行的指示来切换制冷剂的排出目的地，所以能够更准确且可靠地进行切换。

[应用例3]在上述应用例所记载的电子部件输送装置中，优选在上述指示接受部未接受到上述指示的情况下，上述切换部将上述制冷剂排出到上述第一室，在上述指示接受部接受到上述指示的情况下，上述切换部将将上述制冷剂排出到上述第一室的室外。

根据本应用例，由于向冷却部供给制冷剂，并且通过切换部将制冷剂的排出目的地切换为第一室的室外，所以能够缩短直至冷却部的制冷剂浓度降低之前所花费的时间，并能够提高作业效率。另外，由于冷却部不升温，所以能够继续电子部件的冷却。

[应用例4]在上述应用例所记载的电子部件输送装置中，优选上述制冷剂包括液态氮、以及从液态氮生成的氮气的至少一个。

根据本应用例，通过使用能够容易得到的液态氮、以及能够从液态氮生成的氮气(冷却气体)作为制冷剂，能够以简易的构成容易地进行电子部件的冷却。

[应用例5]在上述应用例所记载的电子部件输送装置中，优选具备与上述第一室不同的第二室，在上述指示接受部接受到上述指示的情况下，上述切换部将上述制冷剂排出到上述第二室。

根据本应用例，通过将制冷剂排出到第二室，能够将制冷剂缓缓地排出到装置外，能够防止大量的制冷剂被一下子排出到装置外。

[应用例6]在上述应用例所记载的电子部件输送装置中，优选上述第二室被配置在比上述第一室更靠垂直方向上方。

根据本应用例，通过将第二室配置在比第一室更靠垂直方向上方，能够抑制比大气轻的制冷剂，例如氮气滞留在地板面附近。

[应用例7]在上述应用例所记载的电子部件输送装置中，优选具备对上述第一室的至少一部分进行开闭的开闭部，上述指示接受部被配置在上述开闭部的附近。

根据本应用例，指示接受部通过配置在开闭部的附近，第能够一边确认第一室的状况一边对指示接受部进行操作，所以能够实现误操作的防止、作业效率的提高等。

[应用例8]在上述应用例所记载的电子部件输送装置中，优选上述指示接受部是按钮开关。

根据本应用例，由于能够通过按下按钮开关来进行指示，所以能够容易且准确地进行指示。

[应用例9]在上述应用例所记载的电子部件输送装置中，优选具备报告装置，上述报告装置报告有无对上述指示接受部的指示。

根据本应用例，操作人员(作业者)利用来自报告装置的报告，能够可靠地察觉有无来自指示接受部的指示。

[应用例10]在上述应用例所记载的电子部件输送装置中，优选上述报告装置使用光以及声音的至少一个来进行报告。

根据本应用例，能够使操作人员(作业者)以较高的准确度识别是否有来自指示接受部的指示。

[应用例11]本应用例的电子部件检查装置的特征在于，具备：输送部，能够输送电子部件；冷却部，通过制冷剂进行冷却，并对输送到的上述电子部件进行冷却；第一室，配置有上述冷却部；切换部，能够切换上述制冷剂的排出目的地；控制部，对上述切换部的切换进行控制；以及检查部，检查上述电子部件。

根据本应用例所记载的电子部件检查装置，由于能够基于控制部的控制，通过切换部切换制冷剂的排出目的地，所以能够缩短直至在冷却部充满的制冷剂浓度降低之前所花费的时间，并能够提高例如产生电子部件的卡纸时、进行维护等时的作业效率。

附图说明

图1是从正面侧观察本发明的电子部件检查装置(第一实施方式)的示意立体图。

图2是图1所示的电子部件检查装置的俯视图。

图3是图1所示的电子部件检查装置的框图。

图4是表示图1所示的电子部件检查装置具备的开闭部以及报告部的图。

图5是表示图1所示的电子部件检查装置具备的开闭部以及报告部的图。

图6是表示图1所示的电子部件检查装置具备的开闭部以及报告部的图。

图7是表示图1所示的电子部件检查装置具备的开闭部以及报告部的图。

图8是表示图1所示的电子部件检查装置具备的开闭部以及指示部的图。

图9是表示图1所示的电子部件检查装置的制冷剂的排出目的地的切换的示意配置图。

图10是表示图1所示的电子部件检查装置的控制动作的一个例子的流程图。

图11是表示本发明的电子部件检查装置(第二实施方式)具备的开闭部以及报告部的图。

图12是表示图11所示的电子部件检查装置具备的开闭部以及报告部的图。

具体实施方式

以下，基于添加附图所示的优选的实施方式，详细地本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置进行说明。

＜第一实施方式＞

图1是从正面侧观察本发明的电子部件检查装置(第一实施方式)的示意立体图。图2是图1所示的电子部件检查装置的俯视图。图3是图1所示的电子部件检查装置的框图。图4～图7是表示图1所示的电子部件检查装置具备的开闭部以及报告部的图。图8是表示图1所示的电子部件检查装置具备的开闭部以及指示部的图。图9是表示图1所示的电子部件检查装置的制冷剂的排出目的地的切换的示意配置图。图10是表示图1所示的电子部件检查装置的控制动作的一个例子的流程图。

以下，参照图1～图10，对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第一实施方式进行说明。此外，以下，为了便于说明，如图1、图2以及图4～图8(第二实施方式中的图11以及图12也同样)所示，将相互正交的3个轴设为x轴、y轴以及z轴。另外，包括x轴和y轴的xy平面为水平的，z轴为垂直。另外，将与x轴平行的方向称为“x方向”、将与y轴平行的方向称为“y方向”、将与z轴平行的方向称为“z方向”。另外，将各方向的箭头朝向的方向称为“正”、将其相反方向称为“负”。另外，本申请说明书所说的“水平”并不限于完全的水平，只要不阻碍电子部件的输送，也包括相对于水平稍微倾斜(例如小于5°左右)的状态。

