搬送装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种搬送装置，能够沿包括曲线状路线的搬送路线搬送搭载了被搬送物的非自行式的搬送用台车，并且在上述搬送路线的整个区域或者一部分上形成与上述搬送用台车连续的台面。
【背景技术】
[0002]作为能够沿搬送路线搬送搭载了被搬送物的搬送用台车并且形成供作业人员乘坐并进行作业的连续的作业台面(作业平面)的搬送装置，具有如下所述的装置:在使搬送用台车(1)的端部彼此相互抵接而形成连续的作业台面的直线状的作业线(后推(对应日语:後押L)行驶区间(3))中，通过台车连结装置(台车连结机构(9)、连结开始机构(10)、连结解除机构(11))将前后的搬送用台车(1，1)设成连结的状态并通过后推用驱动机构(5A)前进恒速搬送，在将从上述作业线出来的搬送用台车(1)送回到上述作业线的进口的返程线(高速行驶区间(4))中，解除从上述作业线出来的搬送用台车(1)的连结并通过高速驱动机构(5C)以高速进行搬送(例如，参照专利文献1。)。
[0003]另外，具有如下所述的装置:将搬送用台车(可动体(10))的相对置的前后部间经由连结装置(30)在横向上相对转动自如地连结，通过搬送用台车组(可动体(10)组)和连结装置(30)组形成列车状的环状连续体(90)，并通过进给装置(50)来进行驱动(例如，参照专利文献2。)。
[0004]进而，具有如下所述的装置:相对搬送方向将搬送用台车(托盘(2))分割成多个，以使各分割搬送用台车(分割托盘(2A、2B、2C))在水平面内以相互能够转动的方式进行连结，并且将上述搬送用台车的搬送方式设置为如在后续的上述搬送用台车碰撞到前方行进的上述搬送用台车时后续的上述搬送用台车进行后推那样的自由流动(free flow)方式(例如，参照专利文献3 ο)。
[0005]进而另外，具有如下所述的装置:通过位于单台或者多台的台车体(1Α、1Β)以及上述台车体(1Α、1Β)的搬送方向前侧或者后侧且能够与上述台车体(1Α、1Β)绕垂直轴相对转动地连结的连结台车体(2Α、2Β)来构成搬送用台车(1)的各个台车，将上述台车体(1Α、1Β)的上表面以及上述连结台车体(2Α、2Β)的上表面设成大致同一水平面，设置将位于搬送方向前后的搬送用台车(1，1)间连结的连结机构(C)，通过连结机构(C)连结搬送用台车的多个台车(1，1，...)来作为搬送用台车组(Α)并配置于包括曲线状路线(C1)的搬送路线，构成以恒速搬送搬送用台车组(Α)并将上述台车体(1Α、1Β)以及上述连结台车体(2Α、2Β)的上表面设为作业台面(Β)来进行部件组装作业的作业线(L1)，并且，设置将搬送用台车组(Α)的搬送方向前端的搬送用台车(1)分离并以高速进行搬送且与搬送用台车组(Α)的后端连结的送回线(L2)，在该送回线(L2)上，针对从搬送用台车组(Α)分离后的单体的搬送用台车
(1)进行被搬送物(W)的卸载作业以及新的被搬送物(W)的装载作业(例如，参照专利文献40)0
[0006]另外，作为在半导体制造线上输送硅晶片的晶片移载装置，具有如下所述装置:通过液体驱动源(6)引起加入到作为循环流路的流体路线(5)的纯水(4)向一定方向流动，通过该流动，使搭载收纳了硅晶片(1，1，...)的晶片载体(2)并在纯水(5)上漂浮的浮子(3)沿流体路线(5)移动，在制造装置(9a、9b)附近，用浮子挡块(7a、7b)使其停止，通过机械手(8a、8b)来进行从浮子(3)向制造装置(9a、9b)的晶片载体(2)的搬入、以及从制造装置(9a、9b)向浮子(3)的晶片载体(2)的搬出(例如，参照专利文献5。)。
[0007]现有技术文献
[0008]专利文献
[0009]专利文献1:日本特开2006 —117079号公报
[0010]专利文献2:日本特开平08 — 282481号公报
[0011]专利文献3:日本特开2007 —112605号公报
[0012]专利文献4:日本特开2013 —107731号公报
[0013]专利文献5:日本特开昭63 —102238号公报
【发明内容】
[0014]发明所要解决的问题
[0015]如专利文献1那样的搬送装置是在直线状的作业线以外(返程线)解除搬送用台车的连结并通过高速驱动机构以高速进行搬送的构成，所以在直线状的作业线以外不能够形成供作业人员乘坐并进行作业的连续的作业台面(作业平面)，因此，作业效率以及空间利用率变差。
[0016]另外，如专利文献2那样的搬送装置是通过进给装置来驱动列车状的环状连续体整体的构成，所以在对于搬送用台车进行被搬送物的装卸时，需要使环状连续体整体停止，因此，作业效率变差。
[0017]进而，如专利文献3那样的搬送装置是不连结前后的搬送用台车通过后续的搬送用台车进行后推的自由流动方式的构成，所以存在前后的搬送用台车间产生间隙的情况，因此，很难可靠地形成供作业人员乘坐的连续的作业台面(作业平面)。
