1.一种单塔低温精馏回收氩气的装置，其特征在于，包括以下设备：
回收氩气压缩机(1)，第一粗氩气预冷机(3)，除油器，除氧器(6)，冷却器(7)，第二粗氩气预冷机(8)，纯化器(9)，换热器(11)，精馏冷箱(10)；其中，所述精馏冷箱(10)中设置有：再沸器(12)，精馏塔(14)，冷凝蒸发器(16)及冷凝蒸发器外壳(17)；上述各设备之间的连接关系如下：
所述回收氩气压缩机(1)、所述第一粗氩气预冷机(3)、所述除油器通过管线依次串联，活性炭吸附器(5)的出口经管线连接至所述除氧器(6)的输入管线，系统外氢气输入管线也连接至所述除氧器(6)的输入管线，而所述除氧器(6)的输入管线连通至所述除氧器(6)的进口；所述除氧器(6)的出口经管线连接至所述冷却器(7)之后通过管线依次串联有所述第二粗氩气预冷机(8)和所述纯化器(9)，所述纯化器(9)的出口经管线连接至所述换热器(11)的干燥粗氩气入口，换热器(11)的干燥粗氩气出口经管线连接至设置在精馏塔(14)底部的再沸器(12)的入口，所述再沸器(12)的气液混合流体出口经管线连接至所述精馏塔(14)的塔体中上部；
所述精馏塔(14)塔顶的氩气出口管线连接至换热器(11)的纯氩气入口，所述换热器(11)的纯氩气出口连接纯氩气输出管线，该纯氩气输出管线从精馏冷箱(10)向外延伸，用于输出纯氩气产品。
2.根据权利要求1所述的单塔低温精馏回收氩气的装置，其特征在于，所述精馏塔(14)塔顶的氩气出口还包括第二管线，所述第二管线连接至冷凝蒸发器(16)的冷凝侧，所述冷凝蒸发器(16)的冷凝侧的冷凝氩液出口通过回流管线连接至所述精馏塔(14)内。
3.根据权利要求1所述的单塔低温精馏回收氩气的装置，其特征在于，所述冷凝蒸发器(16)的顶部出口经管线连接至换热器(11)的氢氮混合气入口，换热器(11)的氢氮混合气出口连接至纯化器(9)的再生气入口。
4.根据权利要求1所述的单塔低温精馏回收氩气的装置，其特征在于，还包括氢气回收膜压机(18)；所述冷凝蒸发器(16)的不凝气吹扫口经管线连接至换热器(11)的回收氢气入口，换热器(11)的回收氢气出口经管线连接至氢气回收膜压机(18)的进口，所述回收膜压机(18)的出口经管线连接至所述系统外氢气输入管线。
5.根据权利要求1所述的单塔低温精馏回收氩气的装置，其特征在于，所述换热器(11)位于所述精馏冷箱(10)内。
6.根据权利要求1所述的单塔低温精馏回收氩气的装置，其特征在于，所述除油器包括串联的油过滤器(4)、活性炭吸附器(5)。
7.根据权利要求1所述的单塔低温精馏回收氩气的装置，其特征在于，回收氩气压缩机(1)与粗氩气预冷机(3)之间连接有粗氩气缓冲罐(2)。
8.根据权利要求1所述的单塔低温精馏回收氩气的装置，其特征在于，所述精馏塔(14)塔底的流体出口经管线连接至设置在所述精馏塔(14)的顶部上的冷凝蒸发器(16)的蒸发侧。
9.根据权利要求1或8所述的单塔低温精馏回收氩气的装置，其特征在于，系统外液Ar输入管线穿过所述冷凝蒸发器外壳(17)，并且连接至冷所述凝蒸发器(16)的蒸发侧。