图1、图2所示的检查装置2(电子部件检查装置)是内置电子部件输送装置100的装置，是例如对作为bga(ballgridarray：焊球阵列)封装的ic器件等电子部件进行输送，并在该输送过程中对电特性进行检查、试验(以下仅称为“检查”)的装置。

检查装置2具备电子部件输送装置100、进行电子部件的检查的检查部16、以及控制这些的动作的控制部80。此外，控制部80包括对低温检查时所使用的制冷剂的供给进行控制的制冷剂控制部84(参照图3)。

电子部件输送装置100具备能够输送电子部件的输送部6、可开闭的开闭部4、能够显示输送部6的工作状态的作为显示部的监视器300、报告开闭部4是否可开闭的作为报告装置的报告部5、通过制冷剂进行冷却并对被输送的电子部件进行冷却的作为冷却部的温度调整部12、以及对制冷剂控制部84输入制冷剂流路的切换指示的指示接受部87。

此外，以下，为了便于说明，以使用ic器件作为电子部件的情况为代表进行说明，将其设为“ic器件90”。ic器件90被载置在作为托盘200的载置部件上。

检查装置2被分成托盘供给区域a1、器件供给区域(以下仅称为“供给区域”)a2、检查区域a3、器件回收区域a4(以下仅称为“回收区域”)、托盘除去区域a5、以及设置在回收区域a4的垂直方向上侧(图1的z方向的正侧)的控制区域a6。而且，ic器件90从托盘供给区域a1到托盘除去区域a5沿箭头α90方向依次经由上述各区域，在中途的检查区域a3进行检查。这样检查装置2具备在各区域输送ic器件90的电子部件输送装置100(处理器)、和在检查区域a3内进行检查的检查部16。另外，其他，检查装置2具备作为报告装置的一个例子的信号灯400、和操作面板700。

此外，对检查装置2而言，配置有托盘供给区域a1、托盘除去区域a5的一方，即，图2中的下侧(y方向的负侧)成为正面侧，配置有检查区域a3的一方，即，图2中的上侧(y方向的正侧)被用作背面侧。

托盘供给区域a1是供给排列了未检查状态的多个ic器件90的托盘200的供材部。在托盘供给区域a1中能够层叠多个托盘200。

供给区域a2是从托盘供给区域a1输送到的托盘200上的多个ic器件90分别被供给至检查区域a3的区域。此外，设置有托盘输送机构11a、11b，该托盘输送机构11a、11b以横跨托盘供给区域a1和供给区域a2的方式逐个沿水平方向输送托盘200。托盘输送机构11a是能够使托盘200按照载置在该托盘200上的每个ic器件90向y方向的正侧，即，沿图2中的箭头α11a移动的移动部。由此，能够将ic器件90稳定地送入供给区域a2。另外，托盘输送机构11b是能够使空的托盘200向y方向的负侧，即，沿图2中的箭头α11b移动的移动部。由此，能够使空的托盘200从供给区域a2移动到托盘供给区域a1。

在供给区域a2中设置有温度调整部(均热板(英语表记：soakplate，中文表记(一个例子)：均温板))12、器件输送头13、托盘输送机构15、以及浓度传感器800。

温度调整部12能够载置多个ic器件90，并一并对这些ic器件90进行加热或者冷却，被称为“均热板”。通过该均热板，预先对由检查部16检查前的ic器件90进行加热或者冷却，并能够调整为适合该检查(高温检查或者低温检查)的温度。本实施方式的温度调整部12具有使用包括液态氮、以及从液态氮生成的氮气中的至少一个的制冷剂来对输送到的ic器件90进行冷却的作为冷却部的功能。此外，在图2所示的结构中，温度调整部12在y方向上配置2个，并被固定。而且，通过托盘输送机构11a从托盘供给区域a1搬入到的托盘200上的ic器件90被输送至任意一个温度调整部12。

器件输送头13被支承为在供给区域a2内能够向x方向以及y方向、进而也向z方向移动。由此，器件输送头13能够负责从托盘供给区域a1搬入到的托盘200与温度调整部12之间的ic器件90的输送、和温度调整部12与后述的器件供给部14之间的ic器件90的输送。此外，在图2中，用箭头α13x表示器件输送头13的x方向的移动，用箭头α13y表示器件输送头13的y方向的移动。

托盘输送机构15是将全部的ic器件90被除去的状态的空的托盘200在供给区域a2内向x方向的正侧，即，箭头α15方向输送的机构。而且，该输送后，空的托盘200通过托盘输送机构11b从供给区域a2返回到托盘供给区域a1。

浓度传感器800是对作为供给区域a2内的制冷剂而所使用的氮气的浓度进行检测的传感器。浓度传感器800与控制部80电连接，浓度传感器800检测出的浓度的信息被发送至控制部80。

检查区域a3是检查ic器件90的区域。在该检查区域a3中设置有检查部16和器件输送头17。另外，也设置以横跨供给区域a2和检查区域a3的方式移动的器件供给部14、和以横跨检查区域a3和回收区域a4的方式移动的器件回收部18。

器件供给部14构成为载置被温度调整部12温度调整过的ic器件90，并能够将该ic器件90输送至检查部16附近的载置部，被称为“供给用往复板”或者仅成为“供给往复机构”。

