锗烷精馏系统的制作方法

文档序号:12207102阅读:来源:国知局

技术特征:

1.锗烷精馏系统,所述的锗烷精馏系统通过输配管道与真空泵组、尾气处理系统、氮气管道、氦气管道相连,其特征在于,包括了杂质吸收塔组件、杂质吸收塔备用塔组件和反应组件,所述的杂质吸收塔组件和杂质吸收塔备用塔组件与真空泵组、尾气处理系统、氮气管道和氦气管道相连,连接处设置有气动隔离阀组,所述的杂质吸收塔组件与反应组件相连,所述的杂质吸收塔组件和杂质吸收塔备用塔组件相互串联,所述的杂质吸收塔备用塔组件底部通过输配管道经过过滤器与交流纯化系统相连。

2.如权利要求1所述的锗烷精馏系统,其特征在于,所述的杂质吸收塔组件和杂质吸收塔备用塔组件结构相同,顶部设置有填料口和压力表,底部设置有倒料口,所述的杂质吸收塔备用塔组件底部设置有加热棒,杂质吸收塔备用塔组件的侧边设置有温度传感器。

3.如权利要求1所述的锗烷精馏系统,其特征在于,所述的反应组件包括了反应器、热交换器和冷凝器,所述的反应器通过输配管道顺次与热交换器和冷凝器相连,所述的冷凝器与杂质吸收塔组件相连。

4.如权利要求1所述的锗烷精馏系统,其特征在于:所述的杂质吸收塔组件和杂质吸收塔备用塔组件为不锈钢材质制成。

5.如权利要求1所述的锗烷精馏系统,其特征在于:还包括有PLC控制组件,所述的PLC控制组件通过信号线路与杂质吸收塔组件和杂质吸收塔备用塔组件相连。

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