成膜装置的制作方法

技术特征：

1.一种成膜装置，其特征在于，包括：

容器，其内部能够容置基板；

储藏机构，其储藏含有成膜材料的溶液；

喷嘴，其与所述储藏机构连通；所述喷嘴能将所述溶液排出至所述基板上；

除残机构，其能将所述喷嘴内残留所述溶液排出所述喷嘴。

2.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于：所述除残机构包括气源；所述气源在除去所述喷嘴残留的所述溶液时与所述喷嘴相连通。

3.如权利要求2所述的成膜装置，其特征在于：所述储藏机构与所述喷嘴通过管道连通，所述管道上设有阀；所述气源连接所述阀或所述阀的下游。

4.如权利要求3所述的成膜装置，其特征在于：所述阀包括三通阀。

5.如权利要求2所述的成膜装置，其特征在于：所述气源还与所述储藏机构连通，从而推动所述溶液排出至所述喷嘴。

6.如权利要求4所述的成膜装置，其特征在于：所述成膜装置还包括控制器；所述三通阀为电动控制阀，所述三通阀与所述控制器相连接。