另外，器件供给部14被支承为能够在供给区域a2与检查区域a3之间沿x方向，即，箭头α14方向往复移动。在图2所示的构成中，器件供给部14在y方向上配置2个，温度调整部12上的ic器件90被输送至任意一个器件供给部14。另外，器件供给部14与温度调整部12同样地构成为能够对载置在该器件供给部14上的ic器件90进行加热或者冷却。由此，针对被温度调整部12温度调整过的ic器件90，能够维持其温度调整状态，并输送到检查区域a3的检查部16附近。

器件输送头17是把持前述的温度调整状态被维持的ic器件90并在检查区域a3内输送该ic器件90的动作部。该器件输送头17被支承为在检查区域a3内能够沿y方向以及z方向往复移动，并成为被称为“分度臂”的机构的一部分。由此，器件输送头17能够将从供给区域a2搬入到的器件供给部14上的ic器件90输送至检查部16，并将其载置。此外，在图2中，用箭头α17y表示器件输送头17的y方向的往复移动。另外，器件输送头17被支承为能够沿y方向往复移动，但并不限于此，也可以支承为也能够沿x方向往复移动。

另外，器件输送头17与温度调整部12同样地构成为能够对把持的ic器件90进行加热或者冷却。由此，能够从器件供给部14到检查部16继续维持ic器件90中的温度调整状态。

检查部16构成为载置作为该载置电子部件的ic器件90，来对该ic器件90的电特性进行检查、试验(检查)的载置部。在该检查部16中设置有与ic器件90的端子部电连接的多个探针。而且，使ic器件90的端子部与探针电连接，即，接触，从而能够进行ic器件90的检查。ic器件90的检查基于存储在控制部80的存储部83(参照图3)中的程序来进行。此外，即使是检查部16，也与温度调整部12同样地，能够对ic器件90进行加热或者冷却来将该ic器件90调整为适合检查的温度。

器件回收部18构成为能够载置检查部16中的检查结束的ic器件90，并将该ic器件90输送至回收区域a4的载置部，被称为“回收用往复板”或者仅称为“回收往复机构”。

另外，器件回收部18被支承为能够在检查区域a3与回收区域a4之间沿x方向，即，箭头α18方向往复移动。另外，在图2所示的构成中，器件回收部18与器件供给部14同样地，在y方向上配置2个，检查部16上的ic器件90被向任意一个器件回收部18输送，并将其载置。该输送由器件输送头17进行。

回收区域a4是回收检查结束的多个ic器件90的区域。在该回收区域a4中设置有回收用托盘19、器件输送头20、托盘输送机构21。另外，在回收区域a4中也准备空的托盘200。

回收用托盘19构成为载置被检查部16检查过的ic器件90的载置部，并被固定为在回收区域a4内不移动。由此，即使是比较多地配置了器件输送头20等各种可动部的回收区域a4，在回收用托盘19上也稳定地载置检查完毕的ic器件90。此外，在图2所示的构成中，回收用托盘19沿着x方向配置3个。

另外，空的托盘200也沿着x方向配置3个。该空的托盘200也成为载置被检查部16检查过的ic器件90的载置部。而且，移动到回收区域a4的器件回收部18上的ic器件90被回收用托盘19以及空的托盘200中的任意一个输送、载置。由此，ic器件90按照检查结果被分类，并被回收。

器件输送头20被支承为在回收区域a4内能够向x方向以及y方向，进而也向z方向移动。由此，器件输送头20能够将ic器件90从器件回收部18向回收用托盘19、空的托盘200输送。此外，在图2中，用箭头α20x表示器件输送头20的x方向的移动，用箭头α20y表示器件输送头20的y方向的移动。

托盘输送机构21是将从托盘除去区域a5搬入到的空的托盘200在回收区域a4内沿x方向，即，箭头α21方向输送的机构。而且，该输送后，空的托盘200被配置于ic器件90被回收的位置上，即，会成为上述的3个空的托盘200中的任意一个。

托盘除去区域a5是回收排列有检查完毕状态的多个ic器件90的托盘200，并除去的除料部。在托盘除去区域a5中能够层叠多个托盘200。

另外，以横跨回收区域a4和托盘除去区域a5的方式设置有逐个向y方向输送托盘200的托盘输送机构22a、22b。托盘输送机构22a是能够使托盘200沿y方向，即，箭头α22a方向往复移动的移动部。由此，能够将检查完毕的ic器件90从回收区域a4向托盘除去区域a5输送。另外，托盘输送机构22b能够使用于回收ic器件90的空的托盘200向y方向的正侧，即，箭头α22b方向移动。由此，能够使空的托盘200从托盘除去区域a5向回收区域a4移动。

对于检查装置2，托盘供给区域a1与供给区域a2之间被第一隔壁61划分，供给区域a2与检查区域a3之间被第二隔壁62划分，检查区域a3与回收区域a4之间被第三隔壁63划分，回收区域a4与托盘除去区域a5之间被第四隔壁64划分。另外，供给区域a2与回收区域a4之间也被第五隔壁65划分。

检查装置2的最外包装被盖覆盖，该盖例如有前盖70、子前盖70a、70b、侧盖71、侧盖72，后盖73，顶盖74。通过组装前盖70、侧盖71、侧盖72、后盖73、顶盖74来构成第一框体，在第一框体形成开闭部4。而且，在第一框体的内部配置有输送部6、检查部16等。此外，以下，将第一框体的内部中的构成供给区域a2的室以及构成检查区域a3的室作为第一室、将构成回收区域a4的室作为第三室来进行说明。

另外，在顶盖74的垂直方向上侧(图1的z方向的正侧)配置有最外包装被前盖861、侧盖862、侧盖863、后盖865、顶盖866围起的作为第二室的流路控制室86(控制区域a6)的第二框体。而且，在第二框体中配置有未图示的配管部件等。此外，回收区域a4(第一框体)与控制区域a6(第二框体)之间被顶盖74划分。