[0018]对此，根据如专利文献4那样的搬送装置，通过位于单台或者多台台车体以及上述台车体的搬送方向前侧或者后侧且能够与上述台车体绕垂直轴相对转动地连结的连结台车体来构成搬送用台车的各个台车，将上述台车体的上表面以及上述连结台车体的上表面设成大致同一水平面，因此，能够设成通过连结机构将多个搬送用台车连结而作为搬送用台车组的台车体以及将连结台车体的上表面设为供作业人员乘坐并进行部件组装作业的连续的作业台面，并且能够将这样的搬送用台车组配置于包括曲线状路线的搬送路线。
[0019]所以，即使在曲线状路线也能够进行部件组装作业，因此，能够提高作业效率以及空间利用率。
[0020]并且，由于在送回线上对从搬送用台车组分离后的单体的上述搬送用台车进行被搬送物的装卸作业，因此无需在被搬送物的装卸作业之时使作业线上的搬送用台车组停止，能够在作业线上以恒速搬送搬送用台车组并进行作业，因此作业效率进一步提高。
[0021]进而，作业线中的搬送用台车组通过连结机构而连结有前后的搬送用台车，因此，即使存在搬送速度的变动等情况，也不会在前后的搬送用台车间产生间隙，因此能够可靠地形成供作业人员乘坐的连续的作业台面(作业平面)。
[0022]如专利文献4那样的搬送装置是具有这样的特征的装置，但是由于是通过连结机构将多个搬送用台车连结而作为搬送用台车组，在其上表面具备较大的作业台面的构成，所以搬送用台车组的重量增大，行驶阻力变大，因此需要在用驱动装置进行驱动时赋予较大的推力。
[0023]因此，需要使驱动装置大容量化，所以存在能量消耗增大的课题。
[0024]而且，例如在用摩擦式驱动装置驱动搬送用台车组的构成中，需要对搬送用台车的被摩擦面用较大的力推压摩擦滚柱，由于需要提高搬送用台车的框架的强度，因此还存在制造成本增大，并且加快摩擦滚柱表面的橡胶的破损、变形或者剥离等的劣化的课题。
[0025]另外，这些课题在如专利文献1?3那样的搬送装置中也同样地也存在。
[0026]另外，如专利文献5那样的搬送装置是通过液体驱动源引起加入到水路的纯水向一定方向流动而搬送浮子的构成，所以由于在驱动系统中滑动部少而难以产生尘埃且即使纯水飞溅也不会污染晶片，因此能够提高半导体制造线的成品率。
[0027]但是，由于通过水流来搬送浮子，使搬送速度恒定是困难的，所以对于以恒速来搬送形成作业台面的搬送用台车组并进行作业的作业线来说并不能适用。
[0028]而且，在沿搬送方向(前进方向)搬送长的被搬送物的情况下，若在搬送方向上增长浮子，则需要增大曲线状路线(角部)的曲率半径，因此水路的布局被限制。
[0029]在此，本发明鉴于上述的情况，所要解决的是提供一种搬送装置，在能够沿包括曲线状路线的搬送路线搬送搭载了被搬送物的非自行式的搬送用台车，并且在上述搬送路线的整个区域或者一部分能够形成与上述搬送用台车连续的台面的搬送装置中，由于能够抑制由搬送用台车组的重量的增大引起的行驶阻力的增大，因此能够抑制能量消耗、制造成本的增大，并且在用摩擦式驱动装置进行驱动时，不会出现摩擦滚柱表面的橡胶的破损、变形或者剥离等的劣化加快的情况。
[0030]用于解决问题的手段
[0031]为了解决上述课题，本发明涉及的搬送装置能够沿着包括曲线状路线的搬送路线搬送搭载了被搬送物的非自行式的搬送用台车，并且在上述搬送路线的整个区域或者一部分上形成与上述搬送用台车连续的台面，其特征在于，上述搬送装置具备:行驶轨，支承上述搬送用台车的行驶车轮，且被沿上述搬送路线敷设;导轨，沿着上述搬送路线弓I导上述搬送用台车；驱动装置，驱动上述搬送用台车；以及水路，沿着上述搬送路线形成，并贮存有水，上述搬送用台车将上表面设成大致相同的水平面的多个框架体能够相对地在水平方向上弯曲地连结，并且在上述框架体的各个框架体或者上述框架体的任意框架体的下方固定有一部分或者全部没入到贮存于上述水路内的水中的浮子体(技术方案1)。
[0032]根据这样的构成，由于将多个框架体能够相对地在水平方向上弯曲地连结而构成搬送用台车，并且在框架体的各个框架体或者框架体的任意框架体的下方固定有浮子体，所以多个框架体以沿着曲线状路线的方式在水平方向上弯曲，固定于框架体的下方的浮子体在沿着曲线状路线的水路内移动。
[0033]因此，即使在搬送方向上搬送较长的被搬送物的情况下，也无需增大曲线状路线的曲率半径，包括曲线状路线的搬送路线(水路)的布局不被限制。
[0034]而且，使将上表面设置成大致相同的水平面的多个框架体能够相对地在水平方向上弯曲地连结而作为搬送用台车，所以即使在曲线状路线上，作业人员也能够乘坐于台车上表面来进行作业，因此能够提高作业效率以及空间利用率。
[0035]并且进一步，由于通过驱动装置驱动搬送用台车，所以能够将搬送用台车的搬送速度设置成恒定，因此能够构成以恒速搬送形成连续的台面的搬送用台车且进行作业的作业线。
[0036]而且，由于形成连续的台面台车重量增加，但在框架体的各个框架体或者上述框架体的任意框架体的下方固定有浮子体，这些浮子体没入到贮存于水路内的水中，所以，通过作用于浮子体的浮力，作用于行驶轨的台车的载荷变小