如图2所示，在侧盖71设置有第一门711和第二门712。通过打开第一门711、第二门712，例如能够进行第一室内的维护、ic器件90中的卡纸的解除等。此外，第一门711和第二门712成为沿图2以及图5中箭头α71方向开闭的结构。

同样地，在侧盖72设置有第一门721和第二门722。通过打开第一门721、第二门722，例如能够进行第三室内的作业。此外，第一门721和第二门722成为沿图2中箭头α72方向开闭的结构。

并且，在后盖73也设置有第一门731、第二门732和第三门733。通过打开第一门731，例如能够进行配置有温度调整部12、器件输送头13、托盘输送机构15等的供给区域a2(第一室)内的作业。另外，通过打开第三门733，例如能够进行配置有器件回收部18、回收用托盘19、器件输送头20等的回收区域a4内的作业。另外，在划分检查部16的内侧隔壁66设置有第四门75。而且，通过打开第二门732以及第四门75，例如能够进行检查区域a3内的作业。

此外，第一门731沿图2中箭头α731方向开闭，第二门732沿图2中箭头α732方向开闭，第三门733沿图2中箭头α733方向开闭，第四门75沿图2中箭头α75方向开闭。而且，在关闭各门的状态下，能够确保对应的各室中的气密性、隔热性。

这些的第一门711、第二门712、第一门721、第二门722、第一门731、第二门732、第三门733、以及第四门75分别由可开闭的开闭部4构成。

如图3所示，控制部80具有驱动控制部81、检查控制部82、存储部83、以及制冷剂控制部84。

驱动控制部81例如控制图2所示的托盘输送机构11a、托盘输送机构11b、温度调整部12、器件输送头13、器件供给部14、托盘输送机构15、检查部16、器件输送头17、器件回收部18、器件输送头20、托盘输送机构21、托盘输送机构22a、以及托盘输送机构22b各部的工作。

检查控制部82基于存储在存储部83中的程序来进行配置在检查部16中的ic器件90的电特性的检查等。

存储部83例如由ram等易失性存储器、rom等非易失性存储器、eprom、eeprom、闪存等可改写(可消除、改写)的非易失性存储器等各种半导体存储器(ic存储器)等构成。

控制部80所包含的制冷剂控制部84在检查部16中进行低温检查时，例如指示供给给作为冷却部的温度调整部12的制冷剂(包括液态氮以及从液态氮生成的氮气等)的流路的切换，控制制冷剂的排出目的地。制冷剂控制部84能够在例如操作人员(作业者)判断为需要切换制冷剂的排出目的地的情况下，接受输入到指示接受部87的“切换指示”，对切换部860进行切换制冷剂的排出目的地的指示。

另外，控制部80与作为显示部的监视器300电连接。监视器300构成为能够显示输送部6的工作状态、检查装置2的其它的部位的工作状态。此外，如图2所示，输送部6具有托盘输送机构11a、11b、器件输送头13、器件供给部14、托盘输送机构15、器件输送头17、器件回收部18、器件输送头20、托盘输送机构21、托盘输送机构22a、以及托盘输送机构22b。

操作人员(作业者)能够经由监视器300设定或确认检查装置2的动作条件等。该监视器300具有例如由液晶画面构成的显示画面301，被配置在检查装置2的正面侧上部。如图1所示，在托盘除去区域a5的图中的右侧设置有鼠标台600，该鼠标台600载置操作显示在监视器300上的画面时所使用的鼠标。

另外，相对于监视器300在图1的右下方配置有操作面板700。操作面板700是与监视器300不同地向检查装置2命令所希望的动作的装置。

另外，控制部80与作为报告装置的信号灯400电连接。信号灯400通过发光的颜色的组合，能够报告检查装置2的工作状态等。信号灯400被配置在检查装置2的上部。此外，在检查装置2中内置扬声器500，通过该扬声器500也能够报告检查装置2的工作状态等。

接下来，对侧盖71侧的第一门711以及第二门712详细地进行说明。第一门711以及第二门712是同样的构成，所以以下，代表性地对第一门711进行说明。

如图4以及图5所示，第一门711是相对于形成在侧盖71的开口部713可开闭的门。由此，开闭部4能够在关闭状态下覆盖开口部713的一半(图中的左侧的部分)(参照图4)，能够在打开状态下使开口部713开放(参照图5)。

该第一门711由俯视时几乎呈四边形形状的板部件构成。此外，作为第一门711的大小，也依存于检查装置2的大小，但例如纵的长度(z方向的长度)、横的长度(y方向的长度)都优先为400mm以上且600mm以下，更优选450mm以上且550mm以下。

而且，呈四边形形状的第一门711的4个边(边缘部)41a、41b、41c、41d中的沿垂直方向延伸的边41a通过2个转动支承部42与侧盖71连结。这2个转动支承部42在z方向上分离地配置。另外，各转动支承部42由可转动地支承第一门711的铰链构成。由此，能够将第一门711支承为以与垂直方向，即，z方向平行的轴为转动轴，能够沿图2以及图5中的箭头α71方向转动，并能够顺利地进行其开闭。

另外，在第一门711以及第二门712分别设置有由突起构成的把手714。由此，能够容易地进行第一门711以及第二门712的开闭。

如图6以及图7所示，在侧盖71的开口部713的上部附近(例如0mm以上且50mm以下)固定有气缸740。气缸740是气缸杆740a自由伸缩的装置。而且，在气缸杆740a朝向下方(z方向的负侧)突出时，能够与设置在第一门711的图6中纸面里侧(x方向的正侧)的面的锁定部件43接合。这样的气缸740与控制部80电连接，由控制部80控制其工作。

此外，在本实施方式中，气缸740不仅维持第一门711的关闭状态，还能够维持第二门712的关闭状态。即，气缸740的气缸杆740a能够一并与第一门711的锁定部件43和第二门712的锁定部件43接合。因此，能够一并维持第一门711以及第二门712的关闭状态。

另外，在气缸杆740a朝向上侧方退避时，解除与锁定部件43的接合，成为可打开第一门711的状态(参照图7)。

这样，检查装置2具有切换第一门711的关闭状态的维持、和关闭状态的解除的作为锁定部的气缸740以及锁定部件43。由此，能够防止例如在ic器件90的输送中检查装置2的操作人员(作业者)打开了第一门711。

另外，第一门711的表侧，即，图4中纸面近前侧(x方向的负侧)的面设置有报告开闭部4是否可开闭的作为报告装置的报告部5。报告部5具有由圆形的lcd(liquidcrystaldisplay：液晶显示器)构成的监视器51。另外，监视器51与控制部80电连接，由控制部80控制其工作。

此外，报告部5被设置在第一门711、第一门721、第一门731、第二门732、以及第三门733，但以下，第代表性地对设置在第一门711的报告部5进行说明。

如图5以及图7所示，在可打开第一门711以及第二门712的状态下，在监视器51上显示“ok”这个字符。另一方面，如图4所示，在限制打开第一门711以及第二门712的状态下，在监视器51显示“no”这个字符。

另外，在监视器51中，优选显示“ok”时的字符的颜色与显示“no”时的字符的颜色不同。另外，在监视器51中，优选显示“ok”时的字符的背景的颜色与显示“no”时的字符的背景的颜色不同。通过为这样的构成，能够使操作人员(作业者)容易识别。

在检查装置2中，通过将监视器51设置在开闭部4，即，第一门711，从而在操作人员(作业者)进行第一门711、第二门712的开闭作业时，能够使操作人员(作业者)以较高的准确度视觉确认。

另外，如图4所示，监视器51优选配置于从设置检查装置2的设置面m起600mm以上且2000mm以下的高度h的位置上，更优选配置于900mm以上且1700mm以下的高度h的位置上。由此不论操作人员(作业者)的身高，都能够容易观察监视器51，并且，能够使操作人员(作业者)以较高的准确度视觉确认监视器51。

接下来，参照图8，对后盖73侧的第二门732、第三门733、第四门75、以及设置在第二门732与第三门733之间的指示接受部87进行说明。此外，在后盖73侧也设置有第一门731，但由于是与第三门733同样的构成，所以省略此处的说明。

如图8所示，设置在后盖73侧的第二门732是相对于形成在后盖73的开口部738可开闭的门。由俯视时几乎呈四边形形状的板部件构成，第二门732的4个边(边缘部)45a、45b、45c、45d中的沿垂直方向延伸的边45a通过2个转动支承部42与后盖73连结。这2个转动支承部42在z方向上分离地配置。另外，在第二门732中，在后述的第四门75的对置位置上设置有能够将第四门75开闭的开口部739。

同样地，设置在后盖73侧的第三门733是相对于形成在后盖73的开口部737可开闭的门。由俯视时几乎呈四边形形状的板部件构成，第三门733的4个边(边缘部)45a、45b、45c、45d中的沿垂直方向延伸的边45a通过2个转动支承部42与后盖73连结。这2个转动支承部42在z方向上分离地配置。

另外，各转动支承部42由可转动地支承第二门732以及第三门733的铰链构成。由此，能够将第二门732以及第三门733支承为以与垂直方向(z方向)平行的轴为转动轴，将第二门732沿箭头α732方向转动，另外将第三门733沿箭头α733方向转动。

第四门75是相对于形成在后盖73侧的内侧隔壁66(参照图2)的开口部(未图示)可开闭的门。由俯视时呈比第二门732小的几乎四边形形状的板部件构成，第四门75的4个边(边缘部)46a、46b、46c、46d中的沿垂直方向延伸的边46a通过2个转动支承部42与内侧隔壁66连结。这2个转动支承部42在z方向上分离地配置，能够将第四门75支承为以与垂直方向(z方向)平行的轴为转动轴，沿箭头α75(参照图2)方向转动。此外，第四门75被配设于设置在第二门732的开口部739内可转动的位置。

此外，在第二门732、第三门733、以及第四门75分别设置有由突起构成的把手714。由此，能够容易地进行第二门732、第三门733、以及第四门75的开闭。

另外，如图8所示，在后盖73侧的第二门732与第三门733之间设置有指示接受部87，该指示接受部87是按钮开关，例如在操作人员(作业者)判断为需要切换制冷剂的排出目的地的情况下，对该指示接受部87输入切换的指示。此外，第二门732和第三门733构成对供给区域a2以及检查区域a3(第一室)的至少一部分进行开闭的开闭部4。这样，指示接受部87被配设在对供给区域a2以及检查区域a3(第一室)的至少一部分进行开闭的开闭部4的附近。指示接受部87与制冷剂控制部84电连接，由指示接受部87接受到的切换的指示被送至制冷剂控制部84。

这样，通过将指示接受部87配置在开闭部4的附近，操作人员(作业者)能够一边确认供给区域a2(第一室)内、检查区域a3(第一室)内的状况一边对指示接受部87进行操作(指示)，所以能够实现误操作的防止、作业效率的提高等。另外，指示接受部87是按钮开关，从而能够容易且准确地进行操作人员(作业者)的指示。

如上所述，检查装置2进行高温检查或者低温检查。特别是在进行低温检查的情况下，温度调整部12、ic器件90等被冷却而大气中的水分结露或结冰。若产生这样的结露、结冰，则有可能例如器件输送头17等的动作产生不良状况、ic器件90的检查不能够正确地完成。为了应对该情况，在检查装置2内特别是供给区域a2(第一室)内、检查区域a3内(第一室)，为了使各个的区域a2、a3的内侧的水分量减少(成为干燥状态)，而将作为制冷剂所使用的氮气作为干气而排出。

因此，在温度调整部12等的冷却时，特别是供给区域a2(第一室)内、检查区域a3(第一室)内，氮气(冷却气体)的浓度变高。因此，例如在产生电子部件的卡纸时、进行维护等时，不优选操作人员(作业者)在该状态下进行开闭部4的开操作，需要停止制冷剂的供给而等待到氮气的浓度下降。另外，若停止制冷剂的供给，则温度调整部12等的温度上升。

因此，在本实施方式中，成为对防止上述问题有效的构成。以下，参照图9，对其构成进行说明，但将包括供给区域a2以及检查区域a3的室作为第一室，将收容流路控制室86(控制区域a6)的室作为第二室进行说明。图9是表示电子部件检查装置(检查装置2以及电子部件输送装置100)中的制冷剂的排出目的地的切换的示意配置图。此外，以下，例示在低温检查中使检查装置2暂时停止，打开第三门733或者第二门732以及第四门75来进行第一室内的维护的情况来进行说明。另外，检查装置2的工作中如图4所示，在报告部5显示意味不能够进行第三门733或者第二门732以及第四门75等开闭部4的开闭的“no”这个字符。

如图9所示，本实施方式的构成具备接受切换制冷剂的排出目的地的指示的指示接受部87、以及在指示接受部87接受到指示的情况下，指示制冷剂的排出目的地的制冷剂控制部84(控制部80)。并且，本实施方式的构成具备构成制冷剂的流路的液态氮罐121、热交换器122、对输送到的ic器件90进行冷却的温度调整部12、以及根据来自制冷剂控制部84的指示来切换制冷剂的排出目的地的切换部860。

此外，此处的制冷剂包括液态氮、以及从液态氮生成的氮气(冷却气体)的至少一个。通过使用这样的、作为制冷剂而能够容易得到的液态氮以及能够从液态氮生成的氮气(冷却气体)，能够以简易的构成容易地进行冷却。

首先，在低温检查中，从液态氮罐121供给的液态氮通过热交换器122一部分被冷却气化，并被供给至温度调整部12。在指示接受部87未接受到指示的情况下，即进行通常的低温检查的状态下，冷却了温度调整部12的冷却气体(氮气)如前述作为用于使供给区域a2、检查区域a3(第一室)内的水分量减少(为干燥状态)的干空气，经由构成切换部860的第一阀123从设置在第一室内的第一排出口125排出到第一室内。此时，构成切换部860的第二阀124被关闭。

接下来，对打开第三门733或者第二门732以及第四门75，需要进行第一室内的维护的情况进行说明。这种情况下，操作人员(作业者)通过按下作为指示接受部87的按钮开关来指示作为冷却了温度调整部12的制冷剂的冷却气体(氮气)的排出目的地的切换。在指示接受部87进行了切换的指示的情况下，根据来自制冷剂控制部84的指示，关闭切换部860的第一阀123，打开第二阀124。由此，供给到温度调整部12的冷却气体(氮气)的排出目的地从第一室内的第一排出口125切换为设置在作为第一室的室外(与第一室不同的室)的第二室内的第二排出口126。

这样，在指示接受部87进行了切换的指示的情况下，冷却气体(氮气)的排出目的地从第一室内被切换为第二室内，而成为向温度调整部12内继续供给的状态。因此，通过维持温度调整部12中的ic器件90的冷却，并且停止冷却气体(氮气)向第一室内的排出，能够使直到第一室内的冷却气体(氮气)浓度降低之前所花费的时间缩短。另外，即使在修复不良状况并开始低温检查的情况下，也无需重新进行使温度调整部12的温度从常温下降至低温的冷却动作，能够缩短ic器件90的冷却的时间。根据这些，能够提高例如ic器件90产生卡纸等时、进行维护等时的作业效率。

另外，通过向最外包装为前盖861、侧盖862、侧盖863、后盖865、以及顶盖866形成的第二框体围起的作为第二室的流路控制室86(控制区域a6)排出冷却气体(氮气)，能够将冷却气体(氮气)缓缓地排出到装置外，并能够防止大量的冷却气体(氮气)被一下子排出到装置外。

另外，作为此时的冷却气体(氮气)的排出目的地的第二室(流路控制室86(控制区域a6))被配置在器件回收区域a4的垂直方向上侧(图1的z方向的正侧)，即比第一室更靠垂直方向上侧，所以比大气轻的冷却气体(氮气)朝向上方(垂直方向上侧)上升，能够抑制滞留在地板面附近。

以下，基于图10所示的流程图，对控制部80的控制动作进行说明。此外，以下，将包括供给区域a2以及检查区域a3的室作为第一室、将收容流路控制室86(控制区域a6)的室作为第二室进行说明。另外，以下，对在低温检查中使检查装置2暂时停止，打开第三门733或者第二门732以及第四门75来进行第一室内的维护的情况进行说明。另外，检查装置2的工作中如图4所示，在报告部5显示“no”这个字符。

首先，在步骤s100中，操作人员(作业者)进行操作面板700的操作，使检查装置2的工作停止，按下指示接受部87的按钮开关，并且按下气缸740以及锁定部件43的接合的解除按钮(未图示)。由此，冷却气体(氮气)的排出目的地从第一室被切换为第二室。此外，向温度调整部12继续供给冷却气体(氮气)，维持温度调整部12的冷却状态。

另外，在指示接受部87的按钮开关被按下的情况下，优选控制部80例如使用光、声音等来报告有无对指示接受部87的指示。这样的报告能够由作为报告装置的、例如监视器51(报告部5)、信号灯400进行。通过进行这样的报告，操作人员(作业者)能够可靠地察觉、识别有无对指示接受部87的指示，即是否进行了排出目的地的切换的指示。

而且，在步骤s101中，通过浓度传感器800对冷却气体(氮气)的排出停止的供给区域a2内的冷却气体的浓度n进行检测。而且，在步骤s102中，计算直到浓度n比预先存储在存储部83中的规定值n0小之前所需要的时间，即，至可打开第一门711以及第二门712为止的作为信息的剩余时间。该计算通过对浓度n随着时间的经过而降低进行实验来测量，并基于得到的标准曲线(未图示)来进行。

接下来，在步骤s103中，将步骤s102中所计算出的时间显示于监视器51(参照图6)。此外，在图6中，在监视器51显示“15”这个数字，表示剩余时间是15秒。显示在该监视器51上的剩余时间随着时间的经过而倒计时，显示的数字减少。

这样，监视器51显示(报告)至能够打开第一门711以及第二门712为止的作为信息的剩余时间。由此，例如，操作人员(作业者)能够掌握至能够打开第一门711以及第二门712为止的时间。因此，操作人员(作业者)能够在直至进行打开第一门711以及第二门712的作业之前进行其它的作业，并能够实现作业效率的提高。

而且，在步骤s104中，对浓度传感器800检测出的冷却气体的浓度n、和存储在存储部83中的规定值n0进行比较。此外，规定值n0是表示冷却气体的浓度的值，是低到对操作人员(作业者)充分安全的程度的值。

在步骤s105中，在判断为浓度n低于规定值n0的情况下，解除气缸740以及锁定部件43的接合(参照图7)。而且，在步骤s106中，报告可打开第一门711以及第二门712。

在本实施方式中，如图7所示，在监视器51上显示“ok”这个字符。由此，能够使操作人员(作业者)识别到能够打开第一门711以及第二门712。因此，虽然冷却气体的浓度n的降低不充分，但能够防止操作人员(作业者)使第一门711以及第二门712成为打开状态。因而，能够确保操作人员(作业者)的安全。

此外，若在气缸740以及锁定部件43接合的关闭状态下，操作人员(作业者)要打开第一门711以及第二门712，取决于其力，但气缸740以及锁定部件43有可能损坏。在检查装置2中，构成为解除气缸740以及锁定部件43的接合，在能够打开第一门711以及第二门712之后报告部5将该情况报告。由此，能够防止气缸740以及锁定部件43损坏。

另外，在步骤s106中，不光对报告部5报告能够打开第一门711以及第二门712，在监视器300也显示该情况。即，监视器300显示第一门711以及第二门712是否可开闭。由此，即使操作人员(作业者)停留在远离第一门711以及第二门712的地方，也能够使操作人员(作业者)识别到可打开第一门711以及第二门712。

另外，在检查装置2中，报告部5使用光来报告，所以能够使操作人员(作业者)以较高的准确度识别是否可进行第一门711以及第二门712的开闭。

另外，第一门711以及第二门712由具有透光性的材料构成。因此，操作人员(作业者)能够视觉确认气缸740以及锁定部件43的工作状态。即，可以说报告部5具备能够视觉确认气缸740以及锁定部件43的工作状态的窗部。由此，例如，即使省略监视器51来简化报告部5的构成，操作人员(作业者)通过视觉确认气缸740以及锁定部件43的工作状态，也能够掌握是否可进行第一门711以及第二门712的开闭。

根据上述的第一实施方式所涉及的电子部件输送装置100，能够通过切换部860将作为制冷剂的液态氮、冷却气体(氮气)的排出目的地从第一室切换为第二室。由此，能够缩短直到在配置有作为冷却部的温度调整部12的第一室(供给区域a2、检查区域a3)内充满的制冷剂(液态氮冷却气体(氮气))的浓度降低之前所花费的时间，例如能够提高产生ic器件90的卡纸时、进行维护等时的作业效率。

另外，切换部860基于对指示接受部87的指示来切换该制冷剂的排出目的地，该指示接受部87接受切换制冷剂(液态氮、冷却气体(氮气))的排出目的地的指示。由此，例如基于操作人员(作业者)对指示接受部87进行的指示来切换制冷剂(液态氮、冷却气体(氮气))的排出目的地，所以能够更准确且可靠地进行切换。

另外，在指示接受部87未接受到指示的情况下，通过切换部860使制冷剂(液态氮、冷却气体(氮气))排出到第一室，而在指示接受部87接受到指示的情况下，使制冷剂(液态氮、冷却气体(氮气))排出到第一室的室外(第二室)。由此，能够缩短直到配置有作为冷却部的温度调整部12的供给区域a2内、检查区域a3等第一室内的制冷剂浓度降低之前所花费的时间，并能够提高作业效率。

另外，通过作为报告装置的监视器51(报告部5)、信号灯400，能够使操作人员(作业者)识别切换指示的有无、开闭部4是否可开闭。因此，例如虽然是电子部件输送装置100的内侧对操作人员(作业者)来说不优选的状态，但能够防止操作人员(作业者)使开闭部4成为打开状态。因此，能够确保操作人员(作业者)的安全。

此外，在具有电子部件输送装置100和检查部16的检查装置2中，也起到与上述同样的效果。

此外，上述，示出将冷却温度调整部12后的制冷剂(液态氮、冷却气体(氮气))的排出目的地切换的例子来进行了说明，但并不限于此。在具有冷却ic器件90的功能例如器件供给部14、检查部16以及器件输送头17等中也进行冷却的情况下，除了温度调整部12所使用的制冷剂之外，还可以切换器件供给部14、检查部16以及器件输送头17等中使用于冷却的制冷剂(液态氮、冷却气体(氮气))的排出目的地。

＜第二实施方式＞

图11以及图12是表示本发明的电子部件检查装置(第二实施方式)具备的开闭部以及报告部的图。

以下，参照图11以及图12，对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第二实施方式进行说明，但以与前述的实施方式的不同点为中心进行说明，同样的事项标记相同的符号，并省略其说明。

在检查装置2a中，报告部5a具有设置在作为窗部的第一门711的“ok”这样的第一显示h1、设置在第一门711的“no”这样的第二显示h2、以及与气缸杆740a连结的作为识别部的识别板52。

第一显示h1被设置在第一门711的z方向的正侧且y方向的负侧的角部附近。该第一显示h1是表示能够使第一门711以及第二门712成为打开状态的显示。

第二显示h2作为第一显示h1不同的位置的一个例子而位于z方向的负侧。该第二显示h2是表示限制使第一门711以及第二门712成为打开状态的显示。

这些第一显示h1以及第二显示h2例如由墨打印出的字、粘接物等构成。另外，优选第一显示h1以及第二显示h2例如是白色等比较淡的颜色。

识别板52由被固定在气缸杆740a的z方向的负侧的端部的板部件构成。另外，识别板52例如具有黑色等比较浓的颜色。

如图12所示，识别板52构成为在气缸杆740a退避的状态、能够成为打开状态的状态下，位于经由第一门711与第一显示h1重叠的第一位置。另一方面，识别板52构成为在气缸杆740a突出的状态，即，限制成为打开状态的状态下，位于经由第一门711与第二显示h2重叠的第二位置。

在第一显示h1与识别板52重叠的状态下，通过识别板52，能够容易使第一显示h1比第二显示h2显眼。由此，操作人员(作业者)能够容易地识别出可成为打开状态。另一方面，在第二显示h2与识别板52重叠的状态下，通过识别板52，能够容易使第二显示h2比第一显示h1显眼。由此，操作人员(作业者)能够容易地识别出限制成为打开状态。

这样，识别板52与气缸杆740a的工作状态连动地在第一位置与第二位置之间移动，从而能够识别第一门711以及第二门712是否可开闭。

根据这样的本实施方式，能够省略第一实施方式的监视器51。因此，能够使报告部5a的构成简单，并且能够实现低成本化。

以上，将本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置针对图示的实施方式进行了说明，但本发明并不限于此，构成电子部件输送装置以及电子部件检查装置的各部能够置换为可发挥同样的功能的任意的构成。另外，也可以附加任意的构成物。

另外，本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置也可以组合上述各实施方式中的任意2个以上的构成(特征)。

此外，在上述各实施方式中，报告部报告开闭部是否可开闭，即，是报告可打开、和禁止打开这两种意思，在本发明中并不限于此，显示可打开、和禁止打开中的至少一方即可。

另外，在上述第一实施方式中，报告部通过光进行报告，但并不限于此，使用光以及声音的至少一方来进行报告即可。即，可以省略通过光的报告而仅利用声音进行报告，也可以使用光和声音两者来进行报告。

另外，在上述各实施方式中，作为报告装置的报告部被设置在开闭部，但在本发明中并不限于此，例如也可以设置在开闭部的附近等从开闭部偏离的位置。

另外，报告部的显示部也可以是使用了led(lightemittingdiode：发光二极管)的监视器。

另外，在上述各实施方式中，开闭部通过转动而进行开闭，但在本发明中并不限于此，例如也可以通过沿x方向、y方向以及z方向中的任意一个方向滑动来进行开闭操作。

另外，在上述第一实施方式中，报告部显示剩余时间作为直到可打开开闭部之前的信息的一个例子，但在本发明中并不限于此，例如也可以通过百分数显示报告剩余时间。

附图标记说明

2、2a…检查装置，4…开闭部，42…转动支承部，43…锁定部件，5、5a…报告部，51…监视器，52…识别板，6…输送部，11a、11b…托盘输送机构，12…温度调整部，13…器件输送头，14…器件供给部，15…托盘输送机构，16…检查部，17…器件输送头，18…器件回收部，19…回收用托盘，20…器件输送头，21、22a、22b…托盘输送机构，61…第一隔壁，62…第二隔壁，63…第三隔壁，64…第四隔壁，65…第五隔壁，66…内侧隔壁，70…前盖，71…侧盖，711…第一门，712…第二门，72…侧盖，721…第一门，722…第二门，73…后盖，731…第一门，732…第二门，733…第三门，74…顶盖，740…气缸，75…第四门，80…控制部，81…驱动控制部，82…检查控制部，83…存储部，84…制冷剂控制部，86…流路控制部，87…指示接受部，90…电子部件作为的ic器件，100…电子部件输送装置，200…托盘，300…监视器，301…显示画面，400…信号灯，500…扬声器，600…鼠标台，700…操作面板，800…浓度传感器，a1…托盘供给区域，a2…供给区域，a3…检查区域，a4…器件回收区域(回收区域)，a5…托盘除去区域，α11a、α11b、α13x、α13y、α14、α15、α17y、α18、α20x、α20y、α21、α22a、α22b、α71、α72、α731、α732、α733、α75、α90…箭头。